【課題】Ｘ軸方向とＹ軸方向とＺ軸方向の三軸方向の加速度をそれぞれ高精度に検出できる加速度センサを提供する。
【解決手段】加速度センサ１は、基台２のＸＹ基板面上に浮いた状態で配置される枠状の梁部４と、梁部４を支持部５ａ，５ｂを介して基台２に両持ち梁状に支持する梁部支持固定部と、基台２のＸＹ基板面上に浮いた状態で配置される錘部７と、錘部７を梁部４に片持ち梁状に支持する連結部８とを有して構成する。錘部７は、枠状の梁部４の撓み変形によってＸ軸方向とＹ軸方向とＺ軸方向の三軸方向に変位可能な構成と成す。梁部４には、Ｘ軸方向の加速度を検出するためのＸ軸方向加速度検出部と、Ｙ軸方向の加速度を検出するためのＹ軸方向加速度検出部と、Ｚ軸方向の加速度を検出するＺ軸方向加速度検出部とを設ける。また、梁部４には、加速度検出の感度向上用のスリットを設ける。 （もっと読む）

【課題】加速度を検出する検出部としての変位可能な可動電極を有する加速度センサ装置において、検出部の機械的な破損に対して冗長性を持たせることで信頼性の向上が図れるようにする。
【解決手段】検出部１〜４は、検出対象として加速度を検出するものであって、可動部としての可動電極２０とこの可動電極２０に対向して配置された固定電極３０、４０とを有するとともに、加速度の印加時には、可動電極２０と固定電極３０、４０との間の容量が変化し、この容量変化が検出部１〜４の信号として出力されるものである。このような検出部１〜４を、１つの半導体チップ１０に複数個設けることで、１個の検出部が機械的に破損したとしても、他の検出部からの出力信号により検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度を検出する角速度検出素子１０と、加速度を検出する加速度検出素子１２と、加速度検出素子１２または角速度検出素子１０から出力される信号を処理するＩＣ１４と、角速度検出素子１０および加速度検出素子１２およびＩＣ１４とを収納するとともに、ＩＣ１４を固定配置したパッケージ１６とを備え、角速度検出素子１０の上方に加速度検出素子１２を配置し、角速度検出素子１０とパッケージ１６とを角速度検出素子１０に設けた連結部１７を介して接続するとともに連結部１７は弾性手段とした構成である。 （もっと読む）

【課題】 測定レンジの大きく異なる複数の３軸加速度センサーを小さい面積に低コスト
で製造する。また、複数のセンサーの加速度検出軸の向きを高精度に一致させる。
【解決手段】 枠部と、可撓部を介して枠部に保持される錘部と、可撓部に設けられた半
導体ピエゾ抵抗素子からなる第一３軸加速度センサー素子の枠部内に、第一３軸加速度セ
ンサー素子より単位加速度あたりの出力電圧が小さい第二３軸加速度センサー素子を形成
する。枠部を共有するため小型化でき、フォトリソやエッチングなどの工程で一つのチッ
プに一括形成できるので製造コストが低く、かつ複数のセンサー素子の加速度検出軸をフ
ォトリソマスク精度で高精度に一致させることができる。 （もっと読む）

【課題】外部加速度の影響により角速度センサ出力に誤差を除去するとともに、角速度検出の高感度化を可能とする。
【解決手段】電磁駆動方式および静電検出方式を用い、互いに直交する３軸のうち１軸方向の駆動振動で２軸方向の角速度を検出する複数の慣性センサ素子２，３を同一基板（第１基板１００）上に形成したもので、前記慣性センサ素子２，３の少なくとも一組の慣性センサ素子２，３は前記第１基板１００上で互いに直交する向きに配置されていて、前記複数の慣性センサ素子２，３は、複数の弾性支持体１０２−１〜６に支持されたもので、互いに逆位相で駆動振動する振動モードを有する２対の振動子（第１振動子１０１−１、第２振動子１０１−２）を備えたことを特徴とする慣性センサ１である。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができる、加速度センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】加速度センサは、ピエゾ抵抗型の加速度センサであり、センサチップ２を備えている。このセンサチップ２では、半導体素子が作り込まれた半導体基板２１上に、第１ピエゾ抵抗素子３５および第２ピエゾ抵抗素子３７が設けられている。すなわち、半導体素子と第１ピエゾ抵抗素子３５および第２ピエゾ抵抗素子３７とが、１つのセンサチップ２に集約して形成されている。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出素子２と角速度検出素子４を互いに積層配置するとともに加速度検出素子２の錘部１２と離隔させて加速度検出素子２の上方に角速度検出素子４を配置し、かつ、角速度検出素子４は、加速度検出素子２の錘部１２と対向する対向面に、加速度検出素子２の錘部１２と離隔させる凹部２６を設けるとともに、この凹部２６の少なくとも一部は錘部１２の可動範囲（Ｈ）を超えない深さ（Ｄ）として、加速度検出素子２の錘部１２の上方可動を抑制した構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明はコリオリ力に基づき変位する第１及び第２の振動子の変位を第１及び第２の検出電極で検出することにより加速度及び角速度を検出する加速度角速度センサに関し、検出電極の変位方向以外の変位を抑制することにより加速度（Ｇ）及び角速度（Yaw）の検出精度の向上を図ることを課題とする。
【解決手段】駆動方向（Y1,Y2方向）及び検出方向（X1,X2方向）に変位可能な構成とされると共に互いに対称となるよう対向配置された第１及び第２の振動子11,12と、この各振動子11,12を駆動方向に振動させる第１及び第２の駆動電極13,14と、第１及び第２の振動子11,12の検出方向に対する変位を静電容量変化として検出する第１及び第２の検出電極15,16とを有する加速度角速度センサにおいて、前記第１及び第２の検出電極15,16を第１及び第２の振動子11,12の外部に分離して配設すると共に、この第１及び第２の検出電極15,16を検出方向に変位可能に支持する第１及び第２の検出ばね18,19を設けた。 （もっと読む）

