説明

Fターム[4J100AM47]の内容

Fターム[4J100AM47]の下位に属するFターム

Fターム[4J100AM47]に分類される特許

221 - 233 / 233


【課題】 高エネルギー線、X線、電子線あるいはEUV光を使用する半導体素子の微細加工における性能向上技術の課題を解決することであり、高感度、高解像性、良好なラインエッジラフネスを同時に満足するポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。
【解決手段】(A)特定のスチレン骨格を有する繰り返し単位と特定の環構造を有する繰り返し単位とを含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に可溶となる性質を有する樹脂、及び(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】 耐熱性、感度、解像度等のレジスト性能に優れ、微細なパターンを鮮明且つ精度よく形成できるフォトレジスト用共重合体を提供する。
【解決手段】 フォトレジスト用共重合体の製造法では、(A)(i)アルキル基で置換されていてもよいスチレン、(ii)下記式(1)


(式中、R1は水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を示し、R2は炭素数1〜12の第1級若しくは第2級アルキル基、オキシラン環若しくはオキセタン環含有基等を示す)で表される不飽和カルボン酸エステル、及び(iii)N−置換マレイミドの3種の単量体群より選択された少なくとも2種の単量体群に含まれる2以上のモノマーと、(B)アルカリ可溶性基含有モノマーとを、ジメチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等の重合開始剤を用いて共重合させる。 (もっと読む)


【課題】 加熱工程による異物の発生を抑制し欠陥をなくした高耐熱性着色組成物、感光性着色樹脂組成物、着色画像形成用感光液、着色画像の製造法、カラーフィルタの製造法及びカラーフィルタを提供する。
【解決手段】 色素及び樹脂を含有する着色組成物として、色素がカラーインデックス名でピグメントレッド254を含有するものであり、樹脂が、重量平均分子量(Mw)が3,000〜200,000であり、ジシクロ環及びトリシクロ環を有するモノマを3重量%〜70重量%、水酸基を有するモノマを5〜50重量%、N−置換マレイミド基を有するモノマを5〜50重量%含有するモノマ成分を重合して得られる重合体である着色組成物を用い、これに光重合性不飽和結合を分子内に1個以上含有するモノマ及び光開始剤を配合して感光性着色樹脂組成物とし、この感光性着色樹脂組成物を用いてカラーフィルターの着色画像を形成する。 (もっと読む)


光学材料として良好な物性の硬化体を与える下記式


(n=1〜5)で示されるようなアリルエステル化合物を含む重合性組成物であって、光学歪みが少ない成形体を与える重合性組成物を提供する。この重合性組成物は、(I)上記式で示される特定のラジカル重合性化合物を含有するラジカル重合性化合物成分100重量部、(II)少なくとも1種の、パーオキシジカーボネート系重合開始剤0.1〜2重量部および(III)少なくとも1種の、10時間半減期分解温度が60℃以上である重合開始剤0.01〜10重量部を含有してなる。
(もっと読む)


【解決手段】 インデン類と、ヒドロキシ基もしくはエポキシ基を有すると共に重合性2重結合を有する化合物とを共重合してなる高分子化合物を含有することを特徴とする下層膜形成材料。
【効果】 本発明の下層膜形成材料は、必要により反射防止効果のある中間層と組み合わせることによって、200nm以上の膜厚で十分な反射防止効果を発揮できるだけの吸光係数を有し、基板加工に用いられるCF4/CHF3系ガス及びCl2/BCl3系ガスエッチングの速度も通常のm−クレゾールノボラック樹脂よりも遅く、高いエッチング耐性を有する。また、パターニング後のレジスト形状も良好である。 (もっと読む)


【課題】 耐熱性、透明性、機械特性に優れ、高マレイミド残基単位含量を有する均一組成のマレイミド・オレフィン共重合体を得ることができる製造方法を提供する。
【解決手段】 炭素数2〜4個のオレフィン単量体、特にイソブテン、特定のマレイミド単量体、特にフェニルマレイミド、ラジカル重合開始剤及び溶剤を仕込みラジカル重合反応を開始しマレイミド・オレフィン共重合体を製造する際に、重合反応中のオレフィン単量体/マレイミド単量体(モル比)を重合開始時の仕込みオレフィン単量体/マレイミド単量体(モル比)の1〜1.5倍の範囲内に維持するようにマレイミド単量体を断続又は連続的に添加するマレイミド・オレフィン共重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 耐熱性、力学特性に優れ、高い透明性を有する樹脂組成物、更に工業的規模で位相差フィルムを製造するに好適な、長期の保存安定性に優れた樹脂溶液及び高品位の負の位相差フィルムを提供する。
【解決手段】 特定のN−フェニル置換マレイミド残基単位が55〜65モル%、特定のオレフィン残基単位が45〜35モル%よりなるN−フェニル置換マレイミド・オレフィン共重合体(a)30〜95wt%、及び、スチレン系単量体残基単位と、シアン化ビニル化合物残基単位、アクリル酸アルキルエステル残基単位、メタクリル酸アルキルエステル残基単位よりなる群から選ばれる少なくとも1種類以上の残基単位からなり、スチレン系単量体残基単位が95〜60モル%であるスチレン系共重合体(b)70〜5wt%からなる樹脂組成物、さらにそれよりなる負の位相差フィルム。 (もっと読む)


