【課題】高い熱応力下で高い耐摩耗性を示すと共に、摩耗物体との接触時における摩擦係数が可能な限り低い工具を提供すること。
【解決手段】超硬合金、特殊鋼、サーメットおよび硬質材料からなる群から選択した基材と、２つ以上の層を備える被覆とからなる工具において、少なくとも１つの被覆層が組成Ｔｉ−Ａｌ−Ｔａ−Ｎを有し、少なくとも１つの更なる被覆層が組成Ｔｉ−Ａｌ−Ｔａ−Ｍｅ−Ｎを有し、ＭｅがＳｉ、Ｖ、Ｂからなる群から選択される１つ以上の元素である工具。この工具は高い耐摩耗性を持ち、特に高い要求が工具に課される場合に耐用年数が増大する。 （もっと読む）

製造安定化装置および方法は、ＴｉＡｌＮ等の融点の大きく異なる金属成分を持つ多元系被膜を、単一のルツボ（３）と収束プラズマ（７）とを用いて、高原料利用効率で、膜質良く作製する。この時、原料（４）を蒸発させるに必要な電力を最初に供給し、その後、最初の電力より順次増大した電力を、必要な最大電力に至るまで繰り返して供給する。或いは、原料を蒸発させるに必要な最初の領域にプラズマ（７）を収束させるためのプラズマ制御を行い、続いて、最初のプラズマ領域より最大のプラズマ領域に至るまでプラズマを連続的に順次移動・拡大せしめるプラズマ制御を行い、原料の未溶融部位（４ｂ）を順次溶解させる。原料は、焼結体または圧粉成型体（４）とする。
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【課題】高硬度、耐高温酸化性の優れる硬質皮膜においても密着性を犠牲にすること無く、特に靭性を改善することである。併せて高温状態での耐溶着性、潤滑特性も改善し、例えば切削加工などにおける乾式化、高速化、高送り化に対応可能な硬質皮膜を提供することである。
【解決手段】物理蒸着法により基体表面に形成された硬質皮膜であって、該硬質皮膜は４ａ、５ａ、６ａ族、Ａｌ、Ｂから選択される１種以上の金属元素とＳｉを含み、Ｃ、Ｎ、Ｏから選択される１種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜は柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はＳｉ含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、各層の厚みＴ（ｎｍ）が０．１≦Ｔ≦１００、であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】硬質皮膜全体の高硬度化と耐剥離性に優れ、剥離や異常摩耗が発生を著しく抑制することを可能とし、過酷な摩耗環境において、耐摩耗性を改善することができる硬質皮膜被覆部材を提供する。
【解決手段】基体表面から、最下層、中間積層部、最上層とからなる硬質皮膜被覆部材において、該中間積層部は、金属元素としてＡｌ及びＳｉを含有し、残部Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｙから選択される１種以上の金属元素からなる酸窒化物、ホウ酸窒化物、炭酸窒化物からなる少なくとも２層以上の積層部であり、該中間積層部は層厚方向にＡｌ及びＳｉの含有量が０．５ｎｍ以上、５０ｎｍ未満の周期で変動していることを特徴とする硬質皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】Ａｌ及びＣｒを必須成分とした硬質皮膜を優れた耐熱性並びに潤滑特性を有した状態で高硬度化し、硬質皮膜被覆部材の耐摩耗性の改善を課題とする。
【解決手段】基体表面から、最下層、中間積層部、最上層とからなる硬質皮膜被覆部材において、該中間積層部は、金属成分の組成が（Ａｌ_ＷＣｒ_ＸＴｉ_ＹＳｉ_Ｚ）、但し、組成は原子％で、Ｗ＋Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１００、の窒化物、ホウ化物、炭化物及び酸化物の何れか又はそれらの固溶体又は混合物からなるＡ層とＢ層とが、Ａ層は７０＜Ｗ＋Ｘ＜１００、Ｂ層は３０＜Ｙ＜１００で層厚方向に交互に積層され、該最上層は、Ｔｉ又はＴｉとＳｉの窒化物、炭化物、硫化物、硼化物の何れか又はそれらの固溶体又は混合物であることを特徴とする硬質皮膜被覆部材である。 （もっと読む）

工作物あるいは部品であって、組成（Ａｌ_yＣｒ_1-y）Ｘの少なくとも１層を含む層システムを有し、Ｘ＝Ｎ、Ｃ、Ｂ、ＣＮ、ＢＮ、ＣＢＮ、ＮＯ、ＣＯ、ＢＯ、ＣＮＯ、ＢＮＯまたはＣＢＮＯでありかつ０．２≦ｙ＜０．７であり、上記層中の層組成は、実質的に一定であるか、または層厚にわたって連続的あるいは段階的に変化する。さらにその製造方法。
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【課題】付着力が高く、優れた耐摩耗性を発揮する硬質膜を具備した表面被覆体の製造方法を提供する。
【解決手段】基体と、当該基体の表面に少なくとも１層被覆された硬質膜とを備える表面被覆体の製造方法において、無機物粉末を含む成形体を焼成することにより硬質合金からなる基体を作製する焼成工程と、前記基体の表面に、イオンプレーティング法を用いて硬質膜を形成する成膜工程とを含み、前記成膜工程は、窒素：不活性ガス元素（Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ）＝２：１〜３０：１の比率の混合ガス雰囲気中において、バイアス電圧を初期の１０〜５０Ｖとし、その後、１５０〜３００Ｖに変化させる。 （もっと読む）

