【課題】線形性および応答範囲を改善するために、２つのステータ歯のセットを備える二方向性平面外静電櫛駆動装置を提供する。
【解決手段】電気的に独立した、ステータ櫛歯の第１のセット（１３２）は、ステータ櫛歯の第２セット（１３６）からずれている。ローター櫛歯（１２４）のセットが、ステータ櫛歯の両方のセットに挟み込まれる。ステータ櫛歯の第１セットに付与される第１電圧は、ローター櫛歯をステータ櫛歯の第１セットに方に向けて引くように作用する。ステータ櫛歯の第２セットに付与される第２電圧は、ローター櫛歯をステータ櫛歯の第２セットの方に向けて引くように作用する。これにより、二方向動作が可能になる。機械的および電気的に独立であり、ローター櫛歯にはさみこまれるステータ歯の第１セットおよび第２セットの製造を可能にする製造方法が開示される。 （もっと読む）

【課題】 強い衝撃を受けても破損しにくい加速度センサを提供する。
【解決手段】 枠部（Ｓ）と、前記枠部の内側に一端が結合している板ばね形の可撓部（Ｆ）と、前記可撓部の他端が結合している錘部（Ｍ）と、前記可撓部の歪みを検出する第一歪み検出手段（Ｐ１〜Ｐ４）と、前記枠部および前記可撓部および前記錘部のいずれかに設けられ前記錘部が予め設計された所定範囲より大きく変位することを抑制するダンパであって、前記錘部の運動方向に撓む板ばね形のダンパ（４０，４１）と、を備える。 （もっと読む）

面外（または、垂直）サスペンション方式を使用するMEMS質量-バネ-ダンパシステム（MEMSジャイロスコープおよび加速度計を含む）であって、サスペンションがプルーフマスに対して垂直であるMEMS質量-バネ-ダンパシステムが開示される。そのような面外サスペンション方式は、そのようなMEMS質量-バネ-ダンパシステムが慣性グレード性能を達成するのを助ける。MEMS質量-バネ-ダンパシステム（MEMSジャイロスコープおよび加速度計を含む）において面外サスペンションを製造する方法も開示される。

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【課題】可動錘部の質量を効率的に増大させることができ、多層配線を使用するＣＭＯＳプロセスを用いて、自在かつ容易に製造することが可能なＭＥＭＳセンサー（例えば静電容量型加速度センサー）を提供すること。
【解決手段】連結部１３０Ａを介して支持部１１０に連結され、周囲に第１，第２空隙部１１１，１１２が形成されてＺ方向に移動する可動錘部１２０Ａを有するＭＥＭＳセンサー１００Ａは、可動錘部１２０Ａが、複数の導電層と、複数の導電層間に配置された層間絶縁層と、層間絶縁層に貫通形成された埋め込み溝パターンに充填され、層間絶縁膜よりも比重が大きいプラグと、を含む積層構造体を有する。プラグは、層間絶縁層と平行な二次元平面の少なくとも一軸方向に沿って壁状に形成された壁部を含む。複数の導電層の一つが可動電極面を有する可動電極部１４０Ａとなり、これと対向する固定電極部１５０Ａが設けられる。 （もっと読む）

【課題】２枚の基板が一体化されたものに外力が加わっても、接合界面における密着力の低下を抑制することができる構造を備えた半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】センサ部１０とキャップ部２０との積層体に、センサ部１０とキャップ部２０との界面４０を貫く凹部４１を設け、この凹部４１内に封止部材として絶縁膜４２および封止用外周金属層４３を設ける。これによると、凹部４１に配置された封止部材４２、４３が盾となるので、凹部４１よりも内側の界面４０に外力が直接伝わらない。したがって、センサ部１０とキャップ部２０との密着力の低下が抑制される。 （もっと読む）

【課題】キャップ部の剛性確保とキャップ部に設けられた貫通電極の平面サイズを小さくすることとを両立する。
【解決手段】各凹部２１ａ、２１ｂの各底部２１ｃ、２１ｄの一部に溝部３０を設け、この溝部３０に配線部２４を設ける。また、溝部３０の底面３１よりも小さいサイズの貫通孔３２内に、配線部２４に接触すると共に電気的に接続された貫通電極２５を設ける。これによると、キャップ部２０に溝部３０が設けられたことにより、キャップ部２０において貫通孔３２が形成される部位の厚みが小さくなるので、貫通孔３２の平面サイズを小さくすることができる。また、溝部３０によりキャップ部２０のうち貫通孔３２が形成される部位のみを薄くしているので、キャップ部２０のうち貫通孔３２が形成されない部分の厚みを維持でき、ひいてはキャップ部２０の剛性を確保できる。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れた加速度センサーを得ること。
【解決手段】固定電極４１と可動電極２１との間の距離が変化するＸ軸方向の加速度印加時において、固定電極４１と可動電極２１との間隙７０に存在する気体の流れは、対向面に形成された一方向に向かって延びる凸部４３によって一方向への流れが発生する。この気体の流れによるスクイーズフィルムダンピングにより、大きな減衰定数ｃを得ることができる。したがって、可動部２０と支持体１０との間隔を狭くすることなく、固定電極４１と可動電極２１との間隙７０の構造によって減衰定数ｃの調節を可能にでき、可動部２０と支持体１０との衝突破壊が低減した耐衝撃性の優れた加速度センサー１００を得ることができる。 （もっと読む）

