【課題】比較的面積の大きな試料を均一に加熱できる高温加熱炉を提供する。
【解決手段】試料台１４に載置された平板状の試料を最適処理温度まで加熱する本加熱室２を有した高温加熱炉１であって、赤外線を放射して前記試料を加熱するＷメッシュヒータ１０と、前記Ｗメッシュヒータ１０から放射される赤外線を前記試料台１４に向けて反射する反射体１１とを前記本加熱室２に設け、前記反射体１１の反射面１１Ｓを前記試料台１４の位置に焦点Ｓ２を有する楕円面に形成すると共に、前記Ｗメッシュヒータ１０を円筒状に形成して面光源とした。 （もっと読む）

【課題】 ガスカーテンを通過して被搬送体を搬送しても、ガスカーテンを超えたガスの移動が発生しない搬送装置および被搬送体を提供することを目的とする。
【解決手段】 ガスカーテンを通過して被搬送体１４を搬送する搬送装置１１である。ガスカーテンは、被搬送体１４の搬送方向１６に対して垂直にガスを噴射して形成される。被搬送体１４は、搬送状態のときに、ガスの噴射方向１９と搬送方向１６とに垂直な方向の形状が、噴射方向１９の上流側に向かって、連続的に徐々に薄くなるように、上流側の側面２１が一方向に傾斜している。さらに、噴射方向１９の下流側に向かって、連続的に徐々に薄くなるように、下流側の側面２２が一方向に傾斜している。
そうすることによって、搬送装置１１は、被搬送体１４がガスカーテンを通過して被搬送体１４を搬送しても、ガスの乱れが発生しにくいので、ガスカーテンによる閉塞効果が高く、ガスカーテンを超えてガスが移動しない。 （もっと読む）

容器内に流体を運ぶためのシステムは、容器に固定されるために構成されたハウジングを含む。ハウジングは、流体を液体として受け取り保持するための貯液槽を含み、ハウジングはさらに、貯液槽と容器の内側との間で流体関係を与える開口を有し、貯液槽内で液体の蒸発から形成された不活性ガスが容器の内側に流れるのを促進する。 （もっと読む）

【課題】単独型焼成燻化炉において、燻化時にダンパの小孔から噴出する煤を完全に焼却でき、大気汚染の原因となるおそれがない単独型焼成燻化炉の煤除去方法を提供する。
【解決手段】燻化時に発生する煤を含む排ガスを通す耐火材製のフィルタ１３を排ガスの主通路のバイパス１０に設け、その主通路とバイパスに開閉装置を別個に設けたから、燻化時に主通路をとじて排ガスをフィルタに通すと焼却しにくい大きな煤がフィルタに引っ掛かって大気中に放出されるのが防止されるとともに、焼成時に高温度の燃焼ガスの一部をフィルタに通すことにより引っ掛かっていた煤が焼却されることから、自浄作用により半永久的に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】上流側の室に導入したシールガスが鋼鈑の流れに巻き込まれて中間部を介して下流側の室に流れ込むのを低減し、また中間部の上流側及び下流側から中間部にシールガスが漏れるのを防止する。
【解決手段】シール装置３は、鋼鈑Ｓの第１の熱処理工程を行う第１室１と第２の熱処理工程を行う第２室２との間に中間室８を設け、中間室８の上流側と下流側に、鋼鈑Ｓが通過する開口部１４からシールガスを吹き出すダクト９ａ，９ｂをそれぞれ設け、中間室８からガスを排気する。昇降部材１０ａ，１０ｂは、各ダクト９ａ，９ｂに沿って昇降し、開口部１４を開く開放位置と、開口部１４を閉じる閉鎖位置とに移動可能である。押付け部材１１ａ，１１ｂは、昇降部材１０ａ，１０ｂが閉鎖位置にあるときに、昇降部材１０ａ，１０ｂをダクト９ａ，９ｂに向かって押し付け、昇降部材１０ａ，１０ｂとダクト９ａ，９ｂの間の隙間を無くする。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単で微細な粉末の焙焼を効率的に行うことができる焙焼炉と、それを用いて厚膜抵抗体形成用として好適な酸化イリジウム粉の効率的な製造方法を提供する。
【解決手段】 断面形状が略角型の管状炉であって、焙焼室内の鉛直方向に多段に原料載置用の平坦な棚板を有し、各段に均等に雰囲気ガスが流れるように雰囲気ガス吹込み用ノズルを配置し、かつ、流入直後に雰囲気ガスが原料表面を吹込み方向と略同一方向のみに流れるように、棚板から鉛直方向の同一平面位置に複数本の雰囲気ガス吹込み用ノズルを並列して設置してある。この焙焼炉を用いて、ヘキサクロロイリジウム（IV）酸アンモニウム又はヘキサクロロイリジウム（IV）酸カリウムを６００〜１０５０℃で酸化焙焼することにより品質の安定した酸化イリジウム粉が得られる。 （もっと読む）