【課題】機械産業、自動車産業などに用いられる高速切削工具及びダイ用材料に適用されて材料の機械的な特性、特に、硬度及び靭性を高められる固溶体粉末、この固溶体粉末の製造方法、この固溶体粉末を用いるセラミック、このセラミックの製造方法、この固溶体粉末を含むサーメット粉末、このサーメット粉末の製造方法、このサーメット粉末を用いるサーメット、及びこのサーメットの製造方法を提供する。
【解決手段】周期表４、５及び６族の金属からＴｉを含んで選ばれる少なくとも２種の金属成分の炭化物、炭窒化物またはこれらの混合物を含む固溶体粉末であり、前期固溶体粉末のマイクロ構造は完全固溶相である固溶体粉末及びその焼結体であるセラミック。及びその製造方法。また、前記セラミックのコーティング方法。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、超硬基体の表面に、いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａ、上記薄層Ｂおよび上記下部層は、（Ｃｒ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高い撥水撥油性を有する均一な膜を形成するための表面処理方法を提供する。
【解決手段】 炭素数１〜５のフルオロアルキル基または分子量3000以下のパーフルオロポリエーテル基を有するフッ素化合物を含んでなる表面処理剤を気相中で基板表面に堆積することを特徴とする、表面処理された撥水撥油性基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、超硬基体の表面に、いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｙ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａ、上記薄層Ｂおよび上記下部層は、それぞれ特定な組成式を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｙ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、マグネトロンスパッタリング装置にて、カソード電極（蒸発源）としてＳｉターゲットを用い、窒素とＡｒの混合ガス、または炭化水素の分解ガスとＡｒの混合ガスからなる反応雰囲気で磁場中成膜された、Ｓｉ炭化物層およびＳｉ窒化物層のいずれか、または両方からなり、かつ０．１〜３μｍの平均層厚を有する密着接合層を介して、オージェ分光分析装置で測定して、Ｗ：５〜２０原子％、Ｓｉ：５〜２０原子％、を含有し、透過型電子顕微鏡による観察で、炭素系非晶質体の素地に、結晶質Ｓｉ炭化物微粒が分散分布した組織を示し、かつ１〜１３μｍの平均層厚を有する潤滑性非晶質炭素系被膜を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、超硬基体の表面に、いずれも（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａ、上記薄層Ｂおよび上記下部層は、それぞれ特定な組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高い耐酸化性を維持し、ＴｉＡｌＮ皮膜の内部応力を制御して高い耐欠損性を維持しつつ、耐摩耗性を向上させたＴｉＡｌＮ硬質皮膜を基材表面に被着形成した表面被覆部材および表面被覆切削工具を提供することである。
【解決手段】 基材の表面に、Ｘ線回折パターンにおいて（２００）面に帰属されるピークのピーク強度Ｉ（２００）と、（１１１）面に帰属されるピークのピーク強度Ｉ（１１１）との比がＩ（２００）／Ｉ（１１１）＜２．０であり、かつ、前記（１１１）面に帰属されるピークの半値幅Ｂ（１１１）が０．４°〜０．６°であるＴｉＡｌＮ硬質皮膜を被着形成する。 （もっと読む）

【課題】スパッタリングターゲット、多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスクの製造方法をそれぞれ提供する。
【解決手段】スパッタリングターゲットの構成を、ルテニウム（Ｒｕ）と、ニオブ（Ｎｂ）、モリブデン（Ｍｏ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、チタン（Ｔｉ）、ランタン（Ｌａ）、ケイ素（Ｓｉ）、ホウ素（Ｂ）、イットリウム（Ｙ）から選ばれる少なくとも一種とを含有するルテニウム化合物からなり、焼結密度が９５％以上であり、酸素（Ｏ）の含有量が２０００ｐｐｍ以下、炭素（Ｃ）の含有量が２００ｐｐｍ以下とする。このターゲットを用いて基板１上の多層反射膜２の上にルテニウム化合物保護膜６を形成して多層反射膜付き基板３０を得る。この多層反射膜付き基板３０のルテニウム化合物保護膜６上に吸収体膜を形成して反射型マスクブランクとする。また、この反射型マスクブランクの吸収体膜にパターンを形成して反射型マスクを得る。 （もっと読む）

