この発明は、ケイ化物（５）などの第一の層とそれに隣接する層との間に、不活性化した境界面（６ａ，６ｂ）を製作する方法に関する。この方法の間には、Ｓ、Ｓｅ、Ｔｅなどの不活性化元素を、この層構造の中に組み入れるとともに、温度処理の間に、少なくとも第一の層の隣接層との境界面において濃縮させる。こうすることによって、ショットキー障壁を低下させるとともに、遷移域の仕事関数を調節すことに成功した。例えば、ソース接点とドレイン接点の両方又は一方のショットキー障壁が低い又はそれどころか負であるショットキー障壁ＭＯＳＦＥＴとスピントランジスターの素子を開示している。
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垂直方向の半導体装置は、電気装置そして／または相互接続を含む分離して作られた基板に付加される。多くの垂直方向の半導体装置は物理的に互いに分離され、そして同一半導体本体又は半導体基板内には配置されない。多くの垂直方向の半導体装置は取り付けられた後に個別のドープされたスタック構造を生成するため、エッチングされた数個のドーピングされた半導体領域を含む薄い層として分離して作られた基板へ付加される。あるいは多くの垂直方向の半導体装置が分離して作られた基板に取り付けるのに先立ち製作される。ドープされたスタック構造は、ダイオードキャパシタ、ｎ‐ＭＯＳＦＥＴ、ｐ‐ＭＯＳＦＥＴ、バイポーラトランジスタ、及び浮遊ゲートトランジスタのベースを形成する。強誘電体メモリー装置、強磁性体メモリー装置、カルコゲニド位相変更装置が分離して作られた基板と連結して使用するために、堆積可能なアッド‐オン層に形成される。堆積可能なアッド‐オン層は相互接続ラインを含む。

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ショットキーのような動作を有するモノリシック集積パンチスルー・ダイオード。これは、ショットキー金属領域（１６）が第１のｐドープ・ウェル（９）の表面の少なくとも一部に堆積されるときに実現される。ショットキー金属領域（１６）およびｐドープ・ウェル（９）は、ショットキー・ダイオードの金属−半導体−遷移を形成する。順方向特性が０．５Ｖ未満の電圧降下を有するので、発明のＰＴダイオードの過電圧保護は改善される。
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【課題】ゲート長の短いゲート電極を有し、しかも低抵抗で高周波特性が優れている半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】少なくともノンドープＩｎＧａＰ層又はノンドープＩｎＡｌＧａＰ層からなる上層半導体層１２と、この上層半導体層直下にＧａＡｓ層またはＡｌＧａＡｓ層からなる下層半導体層１１を含む半導体基板に、上層半導体層表面から上層半導体層への浸入が、下層半導体層で略停止するショットキーゲート電極１５と、このショットキーゲート電極部に接続して第１の電極の抵抗を低減する第２の電極部１６からなるＴ字型ゲート電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＣ基板を用い、オン抵抗のさらなる低減が図られた半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、研磨等により厚さが２００μｍ以下にされ、（　０　０　０−１）Ｃ面を上面とするＳｉＣ基板１１ａと、ＳｉＣ基板１１ａの上面上に順に設けられた半導体からなるエピタキシャル成長層１２，ショットキー電極１４及び上部電極１６と、Ｓｉ面であるＳｉＣ基板１１ａの裏面上に順に設けられたオーミック電極１５及び下部電極１７とを備えている。ＳｉＣ基板１１ａが従来の基板よりも薄いため、動作時のオン抵抗が大きく低減されている。 （もっと読む）

【課題】 結晶の乱れ及び結晶表面の荒れを低減させたイオン注入層を提供する。
【解決手段】 本発明に係るＳｉＣ半導体１のイオン注入層２は、４Ｈ型ＳｉＣの｛０３−３８｝面から１０°以内の角度αのオフ角を有する面方位の面に広がっている。 （もっと読む）

【課題】 半導体上の膜付着力が強く、かつ温度特性が優れたショットキー電極を備えた窒化物系III−Ｖ族化合物半導体装置の電極構造を提供する。
【解決手段】 この窒化物系III−Ｖ族化合物半導体装置の電極構造は、電極４の材料として金属窒化物(窒化タングステン)を用いたので、半導体ＧａＮ層３への膜付着力が強く、かつ、加熱によってショットキー特性が劣化することがないショットキー電極４を得ることができた。 （もっと読む）