【課題】高性能の角速度検出装置を提供する。
【解決手段】励振素子１３、コリオリ素子１４を含む駆動部を、固定端を共有している少なくとも２本の振動方向と直交する方向に延びる固定梁１２ａによって浮揚し、振動させている。実装または、熱の変動によって基板が変形したとしても、固定梁と支持梁に発生する内部応力は小さく、共振周波数や振動振幅などの振動状態を一定に保つことができる。そのため、実装環境の変化にロバストな高性能角速度検出装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】衝撃による破壊の危険性を低減させ、かつ静電相互作用の影響を低減する。
【解決手段】マイクロエレクトロメカニカルデバイス１において、可動質量体２を、弾性の懸架素子を介して基板３の上方に懸架し、かつ弾性の懸架素子の周りに回転可能とし、カバー構造１０は、可動質量体２の上方に配置し、かつ可動質量体２に対面する内面１０ａを有し、かつストッパ構造１２を、カバー構造１０の内面１０ａに配置し、基板３に交差する軸線ｚに沿う基板３から遠ざかる可動質量体２の運動を停止させるように、可動質量体２に向かって突出する。ストッパ構造１２は、相反する相互作用の影響を減少するように、とくに弾性の懸架素子の周りの可動質量体２の合成的ねじりモーメントを減少させるように、可動質量体２に対して相対配置する。 （もっと読む）

【課題】過剰に加速度が印加されたときであっても電極が損傷しにくい構造の静電容量型加速度センサを実現する。
【解決手段】この静電容量型加速度センサ３０１は、基板１１と、前記基板上に形成された支持部１５ａ，１５ｂと、前記基板から浮遊した状態で前記支持部に支持された可動電極１７ａ，１７ｂと、前記基板上に形成された固定電極３１４とを備え、前記可動電極および前記支持部、または、前記固定電極のうち一方は、複数組存在するものである。 （もっと読む）

【課題】支持基板の上に絶縁膜を介して薄膜半導体層を配した積層基板を用いて半導体力学量センサを構成した場合において配線ラインの簡素化を図ることができる半導体力学量センサを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板１を用いて第１のコンデンサ構成部Ｅ１と第２のコンデンサ構成部Ｅ２と第３のコンデンサ構成部Ｅ３が形成されている。第１及び第３のコンデンサ構成部Ｅ１、Ｅ３の各梁構造体の可動電極部に搬送波電圧が印加されながら各可動電極部が加速度の作用により支持基板２の表面に直交する方向に変位して各可動電極部と支持基板２との間の容量Ｃ１、Ｃ３が変化する。第２のコンデンサ構成部Ｅ２の信号取出用対向電極部２０がその下に絶縁膜３が存在する状態で区画形成され、容量Ｃ１、Ｃ３の容量差の変化が信号取出用対向電極部２０から取り出される。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】信号線に発生する静電容量を低減して、特性向上を図ったセンサの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、可撓部を介して錘部２を連結した固定部４と、錘部２と対向させた対向基板６と、錘部２と対向基板６の各々の対向面に配置した第１対向電極〜第４対向電極１４、１６、１８、２０と、これら電極から引き出した信号線２１とを有し、加速度検出部では、錘部２と対向基板６の各々の対向面に配置した第１対向電極〜第４対向電極１４、１６、１８、２０の静電容量変化を検出して加速度を検出しており、全ての信号線２１の端部を検出素子１の上面側または下面側のいずれか一方側に配置し、信号線２１の端部にて実装基板と電気的に接続した構成である。 （もっと読む）

【課題】信号線に発生する静電容量を低減して、特性向上を図ったセンサの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、可撓部を介して錘部２を連結した固定部４と、錘部２と対向させた対向基板６と、錘部２と対向基板６の各々の対向面に配置した第１対向電極〜第４対向電極１４、１６、１８、２０と、これら電極から引き出した信号線２１とを有し、加速度検出部では、錘部２と対向基板６の各々の対向面に配置した第１対向電極〜第４対向電極１４、１６、１８、２０の静電容量変化を検出して加速度を検出しており、対向基板６と第１対向電極〜第４対向電極１４、１６、１８、２０または信号線２１との間で発生する静電容量を抑制する抑制手段を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】静電容量変化にバラツキが生じにくく、検出精度の向上を図った加速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、可撓部を介して錘部２を連結した固定部４と、ギャップ規定手段により形成したギャップを介して錘部２と対向させた対向基板６と、錘部２と対向基板６の各々の対向面に配置した第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０とを有し、第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０の静電容量変化を検出して加速度を検出しており、ギャップ規定手段は、固定部４に感光性樹脂からなる突起部１３を形成するとともに、突起部１３に対向基板６を載置して形成した構成である。 （もっと読む）

