【課題】 炉体に常に必要十分な雰囲気ガスを無駄なく供給し、雰囲気ガスの消費を節減するとともに、外気の侵入と炉内雰囲気ガスの漏洩を防止する。
【解決手段】 金属ストリップ２の入口と出口に夫々シールロール９，１０，１５，１６によって仕切されたシール室７，８を設け、該各シール室にシールガスを供給するとともに、炉体内に雰囲気ガスを供給し、炉体内の入口側シール室７付近から炉内ガスを強制的に吸引し該炉内ガスを再生して炉体内に循環させる雰囲気ガス再生装置３０を備えたストリップ連続熱処理炉において、雰囲気ガス再生装置の一次側の雰囲気ガス濃度を検出する濃度計３１を設け、炉体内の冷却帯６の入口付近に炉内ガスの露点を検出する露点計３２を設け、その濃度および露点が所定値に維持されるように雰囲気ガスの供給を制御する。 （もっと読む）

【課題】 良好なセラミック焼成が可能なセラミックの焼成方法、トンネル式焼成炉、セラミック電子部品の製造方法及び装置、セラミック電子部品の焼成用収納体を提供する。
【解決手段】 セラミック原料を含む未焼成の処理品をトンネル式焼成炉で焼成する際に、トンネル３を通過する処理品の進行方向に対して側方から炉内に雰囲気ガスを供給パイプ５を介して供給するとともに、炉の底部から炉内のガスを排出パイプ６を介して排出する。これにより、処理品から炉の底部に向かって気流が安定的に生じるので、常に新鮮な雰囲気ガスを処理品に供給できる （もっと読む）

アンドープト・セラミック材のマトリックス内に部分的または完全に埋め込まれたドープト・セラミック加熱素子を備えている抵抗ヒーター。セラミックは、炭化珪素でありうるし、かつドーパントは、窒素でありうる。本発明のヒーターの効果の多くは、加熱素子およびそれらの素子を取り囲んでいるマトリックス材を備えている材料が実質的に同じ熱膨張係数を有しているという事実から生じる。一実施形態では、ヒーターは、コンパクト、強力、強靭、および熱式質量が低く、それを電力入力変化に迅速に応答させる、モノリシック・プレートである。抵抗ヒーターは、エピタキシャル薄膜を成膜し、かつ高速熱処理を実行するもののような、集積回路を製作するために用いられる反応器および処理チャンバの多くで用いられうる。 （もっと読む）