【課題】電子銃の電極の交換に要する時間を短縮するために有利な技術を提供する。
【解決手段】電子銃から放射される電子ビームによって基板にパターンを描画する電子ビーム描画装置は、前記電子銃を構成する電極の予備としての予備電極を調整するための調整チャンバーと、前記電子銃から使用済みの電極を取り外して、前記調整チャンバーの中で調整された予備電極を前記電子銃に組み込む駆動機構と、を備え、前記予備電極の調整は、前記予備電極に電力を供給することを含む。 （もっと読む）

【課題】装置の動作時においてダウンタイムを短縮できる荷電粒子銃および荷電粒子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子銃である電子銃１０は、荷電粒子源である電子源を備えて電子ビームを放出するカソード１３を複数備えて回転自在に配設された回転体バレル１２と、加熱機構２１とを有する。バレル１２はチャンバ１１内に収容されており、かつ動力部１４に接続された回転軸１５と、支持部１６によって支持される。そして、上部に設けられた加熱機構２１からの放射により加熱が可能とされる。電子ビーム描画装置は電子銃１０を用いて構成され、加熱機構２１によるバレル１２の加熱によってバレル１２の素早い加熱が可能とされ、カソード１３の素早い安定化が可能とされている。 （もっと読む）

【課題】所望のパターン寸法とパターン精度を実現することが可能な電子銃および荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子源であるカソードと、前記カソードからの荷電粒子ビーム放出方向に順次、前記カソード以下の電位が印加されたウェネルトと、前記カソードより高い電位が印加されたアノードとを配置し、前記荷電粒子ビームを、前記ウェネルトの具備する開口部分を通過させて収束し、クロスオーバを形成するよう構成された電子銃について、前記ウェネルトと前記クロスオーバとの間の距離ｂを、前記カソードと前記ウェネルトとの間の距離であるギャップａにより除して算出される倍率Ｍ（＝ｂ／ａ）が１以下であり、かつ前記ギャップａが０．９ｍｍ以上となるように構成し、荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法で使用する。 （もっと読む）

【課題】フィラメント支持部材間に架け渡すフィラメントの交換作業を経済的に行え、フィラメント支持部材の強度も大きくできる電子線源用フィラメント構造体を提供する。
【解決手段】フィラメント支持部材３２間に、フィラメント３３を架け渡すフィラメント構造体３０は、絶縁基板３１に所定の間隔を保って固定する二つのフィラメント支持部材３２に、グラッシーカーボンを用いている。各フィラメント支持部材３２の先端部に、断面がＵ字状の接合チップ３４を着脱自在に取り付けている。この接合チップ３４を用いて、フィラメント支持部材３２間にフィラメント３３を着脱自在に接続している。 （もっと読む）

【課題】フィラメントの交換に要するフィラメントとグリッドとの位置調整時間を短縮し、殺菌用の電子線照射装置の運転中断を短くできる電子線照射装置用電子線源を提供する。
【解決手段】下枠板２３と上枠板２４を用い、これらに所定間隔で複数のフィラメント本体３０の保持空間部２６を形成している。下枠板２３と上枠板２４は、各保持空間部２６内にそれぞれフィラメント本体３０の絶縁基板３１部分を配置した状態で連結ボルト２５によって結合している。下枠板２３には、照射穴２８ａを設けたグリット２８を着脱可能に固定し、フィラメント本体３０とグリッド２８を線源ブロック２０として一体に構成している。下枠板２３に螺着する複数個の位置調整ねじ３３を設け、これらを保持空間部２６内の絶縁基板３１の下面に設けた位置決め穴３４にそれぞれ係合させ、フィラメント本体３０とグリット２８間の寸法調節を可能にしている。 （もっと読む）

【目的】電子銃及び高圧電源回路の異常を検知することが可能な装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の描画装置１００は、電子ビーム２００を放出する電子銃２０１と、電子銃２０１に電子の加速電圧を印加する高圧電源回路１１０と、高圧電源回路１１０内に配置され、電子銃２０１のエミッタ抵抗の変動を検知するエミッタ抵抗変動検知回路５４と、高圧電源回路１１０内に配置され、検知されたエミッタ抵抗の変動を記録する記録回路８０と、電子銃２０１から放出される電子ビーム２００を試料の所望する位置に照射する電子光学系と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電流導入端子などの電気供給部品を交換対象から除外することができ、これにより電気機能体（例えばフィラメントからなる）の交換作業の負担を大幅に軽減できる電気機能体の交換機構と交換方法を提供する。
【解決手段】本体容器５の内部空間５ａに配置され電気が供給されることで機能する電気機能体３を交換するための電気機能体の交換機構であって、本体容器５には、本体容器外部から内部空間５ａへ電気機能体３を通す挿入孔５ｂが形成されるとともに、本体容器５は、挿入孔５ｂを開閉する開閉手段７と、電気を供給するための電気供給端子１１を有し、電気機能体３は、電気供給端子１１に着脱可能に接続され電気供給端子１１から電気を受ける接続端子３ａを有し、挿入孔５ｂから内部空間５ａへ電気機能体３を挿入することで、接続端子３ａを電気供給端子１１に接続できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 電子銃室を高真空に維持したまま、簡単な機構で粉塵等発生させることなく簡単にフィラメント交換等を行う。
【解決手段】
フィラメントＦと、一方の端面にフィラメントＦが取り付けられた絶縁柱体２３と、内部に前記絶縁柱体２３に取り付けられたフィラメントＦを導入するための第１の導入穴と該フィラメントから発生した電子ビームを外部に取り出す導出穴Ｈとを有する電子銃室２１と、該電子銃室に前記第１の導入穴を介して連通する交換室２２であって、前記絶縁柱体２３を外部から導入し前記第１の導入穴を介して前記電子銃室２１内へ到達させるための第２の導入穴とを有する交換室２２と、該交換室内部を真空排気及びリークする手段と、前記第１の導入穴を遮断する弁体２７と、前記絶縁柱体２３を前記フィラメントＦが電子銃室２１内に配置される状態から前記交換室２２に配置される状態に移動させる手段とを備えた事を特徴とする電子ビーム発生装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の光軸を有する電子光学系で高スループットにパターン形成或いは試料の評価を行う装置では、電子銃を高輝度にすることが困難であった。
【解決手段】パターン形成あるいは試料の評価を行う装置に用いられる電子銃に於いて、カソード、第１アノード、第２アノード、ウエーネルト電極を有し、ウエーネルト電極及び第１アノード電極を円錐台形状とし、光軸からウエーネルトの角度をθｗ、光軸から第１アノードまでの角度をθa とした時、
４０．１°＜θa＜９０°あるいは４８．６°＜θｗ＜１４９°
とすることにより図１２に示した様にLangmuir限界を超える輝度を得た。 （もっと読む）