【課題】他軸角速度、角加速度、及び温度依存性の影響を受けることの少ない高精度の角速度センサを提供する。
【解決手段】静電容量型の角速度センサであって、第１及び第２回転フレーム２１、２２は、第１及び第２ねじれ軸を中心に回転可能なように基板１に支持されている。検出フレームは第１及び第２回転フレーム２１、２２内に配置され、検出梁にて接続されている。検出フレーム内には検出電極４ａ、４ｂが交互に配置されている。駆動フレーム２は、第１及び第２リンク梁３１、３２にて第１及び第２回転フレーム２１、２２の各々に連結されている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸またはＹ軸の加速度の検出精度を向上した加速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】錘部２と基板６の各々の対向面に第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０を配置して形成した対向電極部を有し、第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０に基準電圧を印加し、第２、第４対向電極１６、２０における対向距離の拡大変位に起因した静電容量変化と、第１、第３対向電極１４、１８における対向距離の縮小変位に起因した静電容量変化とに基づいて加速度を検出しており、第１〜第４対向電極１４、１６、１８、２０の全ての対向距離が、拡大変位または縮小変位した場合は基準電圧を上昇または下降させた制御電圧を印加する構成である。 （もっと読む）

【課題】 単純な構造を採りながら、静的・動的な加速度と角速度とを検出する。
【解決手段】 加速度検出部１００は、重錘体１１０と、周囲の台座１３０と、可撓性をもった板状橋梁部１２１，１２３と、その表面に埋め込まれたピエゾ抵抗素子Ｐとによって構成され、角速度検出部２００は、重錘体２１０と、周囲の台座２３０と、可撓性をもった板状橋梁部２２１，２２３と、その上面に固着された圧電素子Ｄ，Ｅとによって構成される。台座１３０，２３０は装置筐体４００に固定される。加速度により重錘体１１０が変位すると、板状橋梁部１２１，１２３が撓み、ピエゾ抵抗素子Ｐの電気抵抗の変化として加速度検出がなされる。圧電素子Ｅに交流信号を供給して重錘体２１０を振動させた状態で、角速度に基づくコリオリ力により重錘体２１０が変位すると、板状橋梁部２２１，２２３が撓み、圧電素子Ｄに生じる電荷により角速度検出がなされる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レベルが大きく異なる加速度を検出することができるとともに、小型かつ汎用性の高い加速度センサを提供する。
【解決手段】支持枠と、可撓性を有する第１の梁部を介して前記支持枠に保持される第１の錘部と、可撓性を有する第２の梁部を介して前記第１の錘部に保持される第２の錘部とを有し、前記第１の錘部は前記支持枠の内側に配置されるとともに前記第２の錘部は前記第１の錘部の内側に配置され、前記第１の梁部および第２の梁部に、それぞれ第１の加速度センサ部および第２の加速度センサ部が設けられた加速度センサことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リーク電流を抑制して信頼性の高い半導体力学量センサを提供する。
【解決手段】梁構造体は基板１の上面において所定間隔を隔てた位置に配置され、可動電極を有する。固定電極９ａ〜９ｄ，１１ａ〜１１ｄは可動電極の側面に対向して配置されている。基板１の上面部に、下層側絶縁体薄膜と導電性薄膜と上層側絶縁体薄膜との積層体が配置され、導電性薄膜により固定電極の配線パターン２２が形成されている。開口部３０および固定電極のアンカー部２８ａを通して配線パターン２２と固定電極９ａ，９ｂ，１１ｃ，１１ｄが電気的に接続され、上層側絶縁体薄膜における開口部および梁構造体のアンカー部を通して下部電極と梁構造体とが電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】検出電極に発生する不要振動などによる検出精度の低下を抑制すること。
【解決手段】ギャップを有して対向する第１の電極１１と第２の電極１２とのうちのいずれかの電極を外力によって１つの軸方向に移動させることによって第１の電極と第２の電極との対向距離または対向面積を変化させ、これを電極間の静電容量の変化として検出する静電容量検出型の物理量センサ３であって、第１の電極１１と第２の電極１２のうちのいずれか１方の電極についての１つの軸方向とは垂直な方向に沿った長さが、他方の電極よりも大きく形成されることにより、１方の電極が他方の電極の両側にそれぞれギャップの３倍以上はみ出すように構成される。 （もっと読む）