【課題】 測定レンジの大きく異なる複数の３軸加速度センサーを小さい面積に低コスト
で製造する。また、複数のセンサーの加速度検出軸の向きを高精度に一致させる。
【解決手段】 枠部と、対を成す梁部２対を介して枠部に保持される錘部と、梁部に設け
られた半導体ピエゾ抵抗素子からなる第一３軸加速度センサー素子の枠部内に、第一３軸
加速度センサー素子より単位加速度あたりの出力電圧が小さい第二３軸加速度センサー素
子を形成する。枠部を共有するため小型化でき、フォトリソやエッチングなどの工程で一
つのチップに一括形成できるので製造コストが低く、かつ複数のセンサー素子の加速度検
出軸をフォトリソマスク精度で高精度に一致させることができる。 （もっと読む）

本発明は駆動系質量体要素（３，１３）と、検出系質量体要素（８，１４）と、検出装置とを有し、前記駆動系質量体要素（３，１３）は基板の表面に配設され、駆動装置によって前記表面に沿って延在する第１の軸線（ｙ）に沿って振動させるべく駆動可能であり、前記検出系質量体要素（８，１４）は第２の軸線（ｚ）に沿ってコリオリ力の作用のもとで偏倚可能であり、前記検出装置は、第２の軸線（ｚ）に沿った検出系質量体要素（８，１４）の変位が検出可能である、回転レートセンサに関している。本発明によれば、前記第２の軸線（ｚ）が基板表面に対して垂直方向に延在する。
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【課題】ＭＥＭＳによる慣性センサを小型化したときにも、構造体の強度（信頼性）と慣性センサの感度を両立することが可能で、かつ、広い加速度領域で一定レベルの感度が得られるＭＥＭＳによる慣性センサを提供する。また、標準的なＬＳＩ製造技術であるＣＭＯＳの製造工程で、慣性センサを封止・実装することにより、小型化、かつ、半導体集積回路装置またはＭＥＭＳによる異種のセンサをモノリシックに混載可能な慣性センサとその製造方法を提供する。
【解決手段】慣性センサの錘を複数の分割錘１０７から構成し、この分割錘１０７同士を弾性変形可能な梁１０８で接続する。各分割錘１０７の可動範囲、質量、各梁１０８の剛性等を調整する、または、加速度に対する感度領域の異なる複数の変形モードを併用することにより、加速度の検出感度を向上させるとともに加速度応答範囲を広げる。 （もっと読む）

【課題】部品を一層小型化するための新規の設計法を提供すると同時に、部品の縮小化に伴う感度の低下を解決する表面搭載型ＭＥＭＳ共振センサ、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】平面内で励振する共振器４を備えた表面型ＭＥＭＳ共振センサであって−第１の厚さ（Ｅ_１）を有し、振動マスを構成する、いわゆる厚い第１領域２と、−第１の厚さより小さい第２の厚さ（Ｅ_２）を有し、検出を行なう薄い第２領域４とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動電極の支持基板への直接的接触を防止する。
【解決手段】半導体層２のアンカ部３にビーム部４を介して非対称な質量バランスとなるように可動支持され、半導体層２の厚み方向の物理量の変位に応じて動作する可動電極５と、半導体層２を支持する絶縁層２０上に形成された固定電極６とを相互に間隙を介して対向配置し、可動電極５と固定電極６との間隙の大きさに応じて検出される静電容量に基づき物理量を検出する静電容量式センサ１において、可動電極５が、絶縁層２０との対向面５ｓに絶縁層２０との直接的接触を回避するストッパ１３を有することで実現する。 （もっと読む）

