【課題】 基板を高温で処理する場合においても、熱によるチャンバーの変形を有効に防止することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】 熱処理装置は、チャンバー１と、第２チャンバー２と、フレームカバー３とを、この順序で順次外側に配置した三重構造を有する。そして、チャンバー１内には、基板１００を加熱して処理するためのホットプレート４が配設されている。第２チャンバー２は、いずれも金属板から構成される上蓋２１、本体２２およびフード２６と、これらの上蓋２１、本体２２およびフード２６の内面に配設された断熱材２３とを備える。この第２チャンバー２は、チャンバーベース２７とともに、チャンバー１を囲う断熱領域ＴＩを形成する。すなわち、チャンバー１と第２チャンバー２との間には、外部との空気の流通が制限された空気断熱層から構成される断熱領域ＴＩが形成されている。 （もっと読む）

【課題】炉内温度の上昇を抑制しながら、分子間の水素結合を切断する能力に優れる近赤外線を集中的に放射し、水または樹脂バインダーを含有する未焼成セラミックを効率よく乾燥することができるセラミック乾燥炉を提供する。
【解決手段】本発明のセラミック乾燥炉は、３．５μｍ以下の電磁波の吸収スペクトルを持ち、水素結合を有する水または樹脂バインダーを含有する未焼成セラミックを乾燥させるための炉である。炉体１０の内部に未焼成セラミックの搬送手段１１と赤外線ヒーター１２とを備える。赤外線ヒーター１２は、フィラメント１５の外周が３．５μｍ以上の赤外線を吸収する複数の管によって覆われ、これらの複数の管の間に赤外線ヒーターの表面温度の上昇を抑制する冷却用流体の流路を形成した構造を有する。 （もっと読む）

【課題】 発熱体の両側端を支持しながら熱変形を合理的に吸収し発熱体を安定させることの可能な電気ヒーター及び電気ヒーターを備えた炉を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する支持体２０とを備える。スリットに沿う幅方向Ｗに位置する一対の幅方向端部１３，１３の中間に位置する電流路には貫通孔を設けてある。発熱体１０は、この貫通孔を貫通する支持体３０により少なくとも厚み方向Ｙ及び幅方向Ｗに対する移動を規制されて支持される。一対の幅方向端部１３，１３は端部貫通孔又はスリットを貫通する支持体４０により各々発熱体１０の厚み方向Ｙに対する移動が規制されると共に幅方向Ｗに対する移動が許容されている。 （もっと読む）

【課題】加熱効率に優れるとともに、製造コストが比較的低く、さらに大型に作製しても不都合がない加熱装置。
【解決手段】加熱装置Ｄ１は、上下一対の基板半体からなるアルミニウム合金製基板１を備えてなる。すなわち、基板１は、一対の基板半体の一方としての上部基板２と、基板半体の他方としての下部基板３とからなる。加熱装置Ｄ１はさらに、基板１を加熱することで、上部基板２に載置された被処理物を加熱するための加熱管（ヒーター）５０と、基板１を冷却することで、上記被処理物を冷却するための冷却管（冷却用ガス流通管）６０とを備えている。ヒーター５０を嵌め込むための溝２ａ，３ａとヒーター５０との間隙およびガス流通管６０を嵌め込むための溝２ｂ，３ｂとガス流通管６０との間隙は、熱伝導性部材としてのシリコーンゴム製シート５をこれらの間隙に配設することで塞がれている。 （もっと読む）

【課題】 搬送治具に載置した反射板を長期間、連続使用でき、反射板の耐久性が向上すると共に、高いエネルギー効率で被処理物に皮膜材を焼成して成膜する焼成炉および皮膜形成方法を提供すること。
【解決手段】 赤外線を照射し、皮膜材３を被処理物２に焼成して成膜する皮膜形成方法であって、皮膜材３を塗布した被処理物２を載置すると共に、反射板１３〜１６を配備した搬送治具１１を有する搬送装置１０により、被処理物２を焼成ゾーン２０に搬送し、焼成ゾーン２０のランプユニット２１からの赤外線を直接、被処理物２に照射すると共に、反射板１３〜１６で反射させ被処理物２の皮膜材３の塗布部分２ａと、塗布部分２ａ以外の照射部分２ｂ、２ｃに照射し皮膜材３を焼成する。次に搬送装置１０で被処理物２を冷却ゾーン３０に搬送し、皮膜材３を焼成した被処理物２と反射板１３〜１６とを冷却する。 （もっと読む）

【課題】従来の加熱炉においては、蛇行状ヒータエレメントの湾曲部を炉壁用断熱材に固定しているため、加熱中のヒータエレメントの膨脹及び冷却中の収縮による歪みがヒータエレメントに蓄積し、そのため長期亘って使用しているとヒータエレメントがこれを配置した溝内から飛び出したり、ヒータエレメント同士が接触したり、ヒータエレメントが炉内の被加熱物に接触したり、熱疲労によりヒータエレメントが破断してしまうという欠点があった。
【解決手段】本発明の高温用加熱炉は、炉壁用断熱材と、この断熱材の炉芯側面に上下方向に互いに離間して多段に配置した、夫々上下端で蛇行状に折れ曲がるヒータエレメントと、上下に隣接する上記ヒータエレメントの互いに対向する蛇行部分を連結する、上記断熱材に固定されていない耐熱・絶縁性フックと、上記ヒータエレメントの最上段のものを吊下する手段とより成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】脱ガス時間が短く、真空保持性が低下しにくい真空熱処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】真空熱処理装置１は、真空中に配置されると共にガスを吸収した被処理物Ｐが収容される収容室４２を持つ回転容器４を備え、被処理物Ｐを加熱することにより被処理物Ｐの脱ガス処理を行うことを特徴とする。真空熱処理装置１では、被処理物Ｐが収容される収容室４２を持つ回転容器４そのものが、真空中に配置される。回転容器４の内部と外部とは、共に真空である。つまり、真空境界は、回転する回転容器４の壁部ではなく、回転容器４よりも外部に存在している。したがって、収容室４２の真空保持性が低下しにくい。 （もっと読む）

【課題】熱間等方圧加圧装置用の加熱装置において、支持台をモリブデン系の合金材料としつつも、断熱構造体の脆化による損傷や窒素高圧ガス雰囲気での窒化の問題を解消する。
【解決手段】金属製抵抗線により形成されたヒータエレメント２０と、このヒータエレメント２０を処理室６内で上下方向に複数ゾーンに分配させて保持する支持台２１とを有している。支持台２１は、アルミナを主成分とするセラミックス長繊維材料により形成された密度１.９〜２.５ｇ／ｃｍ³の織布を材料として筒型に形成されている。 （もっと読む）

【課題】酸化ニッケル粉末の高温焙焼による製造過程で、熱エネルギーコストおよび焙焼設備維持コストを少なくし、製造コストを抑えた効率的な製造を可能とする。
【解決手段】焙焼用加熱炉（１）において、円筒型の転動炉（２）の両側面部および底面部の３面に、対向状態の電熱式の側面ヒーター（３）および電熱式の底面ヒーター（４）を分割状態として脱着自在に設け、底面ヒーター（４）の熱源として棒状電熱ヒーター、好ましくはシリコニット製棒状電熱ヒーターを用い、運転時に、底面ヒーター（４）を負荷固定運転とするとともに、側面ヒーター（３）を負荷制御として、転動炉（２）内の被焙焼物（酸化ニッケル粉末）に熱エネルギーを供給し、被焙焼物（酸化ニッケル粉末）を焙焼する。 （もっと読む）