【課題】消費電力の無駄を少なくして効率のよいマイクロ波焼成を短時間で行うことのできること。
【解決手段】マイクロ波発生源１で発生された進行波を伝播すると共に、収容する加熱対象物Ｗを加熱焼成する焼成導波管５０は、その焼成導波管５０の長さ方向に対し直角方向の電磁界強度の弱い位置から加熱対象物Ｗを取り込み、加熱対象物Ｗを電磁界強度の強い位置に進行波の進行方向に移動させながら、加熱対象物Ｗの加熱焼成温度を上昇させるものである。したがって、焼成導波管５０内で焼成を行う場合、突然、高エネルギで加熱対象物Ｗの加熱を開始することがない。焼成導波管５０内の反射波の発生が殆どないから、マイクロ波発生源１を構成するマイクロ波発振器を反射波で傷めることがなく、加熱対象物Ｗのみにエネルギを供給することができ、効率がよい。 （もっと読む）

【課題】消費電力の無駄を少なくして効率のよいマイクロ波加熱を行うことができ、短時間で焼成でき、かつ、焼成後の処理が自在である連続焼成装置を提供する。
【解決手段】マイクロ波発生源１で発生されたマイクロ波の進行波を複数の導波管を接続してなる導波管列５０の長さ方向に伝播させ、導波管列内に連続搬入された加熱対象物を電磁界強度の弱い位置から強い位置へと変化させながら加熱焼成する連続焼成装置において、導波管列の昇温導入部５２及び高温保持部５３からなる加熱焼成部の内壁面に断熱材を配設し、導波管列に形成された搬入口から搬出口まで搬送ガイドが加熱対象物を載置した搬送体を案内し、加熱対象物を進行波の進行方向に移動させながら電磁界強度の強い位置に移動させて加熱焼成温度を上昇させるものである。 （もっと読む）

【課題】加熱コストを低減することにより、リフロー半田付け装置の消費エネルギーの低減を図り、ランニングコストを低減するとともに、リフロー半田付け装置の立上げ時間を短くすることで、未使用時のリフロー半田付け装置の電源投入をなくし、エネルギーの浪費を少なくすることができ、リフロー半田付けの品質向上を図るリフロー半田付け装置を提供する事を目的とするものである。
【解決手段】クリーム半田を介して電子部品を装着した配線基板４を搬送する搬送部１と、前記配線基板を加熱する加熱部２と、前記加熱部２に不活性ガス１９を供給する不活性ガス供給部３とからなるリフロー半田付け装置において、加熱部２にガス燃焼方式を用いたチューブヒータ５を用いる構成とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波を用い、無電極且つ大気圧下で浸炭を行えるようにしたマイクロ波浸炭炉と、その浸炭炉による鉄鋼材料の浸炭処理方法を提供する。
【解決手段】マイクロ波が導入されるマイクロ波照射室に、少なくともＡｒとＯ_２を含む雰囲気ガスを供給する雰囲気ガス供給機構と、浸炭後の被処理物を冷却媒体により冷却するための急冷機構とを備え、マイクロ波照射室に鉄鋼材料よりなる被処理物と浸炭に必要な炭素源が配備されるようにした。炭素源は固体又はガスにて供給される。被処理物と炭素源及びＡｒとＯ_２を含む雰囲気ガスの存在下でマイクロ波を照射し、炭素源と酸素の反応とそれに伴うＣＯの発生及び励起によりＡｒプラズマを発生させ、炭素イオンを生成させて被処理物を浸炭する。その後、冷却媒体により被処理物を急冷して焼入れを施す。 （もっと読む）

