【課題】被覆部材のＳｉを含有した粒子状付着物を制限し、基体と皮膜との密着性、潤滑特性を改善する。
【解決手段】物理蒸着により皮膜を被覆した被覆部材であって、該皮膜が金属元素としてＳｉを含有した化合物であり、該皮膜表面のＳｉを含有した粒子状付着物の面積率は、直径が０．１μｍ以上の該粒子状付着物につき、該皮膜表面の任意に選択される１０００μｍ^２の範囲内に５％以下であり、該皮膜表面の該粒子状付着物の数は、直径が０．１μｍ以上の該粒子状付着物につき、該皮膜表面の任意に選択される１０００μｍ^２の範囲内に１００個未満であることを特徴とする被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】Ａｌ及びＣｒを必須成分とした硬質皮膜に、潤滑性に優れた皮膜を組み合わせることで特に潤滑特性の改善を行い、耐溶着性も併せ持った硬質皮膜被覆部材を提供することである。
【解決手段】基体表面から、最下層、中間積層部、最上層とからなる硬質皮膜被覆部材において、該中間積層部は、金属成分の組成が（Ａｌ_ＷＣｒ_ＸＴｉ_ＹＳｉ_Ｚ）、但し、組成は原子％で、Ｗ＋Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１００、の窒化物、ホウ化物、炭化物及び酸化物の何れか又はそれらの固溶体又は混合物からなるＡ層とＢ層とが、Ａ層は７０＜Ｗ＋Ｘ＜１００、Ｂ層は３０＜Ｙ＜１００で、層厚方向に交互に積層され、該最上層は、Ｃｒ又はＣｒとＳｉの窒化物、炭化物、硫化物、硼化物の何れか又はそれらの固溶体又は混合物であることを特徴とする硬質皮膜被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】基材と被膜を含む切削工具インサート、ソリッドエンドミル又はドリルを提供する。
【解決手段】被膜は、耐火化合物の１つ又は複数の層から構成され、該耐火化合物の少なくとも１つの層は立方晶の（Ｍｅ，Ｓｉ）Ｘ相を含み、式中、Ｍｅは元素Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ及びＡｌのうちの１つ又は複数であり、Ｘは元素Ｎ、Ｃ、Ｏ又はＢのうちの１つ又は複数である。ｃ−ＭｅＳｉＸ相の比Ｒ（Ｘの割合／Ｍｅの割合）は０．５〜１．０であり、ＸはＯ＋Ｂを３０原子％よりも少ない量で含む。本発明は、切りくず厚さが小さく、被削材が硬質である金属機械加工用途、例えば、ソリッドエンドミルを用いた倣いフライス削り、インサートフライス又は硬化鋼のボーリングにおいて特に有用である。 （もっと読む）