【課題】安定して高い精度で力学量を検出することができる力学量検出装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、対の振動子２０_−１，２０_−２を備え、作動時に、それぞれの振動子が逆位相に励振されるように前記振動子の駆動電極２８_−１〜２８_−４に駆動電圧を印加した駆動状態を形成し、その駆動状態における振動子の変位に基づいて力学量を検出する力学量検出装置において、前記振動子が励振されない非駆動状態において、前記振動子に対して直流電圧Ｖ_Ｂをを印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ピエゾ抵抗素子の形状、抵抗値、および温度変化による抵抗値変化の特性のばらつきを低減させ、検出精度を高めることができる加速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】固定部１と、この固定部１に接続された第１、第２の片持ち梁部２，３と、この第１、第２の片持ち梁部２，３の先端にそれぞれ形成された第１、第２のおもり部４，５と、前記第１、第２の片持ち梁部２，３のそれぞれに形成された第１〜第４のピエゾ抵抗素子６〜９とを備え、前記第１、第２の片持ち梁部２，３および第１、第２のおもり部４，５をそれぞれ同一形状にするとともに、同一平面上に同じ向きに並べて構成したものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出精度の劣化を低減または防止し、かつ周りの部品等との干渉の発生も低減または防止することができる加速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】第１、第２の片持ち梁部２，３の断面の高さ方法にｘ軸を設定し、前記片持ち梁部２，３の断面の上端をｘ＝０、前記片持ち梁部２，３の断面の下端をｘ＝ｈとし、かつ前記片持ち梁部２，３の断面の幅をＷ（ｘ）としたとき、前記片持ち梁部２，３の断面形状を、０＜ｘ＜ｈにおいて、Ｗ（ｘ）≦Ｗ（０）またはＷ（ｘ）≦Ｗ（ｈ）が成立し、Ｗ（ａ）＜Ｗ（０）かつＷ（ａ）＜Ｗ（ｈ）が成立する０＜ａ＜ｈなるａが存在するような形状にしたものである。 （もっと読む）

【課題】基板上に浮いた状態で設けられ電極部から延設される配線を取り出すために必然的に生じる分断領域を有する梁構造体の剛性を部分的に高めることができ、梁構造体の、検出とは関係しない部分の熱応力や慣性力による変形を防止して安定した出力を得ることができる力学量検出装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板２上に浮いた状態で設けられる梁構造体３の変位にともなう可動電極３ａ〜３ｆ及び固定電極９ａ〜９ｆ間の静電容量の変化に基づいて梁構造体３に作用する力学量を検出する力学量検出装置１において、梁構造体３に設けられ少なくとも一部が該梁構造体３の長尺部分により形成されて配線１１〜１３が配設される分断領域１０に、梁構造体３を上方に迂回させるとともに前記長尺部分を補強するブリッジ構造（補強ブリッジ２０）を架設した。 （もっと読む）

【課題】検出電極間の静電容量の変化から力学量を演算する半導体力学量センサにおいて、検出振動とは異なる振動によって、検出電極間の距離が不均一となることに起因する検出精度の低下を抑制する。
【解決手段】基部と、基部に連結された検出梁と、検出梁に連結され第一方向に延設される検出錘を有し、第一方向に振動可能な検出部と、検出部に連結された駆動梁と、駆動梁に連結され、第一方向に直交する第二方向に移動可能な駆動部と、検出錘に設けられた検出電極と、検出電極に対向して基部上に配置された固定電極とを備え、検出電極が、駆動部の移動に伴って、第二方向へ変位することを抑制する抑制手段を備える。 （もっと読む）

【課題】エアダンピングの影響を抑え、特に櫛歯構造による大気中での静電駆動で、かつ大振幅駆動が可能な角速度センサを提供する。
【解決手段】四角枠部４に対し１次梁１５，１６にて１次振動子本体１７，１８が連結され、１次振動子本体１７，１８に対し２次梁１４６，１４７にて２次振動子本体３７が連結され、さらに２次振動子本体３７には梁１７１，１７２にて検出用可動電極１７３〜１７６が設置されている。２次振動子本体３７は、１次振動子本体１７，１８からの振動伝達にて１次振動子本体１７，１８と同じ方向（Ｘ軸方向）に振動する。検出用可動電極１７３〜１７６は２次振動子本体３７が振動しているときにおいて角速度の印加に伴う振動方向に直交する方向（Ｙ軸方向）のコリオリ力を櫛歯構造の静電容量の変化によって検出する。 （もっと読む）

【課題】加速度センサの精度、感度を高め、小型化を図る。
【解決手段】加速度センサ１は、ＸＹ平面に平行なＸＹ基板面を持つ基台２と、基台２のＸＹ基板面上に浮いた状態で配置される枠状の梁部４と、梁部４を支持部５ａ，５ｂを介して基台２に両持ち梁状に支持する梁部支持固定部と、基台２のＸＹ基板面上に浮いた状態で配置される錘部７（７ａ，７ｂ）と、錘部７（７ａ，７ｂ）を梁部４に片持ち梁状に支持する連結部８とを有して構成する。錘部７は、枠状の梁部４の撓み変形によってＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の三軸方向に変位可能な構成と成す。梁部４には、Ｘ軸方向の加速度の錘部７の変位に起因した梁部４の撓み変形に基づいて加速度を検出するＸ軸方向加速度検出部と、Ｙ軸方向の加速度の錘部７の変位による梁部４の撓み変形に基づいたＹ軸方向加速度検出部と、Ｚ軸方向の加速度の錘部７の変位による梁部４の撓み変形に基づいたＺ軸方向加速度検出部とを設ける。 （もっと読む）