【課題】１０００℃を超える高温の還元性ガス雰囲気中においても、優れた還元性ガス反応抑制効果を発揮し、製品寿命を大きく延ばすことができる還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法を得る。
【解決手段】本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料は、Ｔａ微粒子を、Ｃを含む反応性ガス粒子と共に黒鉛基材表面に付着させることで、前記表面にＴａＣ微粒子を積層してなる結晶組織のＴａＣ被膜が形成され、かつ該被膜の組成比（Ｔａ／Ｃ）が０．８〜１．２となる。また、本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法は、アークイオンプレーティング式反応性蒸着法により、金属Ｔａの微粒子を、Ｃを含む反応ガスの粒子と共に黒鉛基材表面に付着させ、前記表面にＴａＣ微粒子を積層してなる前記被膜を形成すると共に、黒鉛基材表面にＴａＣ被膜をその組成比（Ｔａ／Ｃ）が０．８〜１．２となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】 加熱炉の雰囲気ガス封止方法及びその装置並びに該装置を備えた加熱炉を提供する。
【解決手段】 上方が仕切部１により区画され下方が連通するようにされた上流側室２と下流側室３とから構成される封止用ガス槽４ａ、４ｂを加熱炉５への搬入通路６又は搬出通路１１と連結し、上流側室内および下流側室内には炉内雰囲気ガスよりも重くかつ外気よりも重い封止用ガスを該封止用ガスの上面が仕切部の下端よりも常に上になるように供給し、被加熱処理品８は上流側室内から上記仕切部下端より下側を通過させて下流側室内に入るようにして、封止用ガス槽内を通過させたのち、搬入通路から炉内に搬入させ、また加熱処理後の被加熱処理品８は搬出通路１１を経て上記と同様にして封止用ガス槽内を通過させたのち、炉外に搬出させる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率が高く、しかも長期間安定して稼働させることができる基板焼成炉の給排気システムを提供する。
【解決手段】炉体１０の排気口１４から排出された熱排気はファン２１によって循環経路２０に熱風の気流として送り出され、その気流がヒータ２２によって加熱された後に耐熱ＨＥＰＡフィルタ１３によって浄化されて吹き出し口１２から炉体１０の内部空間に再供給される。この循環過程において、ヒータ２２によって加熱された熱風の一部は排気管３０に流れ込んで触媒ユニット３１を通過する。再加熱直後の高温の排気気体が触媒ユニット３１を通過するため、排気気体中に含まれる有機物のほとんどが分解された後、排気気体は熱交換器５０に流入する。熱交換器５０にて排気気体と熱交換されて昇温した給気気体は循環経路２０に供給される。 （もっと読む）

【課題】１０００℃を超える高温の還元性ガス雰囲気中においても、優れた還元性ガス反応抑制効果を発揮し、製品寿命を大きく延ばすことができる還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法を得る。
【解決手段】本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法は、ターゲット材としての金属タンタル及び炭素を含む反応ガスを使用してアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）式反応性蒸着法により、４００〜６００℃の雰囲気中において、前記金属タンタルの微粒子を前記反応ガスの粒子と共に前記黒鉛基材の表面に付着させて、前記表面に炭化タンタル微粒子を積層してなる前記被膜を形成すると共に、黒鉛基材の表面にＴａＣ被膜を、その組成比（Ｔａ／Ｃ）が０．８〜１．２となるように形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高温に加熱されたワークを油冷によって危険領域を脱出させ、その後ホットガス装置によって完全等温保持し、その後最終焼入れを行って塩浴を用いない等温保持による低歪焼入れを行う。
【解決手段】加熱炉又は及び浸炭炉と、油槽と、オイルスプレー装置と、前記油槽上部に配置されたホットガス装置とを有して成り、高温に加熱された浸炭又は非浸炭のワークを油冷によって危険領域を脱出させ、その後マルテンサイト変態点温度直上の目標温度に調節されたホットガスと呼ばれるガスで等温保持し、その後常温以下の温度へ焼入れ処理できる複合マルクエンチ装置及びその制御方法。 （もっと読む）