【課題】 潤滑性被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具を構成する潤滑性被覆層が、密着接合層、下地潤滑層、および表面潤滑層からなり、（ａ）上記密着接合層を、０．１〜３μｍの平均層厚を有しＴｉＮ層およびＴｉＣＮ層のいずれか、または両方、（ｂ）上記表面潤滑層を、１〜１０μｍの平均層厚を有し、炭素系非晶質体の素地に、結晶質炭窒化チタン系化合物の微粒が分散分布した組織を有する非晶質炭素系潤滑層、で構成し、さらに（ｃ）上記下地潤滑層を、０．１〜３μｍの平均層厚を有し、Ｔｉ、窒素、炭素、およびＷ成分の含有割合が、層厚に沿って、上記密着接合層の界面部における含有割合から上記表面潤滑層の界面部における含有割合に連続的または多段階的に変化する成分濃度変化構造を有する非晶質炭素系潤滑層、で構成する。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速断続切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削チップを提供する。
【解決手段】 立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削チップを、窒化チタン：１８〜２２％、金属アルミニウム：８〜１２％、酸化アルミニウム：０．５〜２％、立方晶窒化ほう素：残り（ただし、６５〜７３％含有）、からなる配合組成（以上、％は質量％を示す）を有する圧粉体の超高圧焼結材料で構成され、かつ、走査型電子顕微鏡による組織観察で、分散相を形成する立方晶窒化ほう素相と連続相を形成する窒化チタン相との界面に超高圧焼結反応生成物が介在した組織を有する切削チップ本体の表面に、組成式：（Ｔｉ_１−ＸＳｉ_Ｘ）Ｎ、（ただし、Ｘは、原子比で０．０１〜０．０５）、を満足するＴｉとＳｉの複合窒化物層からなる表面被覆層を１〜８μｍの平均層厚で蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】
本発明はシリコン、窒化ガリウム、ガリウムリン等の半導体を極薄で超平滑化するための加工キャリアを高品質化するために提供されたもので、加工キャリアを減圧下において、少なくとも一原子以上のカーボンを含有する炭化水素系ガスを導入してプラズマを発生させ、負の高周波パルス電圧を印加して、カーボンイオン注入と傾斜構造を持った高品位なＤＬＣ膜を被覆した物品を提供するものである。
【解決手段】
プラズマベースイオン注入・成膜法を用いて、真空中で少なくとも一原子以上のカーボンを含有する炭化水素系ガスを導入して高周波電力の供給によりプラズマを発生させ、この中の非処理物に高周波パルス電圧を印加して、基材中にカーボンイオン注入した後、ＤＬＣ膜を形成した半導体加工キャリア部材及びその表面処理方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】高硬度、耐高温酸化性の優れる硬質皮膜においても密着性を犠牲にすること無く、特に靭性を改善し、高温状態での耐溶着性、潤滑特性も改善し、例えば切削加工などにおける乾式化、高速化、高送り化に対応可能な硬質皮膜を提供する。
【解決手段】物理蒸着法により基体表面に形成された硬質皮膜であって、該硬質皮膜は４ａ、５ａ、６ａ族、Ａｌ、Ｂから選択される１種以上の金属元素とＳｉを含み、Ｃ、Ｎ、Ｏから選択される１種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜は柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はＳｉ含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、各層の厚みＴ（ｎｍ）が０．１≦Ｔ≦１００、であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆切削工具が、超硬基体の表面に、あるいは、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａ、上記薄層Ｂは、特定な組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、特定な組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 硬質被膜の耐熱性および耐摩耗性を更に向上させる。
【解決手段】 エンドミル１０の工具母材１２の表面を被覆している硬質積層被膜２０は、ＴｉＡｌＣｒＸ_1-a Ｎ_a （但し、Ｘは炭素または酸素で、混晶比ａは０．５≦ａ≦１）から成る第１被膜層２２と、ＴｉＡｌＣｒＸ_1-b Ｎ_b （但し、混晶比ｂは０．５≦ｂ≦１）およびＴｉＡｌ（ＳｉＣ）Ｘ_1-c Ｎ_c （但し、混晶比ｃは０．５≦ｃ≦１）の混合層から成る第２被膜層２４と、ＴｉＡｌ（ＳｉＣ）Ｘ_1-d Ｎ_d （但し、混晶比ｄは０．５≦ｄ≦１）から成る第３被膜層２６とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬基体の表面に、あるいは、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは特定の組成式：［Ｃｒ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＢ_Ｆ］Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、上記薄層Ｂは特定の組成式：［Ｃｒ_{1-（Ｍ＋Ｎ）}Ａｌ_ＭＢ_Ｎ］Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し特定の組成式：［Ｃｒ_{1-（Ｘ＋Ｙ）}Ａｌ_ＸＢ_Ｙ］Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた高温強度を有する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆超硬合金製切削工具を構成するＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる基体の表面に蒸着形成される硬質被覆層を、組成式：（Ａｌ_1-X Ｔｉ_X ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．３０〜０．５５を示す）を満足し、かつ、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である{１００}面の法線がなす傾斜角を測定し、特定な傾斜角度数分布グラフを示し、かつ２〜１５μｍの平均層厚を有する改質（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層、で構成する。 （もっと読む）

【課題】ブローチに適用する超硬合金を最適化することによって、ブローチの精度を長期間維持できる被覆超硬ブローチを提供することを課題とする。
【解決手段】シェル型の被覆超硬合金製ブローチにおいて、該シェルに用いる超硬合金は、ＷＣの平均粒径が１．２μｍ以下、保磁力が２０ｋＡ／ｍ以上４０ｋＡ／ｍ未満、飽和磁化値をＲとし、２０２×Ｃｏ重量％／１００の値をＳとした時、飽和磁化比Ｒ／Ｓが、０．６５≦Ｒ／Ｓ≦０．９５、更に、該被覆は、金属成分として少なくともＡｌとＣｒを含有する窒化物、酸化物、硼化物、硫化物、炭化物のいずれか１種以上の固溶体又は混合物から構成されていることを特徴とする被覆超硬合金製ブローチである。 （もっと読む）

【課題】ブローチに適用する超硬合金を最適化することによって、ブローチの精度を長期間維持できる被覆超硬ブローチを提供することを課題とする。
【解決手段】少なくとも切れ刃部に超硬合金を用いた被覆超硬合金製ブローチにおいて、該超硬合金は、ＷＣの平均粒径が１．５μｍ以下、保磁力が１２ｋＡ／ｍ以上２０ｋＡ／ｍ未満、飽和磁化値をＲとし、２０２×Ｃｏ重量％／１００の値をＳとした時、飽和磁化比Ｒ／Ｓが、０．６５≦Ｒ／Ｓ≦０．９５、更に、該被覆層は、硬質炭素膜を含む固体潤滑皮膜であることを特徴とする被覆超硬合金製ブローである。 （もっと読む）