【課題】カラーフィルター製造などにおける加熱が必要な塗膜工程において、黄変の無い耐熱性に優れた分散剤を提供すること。
【解決手段】特定の長鎖分岐を有するアミノ基含有マレイン酸共重合体を有効成分とすることにより、カラーフィルターなどの製造工程において優れた耐熱性を有する分散剤を提供できるようになった。 (もっと読む)


【課題】 透明性、強度に優れるフィルムを提供するに適した保存安定性に優れるN−置換マレイミド・オレフィン共重合体の樹脂溶液を提供する。
【解決手段】 特定の構造を有するオレフィン残基単位40〜35モル%及び特定の構造を有するN−置換マレイミド残基単位60〜65モル%からなるN−置換マレイミド・オレフィン共重合体及び有機溶媒よりなり、ポリマー濃度が15〜30重量%である樹脂溶液、及び、オレフィン/N−置換マレイミド=0.75〜2(モル比)の範囲で仕込みラジカル重合反応により得られた重合溶液。 (もっと読む)


【課題】 N−置換マレイミド・オレフィン共重合体と溶剤、場合によっては未反応単量体、揮発性の副生物、不純物等の揮発性成分をも含むN−置換マレイミド・オレフィン共重合体溶液から揮発性成分を除去し、効率よくN−置換マレイミド・オレフィン共重合体を回収する方法を提供する。
【解決手段】 特定のN−置換マレイミド・オレフィン共重合体の溶液から該N−置換マレイミド・オレフィン共重合体を回収する際に、ベント口を有する横型密閉式連続式混錬機を用い、該溶液を溶媒の沸点−50℃〜沸点+100℃に調製した供給口より該横型密閉式連続式混錬機に供給し、溶媒をベント口より揮発分離するN−置換マレイミド・オレフィン共重合体の回収方法。 (もっと読む)


アルカリ可溶性コポリマー、アルカリ可溶性コポリマーを含む平版印刷版前駆体として有用な画像形成性要素および画像形成性要素を利用する画像の形成方法が開示される。アルカリ可溶性コポリマーは、重合した形態で、以下を含んでなり:(a)N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミドまたはそれらの混合物;(b)アクリルアミド、メタクリルアミドまたはそれらの混合物;(c)アクリロニトリル、メタクリロニトリルまたはそれらの混合物;および
(d)以下の構造のモノマーからなる群から選択される1種または複数のモノマー:
CH2=C(R)−Z−X−NHC(O)NH−Y−R’、前式において、Xが、−[C(CH32]−または−[(CH2n]−であり、nが0〜12であり;Yがo−、m−またはp−の−[C64]−であり;Zが、−[C(O)O]−、−[C(O)NH]−またはo−、m−またはp−の−[C64]−であり;
Rが、水素またはC1〜C4アルキルであり;R’が、−OC(O)−OR”、−OC(O)−Arまたは−OSO2−Arであり;R”が、C1〜C12アルキル、C1〜C12アリールアルキル、C1〜C12アリール、C1〜C12アルケニルまたはトリメチルシリルであり;Arが、C65-n’n’であり、Arは、合計で6〜10の炭素原子を有し;各Tが、独立に、C1〜C4アルキル、フルオロ、クロロ、ブロモ、ヨード、トリフルオロメチル、メトキシおよびシアノからなる群から選択され;n’が0〜5の整数であり;前記コポリマーが、少なくとも約11より高いpHを有するアルカリ性溶液に可溶である。 (もっと読む)


本発明は、例えば、生体分子例えば核酸及びタンパク質を固定することができる方法、試薬及び基材に関する。1実施態様では、本発明は、本発明に従うポリマーによってコーティングした表面に関する、1実施態様では、本発明は、高密度で表面に分子を熱化学的及び/又は光化学的に結合させる方法に関する。
(もっと読む)


【課題】転写後の表面に優れた表面物性を与える保護層を少なくとも含む転写層を転写形成可能な転写シートにおいて、転写後の保護層の密着性にも優れた転写シートを提供する。
【解決手段】基材シート1上に、少なくとも保護層21を含む転写層2を有する転写シートにおいて、前記保護層21が、ガラス転移点が100℃以上、且つ、平均分子量が100000〜150000のアクリル系樹脂からなることを特徴とする転写シートである。必要に応じて、基材シート1の転写層2形成面に離型層11を設けたり、保護層21上に絵柄層22、接着層23等を設けたりしてもよい。 (もっと読む)


221 - 233 / 233