【課題】慣性センサの性能を向上させる。
【解決手段】４つのセンサユニットＳＵＡ１〜ＳＵＡ４を支持部１５ｅの１点を中心として上下左右に点対称に配置した。また、４つのセンサユニットＳＵＡ１〜ＳＵＡ４を全ての構成要素が完全な音叉になるよう設計した。第１方向Ｙに隣接配置されたセンサユニットＳＵＡ１，ＳＵＡ２の励振素子５，５は互いに逆位相で振動し、第２方向Ｘに隣接配置された他のセンサユニットＳＵＡ３，ＳＵＡ４の励振素子５，５も互いに逆位相で振動する。その上、センサユニットＳＵＡ１，ＳＵＡ２の励振素子５，５と、他のセンサユニットＳＵＡ３，ＳＵＡ４の励振素子５，５とが、位相を９０度ずらした状態で同期して動作する。これにより、励振方向と検出方向との振動結合と、励振エネルギー、コリオリ力の漏れ（損失）を低減または防止することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化及び高精度化を実現するセンサを提供する。
【解決手段】ガラス基板からなるベースブロック１に、検出部が形成された半導体基板３とガラス基板４からなるセンサチップ２を陽極接合などにより複数接合し、多軸センサを製造する。ベースブロック１は、各センサチップ２に対して共有である。このセンサチップは、加速度センサチップ、力センサチップ、角速度センサチップ、モーションセンサチップ、温度センサチップ、圧力センサチップ、光センサチップ、バイオセンサチップのいずれか１つであり、何種類かのセンサチップを組み合わせて構成してもよい。 （もっと読む）

【課題】角速度と２軸の加速度とを同時検出可能な振動体を用いたセンサ構造を提供する。振動体の加工誤差に起因する個体差を許容するセンサ構造を提供する。耐衝撃性の高いセンサ構造を提供する。
【解決手段】振動可能な状態で基板上に支持された４個のおよそ同形状の振動体からなる音叉振動する振動ユニットを２組設け、その振動ユニットの振動軸が互いに直交するように振動体を配置する。各振動体は１対の検出手段および振動の周波数を調整する調整手段を備え、各振動体が相互干渉無いように各々独立に支持された支持構造を備えたコンバインドセンサである。
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【課題】 構造が簡単でかつ製造が容易な静電容量型センサを提供する。
【解決手段】 対向する２つの主面を有し、その一方の面に第１導電型のソース領域と第１導電型のドレイン領域が所定の間隔で設けられ、ソース領域とドレイン領域の間に位置する第２導電型の領域をチャンネル領域とする基板と、チャンネル領域に対向するゲート電極板とを備え、ゲート電極板は、チャンネル領域の表面に平行な一方向に移動可能に設けられており、チャンネル領域とゲート電極板との対向面積の変化に基づいてゲート電極板に加えられた力を検出する。 （もっと読む）

【課題】質量要素及びばねを含むマイクロメカニカルマススプリング系を製造する方法が提供されること。
【解決手段】基板が設けられ、基板は、ばねが形成されるセクションを画定するようにエッチングされる。表面層が基板の表面上に形成される。次いで、表面層からばねを形成するようにエッチングが行われ、さらなるエッチングにより、基板から質量要素及びばねが分離される。本方法に従って製造されるマイクロメカニカルマススプリング系を含む装置も提供される。 （もっと読む）