【課題】加速度強度が異なる加速度を検出する素子をひとつのチップに備えることで、一つの慣性センサで２つ以上の加速度範囲に対応した加速度検出を可能にする。
【解決手段】同一基板（ＳＯＩ基板２０）に加速度強度が異なる加速度を検出する慣性センサ素子３１を少なくとも２つ以上有することを特徴とする。その製造方法は、同一基板（ＳＯＩ基板２０）に慣性センサ素子３１を少なくとも２つ以上形成する慣性センサ１の製造方法であって、前記各慣性センサ素子３１を加速度強度が異なる加速度を検出するもので弾性支持体４２に変位自在に支持された質量部４３を有する慣性センサ素子３１で形成し、前記各慣性センサ素子３１を同一工程で形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非常に大きな衝撃が検出素子に加わっても、検出素子の破壊を抑制したセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】この検出素子２４は、第１アーム２６を第２アーム２８に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２６の一端を支持する支持部３０とを有し、第１アーム２６はメアンダ形状であって弾性を有し、支持部３０に対して対称形状としており、第１アーム２６には歪抵抗素子を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】振動子の重心が平面内を安定して振動するように面外振動を抑制し、面内の安定した並進運動を可能とする。
【解決手段】第１基板１１と、第１基板１１に形成された構造体形成層１３と、構造体形成層１３に形成された第２基板１５とで形成されたもので、構造体形成層１３の一部で形成された複数の支持部１０３−１〜４と、各支持部１０３−１〜４のそれぞれに一端側が支持されるように構造体形成層１３の一部で形成された支持弾性体１０２−１〜４と、各支持弾性体１０２−１〜４の他端側に支持されるように第１基板１１から第２基板１５までの一部で形成された第１、第２振動子１０１−１、２と、振動子の変位を検出して信号を出力する変位検出部とを備え、第１、第２振動子１０１−１、２の重心Ｇ１、Ｇ２と、各支持弾性体支持弾性体１０２−１〜４の支持部側および振動子側の支持点とが同一平面上に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、トリミング用の抵抗を追加することなく電気的出力の調整を行うことができる力学量センサの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の力学量センサの製造方法は、固定部１と、この固定部１に接続された弾性変形可能な第１の片持ち梁部２と、この第１の片持ち梁部２の先端に形成された作用部である第１のおもり部４と、前記第１の片持ち梁部２の上面に形成された第１のピエゾ抵抗素子６〜第４のピエゾ抵抗素子９と、この第１のピエゾ抵抗素子６〜第４のピエゾ抵抗素子９の上面でこの第１のピエゾ抵抗素子６〜第４のピエゾ抵抗素子９と電気的に接続された一対の接続電極１６とを備えた力学量センサにおいて、抵抗値調整のために前記接続電極１６をトリミングする工程を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、トリミング用の抵抗を追加することなく電気的出力の調整を行うことができる力学量センサの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の力学量センサの製造方法は、固定部１と、この固定部１に接続された弾性変形可能な第１の片持ち梁部２と、この第１の片持ち梁部２の先端に形成された作用部である第１のおもり部４と、前記第１の片持ち梁部２の上面に形成された第１のピエゾ抵抗素子６〜第２のピエゾ抵抗素子７と、この第１のピエゾ抵抗素子６〜第２のピエゾ抵抗素子７と電気的に接続された一対の接続電極１６とを形成した後、前記第１のピエゾ抵抗素子６〜第２のピエゾ抵抗素子７をトリミングして長方形の第１のピエゾ抵抗素子６〜第２のピエゾ抵抗素子７を形成する工程を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は破壊やクラックの発生を抑制した分離可能な素子の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】枠形状の固定部３２と、この固定部３２に連結した十字形状のアーム３４と、このアーム３４の中心部に連結した４つの錘部３６とを有し、係止部５４を介して係止された検出素子３０を形成する素子形成工程を備え、レーザを係止部５４に照射することによって、係止部５４の材質を検出素子３０の材質よりも脆弱な材質に改質させて、係止部５４に改質部５６を形成する改質部形成工程と、改質部５６に応力を加えて改質部５６を検出素子３０から分離させ、検出素子３０の係止を解除する構成である。 （もっと読む）