【課題】 合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具を提供する。
【解決手段】 高速度工具鋼で構成された歯切工具本体の表面に、（ａ）いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の層厚を有する薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは、組成式：（Ｃｒ_{1-（Ａ＋Ｂ）}Ａｌ_ＡＳｉ_Ｂ）Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、上記薄層Ｂは、組成式：（Ｃｒ_{1-（Ｃ＋Ｄ）}Ａｌ_ＣＳｉ_Ｄ）Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、組成式：（Ｃｒ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＳｉ_Ｆ）Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】高速・高能率切削が可能な、ＴｉＡｌＳｉＮよりも耐摩耗性に優れた切削工具用硬質皮膜、およびこの様な硬質皮膜を得るための有用な製造方法を提供する。
【解決手段】（Ｔｉ_{１−ａ−ｂ−ｃ−ｄ}，Ａｌ_ａ，Ｃｒ_ｂ，Ｓｉ_ｃ，Ｂ_ｄ）（Ｃ_１−ｅＮ_ｅ）からなる硬質皮膜であって、Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｂのそれぞれの原子比ａ，ｂ，ｃ，ｄが、０．５≦ａ≦０．８、０．０６≦ｂ、０≦ｃ≦０．１、０≦ｄ≦０．１、０．０１≦ｃ＋ｄ≦０．１およびａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＜１を満たすようにし、かつＮの原子比ｅが０．５≦ｅ≦１を満たすようにする。 （もっと読む）

【課題】高速・高能率切削が可能な、ＴｉＡｌＮよりも耐摩耗性に優れた切削工具用硬質皮膜を得るための有用な製造方法を提供する。
【解決手段】所定の組成および結晶構造を有する硬質皮膜を製造するための方法であって、ターゲットを構成する金属の蒸発およびイオン化をアーク放電にて行うアークイオンプレーティング法において、該ターゲットの蒸発面にほぼ直交して前方に発散ないし平行に進行する磁力線を形成し、この磁力線によって被処理体近傍における成膜ガスのプラズマ化を促進すると共に、前記被処理体に印加するバイアス電位をアース電位に対して−５０Ｖ〜−３００Ｖとして成膜する。 （もっと読む）

【課題】高速ドライ歯切加工で硬質被覆層がすぐれた潤滑性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具を提供する。
【解決手段】歯切工具が、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）（Ｔｉ，Ａｌ，Ｖ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも５〜２０ｎｍの層厚を有する薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは、組成式：（Ｔｉ_{1-（Ａ＋Ｂ）}Ａｌ_ＡＶ_Ｂ）Ｎ（ただし、原子比で、Ａは０．０１〜０．１０、Ｂは０．５０〜０．７０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｖ）Ｎ層、上記薄層Ｂは、組成式：（Ｔｉ_{1-（Ｃ＋Ｄ）}Ａｌ_ＣＶ_Ｄ）Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｖ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、組成式：（Ｔｉ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＶ_Ｆ）Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｖ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 半導体の製造工程技術を利用してプリズムを製造する方法を提供する。
【解決手段】 本発明のプリズムの製造方法は次のステップを含む。先ず、半導体の製造工程を利用してウェーハ上にマスタ型を形成する。前記マスタ型に電鋳工程を行って型１０２を形成する。続いて、型１０２を使用して圧縮成形工程や射出成形工程などの従来技術によりプリズムを大量生産する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基材及び被膜を含む切削工具インサート、中実エンドミルまたはドリルに関する。
【解決手段】被膜は、少なくとも１層がｈ−（Ｍｅ１、Ｍｅ２）Ｘ相を含んで成る１層以上の耐熱性化合物からなり、Ｍｅ１がＶ、Ｃｒ、Ｎｂ及びＴａの元素の１種以上であり、Ｍｅ２がＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ａｌ及びＳｉの元素の１種以上であり且つＸがＮ、Ｃ、Ｏ及びＢの元素の１種以上である。前記ｈ−Ｍｅ１Ｍｅ２Ｘ相の比率Ｒ＝（Ｘのａｔ％）／（Ｍｅ１のａｔ％＋Ｍｅ２のａｔ％）が、０．５〜１．０好ましくは０．７５〜１．０の間にあり、且つＸが３０ａｔ％未満のＯ＋Ｂを含む。本発明は、切屑の厚みが薄くて加工物が硬い金属切削用途に有益であり、例えば中実エンドミル、インサートフライスカッタを使用する倣いフライス加工または硬質鋼の穿孔加工である。 （もっと読む）

【課題】型材や切削工具等の鉄鋼製部材に耐酸化、耐摩耗表面処理を行う場合に、基板材の硬さも高いことが必要であるため、工具鋼であるSKH-51のような高合金鋼や超硬合金を使用しており、材料コストが大きくなるという課題がある。
【解決手段】基板材として炭素鋼や可鍛鋳鉄のような低合金を用い、この基板材の焼き入れ温度以上の高温での耐酸化性、耐熱性を有するTi-Al-N系又はAl-Cr-N系又はAl-Cr-Si-N系の皮膜を最外層とする皮膜をアーク式イオンプレーティングで形成した後、火炎焼き入れ等の局部的熱処理により耐摩耗性必要部位の焼入れを行うことにより、低コストの低合金を基板材とした鉄鋼製部材の耐摩耗性、耐酸化性を付与する製造方法、及び低合金を用いて上記表面処理後に基板材の硬化熱処理を行うための、耐熱、耐酸化表面処理サービス。 （もっと読む）