【課題】微細機械加工加速度計、特に、２つ又はそれよりも多くの軸線に沿った加速度をモニタするための加速度計を提供する。
【解決手段】一部の開示する実施形態では、第１及び第２の軸線に沿った加速度に応答する移動のために基板上方に吊り下げられた試験質量と、試験質量に接続されて第１の軸線に沿った移動だけに拘束された第１の検出電極と、試験質量に接続されて第２の軸線に沿った移動だけに拘束された第２の検出電極とを有する多軸微細機械加工加速度計。別の実施形態では、試験質量はまた、基板に垂直な第３の軸線に沿った加速度に応答して移動可能であり、第３の検出電極が、第３の軸線に沿った加速度に応答する試験質量の移動を検出するために試験質量のすぐ下で基板上に装着される。他の実施形態では、２つの試験質量が、第１の軸線に沿った加速度に応答する基板に垂直な軸線周りの捩り移動のために、かつ基板に垂直な第２の軸線に沿った加速度に応答する基板に平行な第２の軸線周りの回転移動のために基板の上方に装着され、第１の検出器が、第１の軸線に沿った加速度を検出するために試験質量に接続されて第１の軸線に沿った移動だけに拘束された入力電極を有し、検出電極が、試験質量の回転移動及び第２の軸線に沿った加速度を検出するために試験質量のすぐ下で基板上に装着される。 （もっと読む）

【課題】 実装スペースを低減でき、実装基板等への接合強度に優れ、実装基板等からの外部応力による影響が少なく、構造の簡略化及びコストの低減を果たすことができる半導体センサ装置を提供する。
【解決手段】 可動部及び梁部２１を有する半導体センサが形成されている半導体基板２の片面にケース板３が接着剤層５を介して半導体基板２に積層されており、ケース板３の半導体基板２に貼り合わされている側とは反対側の面に複数の突起３ｂが設けられており、複数の突起３ｂの外表面に設けられた端子電極７が、半導体基板２に設けられるように、半導体センサを外部と電気的に接続するための外部接続用電極９に対し、ケース板３の側面において端子電極に連ねられるように設けられている接続電極８により電気的に接続されている、半導体センサ装置。 （もっと読む）

【課題】 小型で高い感度を有する３軸加速度センサを提供する。
【解決手段】 加速度センサ１は、支持枠２と、支持枠２で囲まれた空間に、Ｘ軸方向に沿って順に配置された第２の錘５、第１の錘３および第３の錘４を備える。第１の錘３と第２の錘５とは第１接合部１１で連結され、第１の錘３と第３の錘４とは第２接合部１０で連結されている。第１接合部１１から＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向にそれぞれ第１の梁６、第２の梁７が細長く延在して、第１接合部１１とそれが対向する支持枠部分２Ａ，２Ｂとを連結している。第２接合部１０から＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向にそれぞれ第３の梁８、第４の梁９が細長く延在して、第２接合部１０とそれが対向する支持枠部分２Ａ，２Ｂとを連結している。第１乃至第４の梁６，７，８，９に梁の変形を表す信号を出力する複数のセンサ素子が配置されている。 （もっと読む）

【課題】角速度センサ又はジャイロスコープ、特に、運動量が平衡化され、かつ駆動及び感知モードが分離された二重質量速度センサを提供する。
【解決手段】複数のほぼ平面の質量体と、質量体の各々の平面内の駆動軸線と、質量体を駆動軸線の周りで振動するように駆動するための手段と、駆動軸線に垂直な入力軸線と、駆動軸線と入力軸線とに垂直な感知軸線と、入力軸線周りの質量体の回転によって生じたコリオリ力に応答して感知軸線周りにねじれ移動するように質量体を取り付ける手段と、感知軸線周りのねじれ移動に応答して入力軸線周りの回転の速度をモニタするための手段とを含む速度センサ。 （もっと読む）

【課題】角速度センサ又はジャイロスコープ、特に、運動量が平衡化され、かつ駆動及び感知モードが分離された二重質量速度センサを提供する。
【解決手段】複数のほぼ平面の質量体と、質量体を質量体の平面内の駆動軸線の周りで振動するように駆動するための手段と、駆動軸線に垂直な入力軸線と、駆動軸線と入力軸線とに垂直な感知軸線と、入力軸線周りの質量体の回転によって生じたコリオリ力に応答して感知軸線周りにねじれ移動するように質量体を取り付ける手段と、感知軸線周りのねじれ移動に応答して入力軸線周りの回転の速度をモニタするための手段とを有する速度センサ。 （もっと読む）