【課題】 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】超硬基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｔｉ，Ａｌ，Ｙ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは特定の組成式：［Ｔｉ_{1-（Ａ＋Ｂ）}Ａｌ_ＡＹ_Ｂ］Ｎ（Ｔｉ，Ａｌ，Ｙ）Ｎ層、上記薄層Ｂは特定の組成式：［Ｔｉ_{1-（Ｃ＋Ｄ）}Ａｌ_ＣＹ_Ｄ］Ｎ（Ｔｉ，Ａｌ，Ｙ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し特定の組成式：［Ｔｉ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＹ_Ｆ］Ｎ（Ｔｉ，Ａｌ，Ｙ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高温下での切削などの過酷な切削に用いても、寸法精度の低下、被削材表面の傷の発生などを起こすことなく、長期間にわたって使用可能な表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 基体の表面に硬質被覆膜が形成され、該硬質被覆膜は、膜厚方向に組成が徐々に変化する傾斜組成膜を具備し、該傾斜組成膜は、基体側の界面における組成が（Ｔｉ_１−ＡＭ_Ａ）（Ｃ_ＢＮ_１−Ｂ）_ＣＯ_Ｄであり、表面における組成が（Ｔｉ_１−ａＭ_ａ）（Ｃ_ｂＮ_１−ｂ）_ｃＯ_ｄＸ_ｅである。（ＭはＴｉを除く周期律表第４族、第５族、第６族金属元素、ＡｌおよびＳｉから選ばれる１種または２種以上の元素を示す。Ｘはハロゲン元素を示す。０．１≦Ａ＜０．７５、０≦Ｂ≦１、０．９≦Ｃ＜１．２、０≦Ｄ＜０．３、０．１≦ａ＜０．７５、０≦ｂ≦１、０≦ｃ＜１、０．３≦ｄ＜２、０≦ｅ≦０．３、０．８＜ｃ＋ｄ＋ｅ≦２．５） （もっと読む）

【課題】 金属表面に形成された高分子薄膜の架橋膜形成を容易に行ない、かつ薄膜表面の機能性を維持しつつ薄膜を長時間の使用に耐えるようにする。
【解決手段】 分子内に少なくとも１つのアリル基を含有する、トリアジンジチオール誘導体を、金属表面に形成するものであり、トリアジンジチオール誘導体を金属表面に真空蒸着によって付着する蒸着工程（１）と、蒸着工程後に、大気中で紫外線を照射する大気中照射工程（２）と、大気中照射工程後に、真空中で紫外線照射あるいは電子線照射を行なう真空中照射工程（３）とを備えている。蒸着工程（１）では、トリアジンジチオール誘導体に光重合プレポリマーを混合して金属表面に真空蒸着によって付着することを行なう。あるいはまた、トリアジンジチオール誘導体と光重合プレポリマーとを積層して付着することを行なう。 （もっと読む）

【課題】 耐摩耗性、耐欠損性に優れた表面被覆切削工具およびその製造方法を提供することである。
【解決手段】 すくい面と逃げ面との交差稜線を切刃として具備する基材の表面に、所定の硬質膜を少なくとも１層被覆した表面被覆切削工具であって、切刃部における前記硬質膜表面の面粗度は、原子間力顕微鏡で測定した最大高さ（Ｒｚ）が１．０μｍ以下であり、前記硬質膜表面の酸素量は４０原子％以下である表面被覆切削工具であり、前記硬質膜を物理蒸着法により少なくとも１層被覆した後、前記硬質膜の表面に対して、所定のセラミック砥粒溶液と圧縮空気との混合物を、前記硬質膜の切刃の向きに対して０〜４５°の角度θで衝突させるように前記混合物の吐出角度を制御する製造方法である。 （もっと読む）

切削工具のための、工作物の耐摩耗性を改善するための多層構造を備える多層硬物質被覆に、ＸがＮ、Ｃ、Ｂ、ＣＮ、ＢＮ、ＣＢＮ、ＮＯ、ＣＯ、ＢＯ、ＣＮＯ、ＢＮＯ、ＣＢＮＯのいずれか一種の元素、望ましくはＮまたはＣＮである、少なくとも一つの（Ａｌ_ｙＣｒ_１−ｙ）Ｘ層（０．２≦ｙ≦０．７）、及び／または、一つの（Ｔｉ_ｚＳｉ_１−ｚ）Ｘ層（０．０１≦Ｚ≦０．３）が含まれている。該硬物質被覆はさらに、一つの（ＡｌＣｒＴｉＳｉ）Ｘ混合層、その次にさらに一つの（Ｔｉ_ＺＳｉ_１−Ｚ）Ｘ層、その次にさらに一つの（ＡｌＣｒＴｉＳｉ）Ｘ混合層、その次にさらに一つの（Ａｌ_ｙＣｒ_１−ｙ）Ｘ層からなる、少なくとも一つの層パッケージを備えている。
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