トランスデューサ２０は、垂直な集積構造を形成するために相互に接続されたセンサ２８、３０を備えている。センサ２８は、基板３６の表面３４に可動に接続され、離間配置された試験質量３２を備える。センサ３０は、基板５６の表面６０に可動に接続され、離間配置された試験質量５８を備える。基板３６、５６は、基板５６の表面６０が基板３６の表面３４に向き合った状態で接続される。したがって、試験質量５８が試験質量３２に対面する。センサ２８、３０は別に組み立てられ、異なるマイクロ機械技術を利用して形成されてよい。センサ２８、３０は続いて、トランスデューサ２０を形成するためのウェハー接合技術を利用して接続される。トランスデューサ２０の実施形態は、１つ、２つ、または３つの直交軸に沿っての感知を含んでよく、異なる加速度感知範囲における移動を検知するように適合されてよい。
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【課題】３軸方向の加速度を検出することが可能でかつ容易に製造可能であるとともに小型化、低コスト化および周波数応答性の向上が可能な加速度センサを提供する。
【解決手段】 加速度センサ３００は、複数のセンサ素子２０１，２０２，２０３，２０４により構成されるセンサ素子群２００を含む。センサ素子２０１，２０２，２０３，２０４は共通の基板１０１上に異なる向きに形成される。センサ素子２０１，２０２，２０３，２０４はピエゾ抵抗素子を有するカンチレバーＣＬ１，ＣＬ２，ＣＬ３，ＣＬ４を含む。カンチレバーＣＬ１，ＣＬ２，ＣＬ３，ＣＬ４は基板１０１の一面から斜め上方に湾曲する。基板１０１は基台１１０上に取り付けられる。基板１０１上に空間が確保されるように基台１１０にケーシング１２０が取り付けられる。 （もっと読む）

本願発明は加速度センサに関する。当該加速度センサはハウジング（５８）と第１の振動質量体（５０）とを有しており、当該第１の振動質量体は第１の非対称揺動台として構成されており、少なくとも１つの第１のばね（５４）を介して前記ハウジング（５８）内に配置されており、第２の振動質量体（５２）を有しており、当該第２の振動質量体は第２の非対称揺動台として構成されており、少なくとも１つの第２のばね（５４）を介して前記ハウジング（５８）内に配置されており、センサおよび評価装置（６６ａ、６６ｂ、６８ａ、６８ｂ）を有しており、当該センサおよび評価装置は、前記ハウジング（５８）に関する前記第１の振動質量体（５０）および前記第２の振動質量体（５２）の対応する回転運動に関する情報を求め、当該求められた情報を考慮して前記加速度センサの加速（６９）に関する加速度情報を定める。さらに、本願発明は、加速度センサの作動方法に関する。揺動台は、加速が存在する場合に対抗する回転運動を導き出す。信号の差分評価によって、測定信号を、場合によって生じるノイズ信号から解放することができる。
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【課題】質量部の変位感度比率を均一化することにより、Ｚ軸方向の加速度が加わってもＸＹ軸方向の加速度検出精度が悪くなってしまうことのない多軸加速度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】ＸＹＺ座標系におけるＸＹ平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部１２を複数の梁部１４を介して周囲の支持部１３に支持する可動基板１１と、この可動基板１１における支持部１３と接合され、かつ可動基板１１における質量部１２と所定間隔を有する固定電極１６を上面に設けた固定基板１５とを備え、前記複数の梁部１４を、支持部１３からＸ軸あるいはＹ軸と平行方向に延びた第１の梁部１７と、質量部１２に連結され、かつＸＹ軸と４５°方向に斜めに延びた第２の梁部１８とにより構成し、前記第２の梁部１８の長手方向と垂直な断面２次モーメントを第１の梁部１７の長手方向と垂直な断面２次モーメントより小さくしたものである。 （もっと読む）

【課題】新たな原理の加速度センサ素子を提供する。
【解決手段】加速度センサ素子３は、固定部９と、一端部が固定部９に連結された梁部７と、梁部７の他端部に連結され、梁部７の延びる方向に見て、重心Ｇが梁部７に対して偏心している重り部５とを有する。また、加速度センサ素子３は、梁部７に設けられ、梁部７の捩り変形に伴って比抵抗が変化するピエゾ抵抗部１１を有する。 （もっと読む）