【解決手段】単一のマルチセンサ装置において、３軸の加速度検知及び３軸の角速度検知を与える六自由度型微細加工マルチセンサである。この六自由度型マルチセンサ装置は、２軸の加速度検知並びに１軸の角速度検知を与える第１のマルチセンサ下部構造体と、第３軸の加速度検知並びに第２及び第３軸の角速度検知を与える第２のマルチセンサ下部構造体とを有する。第１及び第２のマルチセンサ下部構造体は、六自由度型マルチセンサ装置内において、それぞれの基板上に実装される。
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【解決手段】１軸の加速度検知及び２軸の角速度検知を与える微細加工マルチセンサである。このマルチセンサは、複数の加速度計を備え、各加速度計は、複数の撓み体によって基板に固定され、その上に懸架された質量を有する。各加速度計は更に、それぞれの質量の横及び縦軸に沿って配設された加速度検知電極構造体を有する。このマルチセンサは、質量を結合して質量の相対的な逆相移動を許容すると共に同相移動には抵抗する音叉部材と、質量を逆相で振動させる駆動電極構造体とを有する。このマルチセンサは、それぞれの質量の横及び縦軸に沿う電気的に独立した加速度検知信号を与える。これら検知信号は、１軸の加速度検知及び２軸の角速度検知を得るために加算及び／又は減算される。
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【解決手段】２軸の加速度検知及び１軸の角速度検知を与える微細加工マルチセンサである。このマルチセンサは、堅固な加速度計フレームと、第１の慣性質量と、第２の慣性質量とを備える。基板は、基板の面内の２つの関連した加速度軸と、この加速度軸に垂直な１つの関連した回転軸とを有する。慣性質量は、回転軸に垂直な共通の振動軸を有する。このマルチセンサは更に、慣性質量を逆相で振動させるための駆動電極構造体と、加速度軸の一方に沿って配設された加速度検知電極構造体の第１の対と、他方の加速度軸に沿って配設された加速度検知電極構造体の第２の対とを有する。このマルチセンサは、それぞれの検知電極対によって与えられる検知信号を加算して、加速度軸に沿った加速度検知に属する情報を抽出し、またそれぞれの検知電極対によって与えられる検知信号の差を加算して、回転軸に対する角速度検知に属する情報を抽出する。
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能動半導体層に形成されたセンサ感知機構と、各々センサ機構の対向面に結合された活性層を有する対向するシリコン・カバープレートとを有する対称ほぼ完全シリコン密封封止ＭＥＭＳを実現する、シリコン・オン・オキサイドウェーハのバルク機械加工および融着に基づいたセンサ構造の装置および方法。この機構は、少なくとも１つの機構アンカーで構造的に支持されたセンサ機械特徴で構造化されている。カバープレートの活性層は、各々、センサ機械特徴と協働するように構造化された内部特徴および機構アンカーと協働するように構造化されたアンカーを含む。各カバープレートのハンドル層は、このハンドル層を通してカバープレート・アンカーと一直線に並んで延びる穴を含む。誘電体材料の完全なリムが、カバープレート・アンカーと穴の間の封止を形成し、カバープレート・アンカーの外面を露出させている。
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【課題】より小型化された加速度計を形成すること。
【解決手段】櫛形をなす容量型加速度計であって、基板（５）と、第１可動電極（２）と、第１固定電極（４Ａ，４Ｂ）と、を具備し、これにより、相互噛合した櫛からなる第１微小構造（２０）が形成され、さらに、第２可動電極（４０）と第２固定電極（４２）とから構成された、相互噛合した櫛からなる少なくとも１つの第２微小構造（２２）を具備し、第２微小構造（２２）が、第１微小構造（２０）に対して、重ね合わされた位置に配置され、このような加速度計において、第２可動電極（４０）および第２固定電極（４２）が、第１可動電極（２）および第１固定電極（４）と同じ基板に、エッチングによって形成されている。 （もっと読む）