【課題】常圧で密閉及び開放構造のいずれでも処理でき、瞬間加熱によって処理時間を低減でき、収率向上及び費用節減が図れ、高温処理時間短縮によって基板の熱膨張および収縮による損傷を最小限にとどめて不良率を減少させ、基板上に実現される構造物形成材料層の緻密度を向上できる熱処理炉、平板表示素子装置およびそれによって製造される平板表示素子を提供する。
【解決手段】平板表示素子製造のためのパネル４０４に形成される構造物形成材料層に熱処理をして必要な構造物を形成する平板表示素子製造用熱処理炉４０２は、前記熱処理炉は、マイクロウェーブを発生させるマグネトロン；前記マグネトロンで発生したマイクロウェーブを伝達する導波管；および、前記マイクロウェーブとガスによってマイクロウェーブプラズマ３０６を形成して、前記パネルに照射されるように放出する放電管を含む。 （もっと読む）

【課題】定期的な締付操作が不要であり、パーティクルの発生を抑制することができるフィルタ固定機構を提供する。
【解決手段】耐熱フィルタ枠５が熱風通過用開口枠１に直接接触していることにより、熱風通過用開口枠１と耐熱フィルタ枠５との間が密閉され、また、締結軸２および耐熱フィルタ枠５が同一の熱膨張係数の材料から成ることにより、熱風通過用開口枠１と耐熱フィルタ枠５とが完全に密着することができるので、シールド部材を備える必要がなくなる。 （もっと読む）

【課題】表面が金属又は合金からなる基体を加熱処理して酸化物層を形成する加熱処理を効率よく且つ生産性良好に行う加熱処理装置及び加熱処理方法を提供する。
【解決手段】表面が金属又は合金からなる基体３を加熱処理する加熱処理装置であって、少なくとも燃料ガスが導入されて先端から燃焼ガスを噴出するガスバーナ２０と、このガスバーナに燃料ガスを導入する燃料ガス導入手段２１、２２と、前記ガスバーナから放出された燃焼炎を導入する導入口を有する燃焼室１と、この燃焼室１に連通部１３を介して連通して設けられると共に前記基体３を載置して加熱処理する処理室２と、前記ガスバーナ２０から噴出された燃焼ガスを前記連通部１３から導入して当該処理室２内に燃焼ガスの均一な雰囲気を形成する処理雰囲気形成手段１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】熱損失がほとんど無く、高いクリーン性能を持ち、さらに設備負担を低減するクリーンオーブンを実現する。
【解決手段】本発明のクリーンオーブン１は、炉外に設けられているダクト１１と炉内が、互いに雰囲気ガスの圧力の等しい接続部Ｂと接続部Ｃにおいて、該接続部Ｂと接続部Ｃとをつなぐように接続されており、ダクト１１は内部に冷却器６と冷却器用ファン１２とを備えている。冷却器６が炉外にもうけられているため熱損失がほとんどなく、さらにダンパーが設けられていないので、発塵せず高いクリーン性能を持つ。また、加熱中に冷却水の供給が停止した場合、冷却器用ファン１２が停止するので、クリーンルーム外に蒸気を排出するためのダクトが不要である。 （もっと読む）

【課題】マッフル本体内の雰囲気条件を制御することができ、良好な品質の製品を製造することができるマッフル炉を提供する。
【解決手段】ワークWに熱処理を施す処理空間Lが形成されたマッフル本体２０と、マッフル本体２０内を加熱する加熱部２１と、ワークWを搬送する搬送機構１５と、雰囲気ガス５０を加熱するガス加熱機構２２とを備えてなり、ガス加熱機構２２は、マッフル本体２０近傍に配置され、処理空間L内に向けて開口するガス供給孔部を備えたガス供給チャンバー２５と、マッフル本体２０の外部から管路２６を介してガス供給チャンバー２５へ雰囲気ガス５０を供給するガス供給源２７とを備えてなることを特徴とするマッフル炉。 （もっと読む）