【課題】経時変化が少ない高信頼性の半導体力学量検出センサを提供する。
【解決手段】力学量の印加により変位する可動電極を静電力によって初期変位させることで、印加される力学量の大きさや方向を検出している。そのため、従来の圧縮応力膜によって初期変位を与える方法に比べ、経時変化が少ない高信頼性の半導体力学量検出センサを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】多くの製造時間を要することなく２方向間の検出感度を同じにする。
【解決手段】加速度センサは、矩形形状の可動電極４，５と、可動電極４，５の対向する２辺の略中央に接続して可動電極４，５を揺動自在に支持する一対のビーム部６ａ，６ｂ及びビーム部７ａ，７ｂと、一対のビーム部６ａ，６ｂ及びビーム部７ａ，７ｂを結ぶ直線を境界線とした可動電極４，５の表面のそれぞれ一方側及び他方側に対し所定間隔をあけて対向配置された固定電極と、一対のビーム部６ａ，６ｂ及びビーム部７ａ，７ｂを結ぶ直線を境界線とした可動電極４，５の裏面のそれぞれ一方側及び他方側に形成された凹部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ）及び凹部１２（１４）を備える。このよな構成によれば、可動電極４，５の厚みを厚くすることなくｘ方向及びｚ方向の加速度の検出感度を同じにすることができる。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図りつつ感度向上を図ることができるマイクロフォンの提供。
【解決手段】マイクロフォンは、ベース基板３１に形成された空所３１１上に架け渡されている第１の梁２３と、弾性部材２３ｂを介して第１の梁２３により弾性支持され、空所３１１内にてベース基板面に対して垂直に配置されている振動板２１と、ベース基板３１の空所３１１上に架け渡されている第２の梁２４と、第２の梁２４により支持され、空所３１１内にて振動板２１に隙間を介して対向配置されている固定電極２２とを、ベース基板３１に複数配置した。そのため、振動板２１および固定電極２２の面積を従来よりも大きくすることが可能となり、マイクロフォンの小型化を図りつつ、感度向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】多くの製造時間を要することなく２方向間の検出感度を同じにする。
【解決手段】加速度センサは、矩形形状の可動電極４，５と、可動電極４，５の対向する２辺の略中央に接続して可動電極４，５を揺動自在に支持する一対のビーム部６ａ，６ｂ及びビーム部７ａ，７ｂと、一対のビーム部６ａ，６ｂ及びビーム部７ａ，７ｂを結ぶ直線を境界線とした可動電極４，５の表面のそれぞれ一方側及び他方側に対し所定間隔をあけて対向配置された固定電極と、一対のビーム部６ａ，６ｂ及びビーム部７ａ，７ｂを結ぶ直線を境界線とした可動電極４，５の裏面のそれぞれ一方側及び他方側に形成された凹部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ）及び凹部１２（１４）と、凹部１２（１４）内に埋め込まれた金属材料１７を備える。 （もっと読む）

【課題】 質量部を支持する弾性変形部を、正規の変形方向へ曲がりやすく、正規の変形方向以外の方向へ変形しにくい構造にして、質量部を安定して駆動できる角速度センサを提供する。
【解決手段】 検出回動部２６の内部に第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを介して駆動質量部２９ａがＸ方向へ移動自在に支持されており、第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに設けられた圧電素子によって駆動質量部２９ａがＸ方向へ振動させられる。角速度センサ１が、垂直軸Ｚ回りの角速度を持つと、駆動質量部２９ａにＹ方向のコリオリ力が作用し、検出回動部２６が動作して角速度が検出される。第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄはＹ方向に平行に延びる梁３３，３４を有しているため、Ｙ方向の力で変形しにくい。よって、駆動質量部２９ａがＸ方向へ安定して支持される。 （もっと読む）

【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結する連結部４２が形成されているマイクロ可動基板Ｓ１と、支持基材Ｓ２と、マイクロ可動基板Ｓ１のフレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する複数のスペーサ９０Ａ，９０Ｂと、フレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合するスペーサ部９１Ｃ，９２ならびに当該スペーサ部を覆ってフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する接着剤部９３を有する少なくとも一つの強固定部９０Ｃとを備える。強固定部９０Ｃは、二つのスペーサ９０Ａ，９０Ｂの間に位置する。 （もっと読む）

【課題】高周波の過大加速度に対して、可動電極が固定電極と接触する機会を格段に減少させる加速度センサを提供する。
【解決手段】加速度センサは、基板２００と、慣性質量体１０６と、可動電極１０５と、リンク梁１０７とを有している。慣性質量体１０６は、基板２００の表面に対して面内に変位可能なように基板２００に支持されている。可動電極１０５は、基板２００と対向するように配置され、基板２００の表面に対して面外に変位可能なように基板に支持されている。リンク梁１０７は、慣性質量体１０６の面内変位を可動電極１０５の面外変位に変換するように慣性質量体１０６と可動電極１０５とを連結している。 （もっと読む）

【課題】組み立て時の応力に対して特性が安定した加速度センサを提供する。
【解決手段】加速度センサは、可動電極１３と、第一、第二の固定電極１１、１２と、基板２０と、固定電極支持部位２５とを有している。第一、第二の固定電極１１、１２は可動電極１３と対向するように配置されている。基板２０は第一、第二の固定電極１１、１２を支持するためのものである。固定電極支持部位２５は基板２０に第一、第二の固定電極１１、１２を支持し、第一、第二の固定電極１１、１２に接する面積が第一、第二の固定電極１１、１２の面積より小さい。 （もっと読む）