【課題】 加速度角速度複合センサにおいて、簡単なセンサ構成で加速度や角速度の検出を可能にすると共に、駆動振動に起因するノイズの低減を可能にする。
【解決手段】 基板１と、基板１に変位可能に支持されている一対の振動子２と、基板１に固定され振動子２との間に電圧を印加する駆動固定電極３と、基板１に固定され検出軸方向における振動子２との間の静電容量の変化を検出する検出固定電極４と、を備え、振動子２が、駆動軸方向に変位可能に、かつ、検出軸方向の変位が抑制されて支持されたジンバル部５と、ジンバル部５に対して、検出軸方向に変位可能に、かつ、駆動軸方向の変位が抑制されてジンバル部５内に支持されたマス部６と、検出軸方向に変位可能に、かつ、駆動軸方向の変位が抑制されて検出固定電極４との間で静電容量の変化を検出する検出可動電極７と、を有する。 （もっと読む）

基板と、枠（２）、基板にある枠（２）の懸架片（７）、少なくとも１つの振動装置（３）、及び枠（２）にある振動装置（３）の懸架片（４，５）を含む少なくとも１つの基本素子（１，１１，１２，１３，１４）と、駆動手段（８）と、読取り装置（９，１０）とを持つ回転速度センサに関する。本発明によれば、駆動手段（８）が基本素子（１，１１，１２，１３，１４）の枠（２）に作用するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 従来技術の欠点を克服する。
【解決手段】 本発明は、ジャイロメーター(１０)の平面(Ｘ,Ｙ)に沿って自由に動くことができる質量体(１２,１２')の振動方向(Ｘ)に対して垂直な角運動(Ω)によって生じるコリオリの力の検出に基づく(有利なことには既存のマイクロ電子技術を用いて機械加工された)マイクロジャイロメーター(１０)を提案する。コリオリの力は、可動デバイス(２０)に接続された共振子(２２)の固有モードに適合する運動を通して検出される。 （もっと読む）

【課題】 基板に振動体を設けてなり当該基板と垂直な軸回りの角速度を検出するようにした角速度検出素子を、回路基板上に接着剤を介して積層してなる角速度検出装置において、接着剤の接着面積を小さくし構造体の共振周波数を低下させるとともに、ワイヤボンディングを容易に可能にする。
【解決手段】 基板１０に当該基板１０と水平な面内にて振動可能な振動体を設け、当該振動体の振動に基づいて基板１０と垂直な軸回りの角速度を検出するようにした角速度検出素子１００を備え、角速度検出素子１００が、回路基板２００上に接着剤３００を介して積層されている角速度検出装置Ｓ１において、角速度検出素子１００の基板１０の上面と回路基板２００とをボンディングワイヤ７０により結線し、接着剤３００を、角速度検出素子１００の基板１０におけるボンディングワイヤ７０の接続部の下方に、部分的に配置する。 （もっと読む）

【課題】 振動型の角速度センサにおいて、重力による振動子の変位をキャンセルして振動子の適切な振動状態を実現する。
【解決手段】 基部２０と、基部２０に連結された振動子３０、４０と、振動子３０、４０をｘ方向へ駆動振動させるための加振手段３４、４４、２１１〜２１４、２２０と、振動子３０、４０の駆動振動のもと角速度が印加されたときにｘ方向と直交するｙ方向への振動子３０、４０の振動に基づいて角速度を検出する検出手段６０、７０、２３１〜２３４とを備える角速度センサ１００において、重力によって振動子３０、４０が重力方向へ変位した変位量をキャンセルするように、振動子３０、４０の位置を調整する位置調整手段８１、８２、２５０が備えられている。 （もっと読む）