【課題】 ＣＮＴカソードでの放電やＣＮＴ飛散による電子放出特性の劣化が少なく、長寿命で信頼性の高い電子線発生装置を提供する。
【解決手段】 放電や劣化の原因である引出し電極のない２極型構造とし、ウェネルトとカソード、アノード間の相対位置を変えることにより電子ビームの電流値およびビーム径を制御することができる。 （もっと読む）

【目的】本発明は、複数のカソードを備えた荷電粒子銃を収容するチャンバー内に存在するパーティクルを除去することができるパーティクル除去装置、パーティクル除去用補助具およびパーティクル除去方法を提供する。
【構成】本発明は、複数のカソードを備えたタレット電子銃を収容するチャンバー１０１の開口部１０７ａに、吸気部１０９を有するアダプタ１０８を取り付け、チャンバー１０１の開口部１０７ｂには、排気部を有し、この排気部１１１に真空掃除機１１５を接続したアダプタ１１０を取り付け、チャンバー１０１内に吸気部１０９から排気部１１１に流れる気流１１２を形成することで、チャンバー１０１内に存在するパーティクルを除去する。これによりチャンバー１０１内において、パーティクルの存在に起因する放電を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】電子ビームシステムにおいて好適に使用される回転可能な構造を有する電子銃を提供する。
【解決手段】この構造２００は、第１回転軸の周りで概ね円形の断面を有すると共に、その両端部に第１係合端部及び第１外端部を含む第１部分４００と、第２回転軸の周りで概ね円形の断面を有すると共に、その両端部に第２係合端部及び第２外端部を含む第２部分４０２と、を具備する。第１及び第２外端部の夫々は環状突部３０２、３０４を含む。第１及び第２係合端部は、実質的に同じ内径と実質的に同じ外径とを有すると共に、夫々に沿って等間隔に間隔をおいて形成された凹部４１８、４２０を含む。第１及び第２回転軸が位置合わせされ且つ第１及び第２係合端部の対応する凹部４１８、４２０が位置合わせされるように、第１及び第２係合端部が接合された状態において、位置合わせされた凹部が電子ソースを受け入れるように夫々が構成された開口３００を形成する。 （もっと読む）

【課題】オンオフ動作による繰り返しの熱応力でカソードパイプと円筒形状ヒータとの接続部で破壊を生じず、安定に電子供給が可能となり、かつ、歩留まりが向上するホローカソードを得ること。
【解決手段】オリフィス２に接触した中空陰極５を内含するカソードパイプ４の周囲に、円筒形状ヒータ６を配置するとともに円筒形状ヒータ６を断熱シールド８で囲んで、絶縁体で被覆された円筒形状ヒータ６の発熱部３１とカソードパイプ４を非接合で固定する。 （もっと読む）

【課題】２つの熱イオン電子源を用いて耐用年数を向上させ、またこれらの熱イオン電子源を迅速かつ効率的に交換することが可能な、低価格で小型高性能の電子銃を提供する。
【解決手段】電子銃１０は、主熱イオン電子源４４、副熱イオン電子源５８及び集束電極６２を備える第１のハウジング１２と、アノード及び集束コイル８６Ａ、８６Ｂを備える第２のハウジング１４と、偏向コイル１０４Ａ、１０４Ｂを備え、第２のハウジング１４に接続し、かつ第１のハウジング１２の反対側に位置する第３のハウジング１６と、を備えるアセンブリからなる。電子銃１０は、耐用年数を向上させるために２つの熱イオン電子源４４、５８を用いる。電子銃１０の寸法は、この電子銃１０の出力定格を制限することなく２つの熱イオン電子源４４、５８を容易に交換できるように小型になっている。これにより、長寿命、低価格、かつ汎用性の高い電子銃１０が得られる。 （もっと読む）

【課題】不連続的放出パターンを有する荷電粒子エミッタによる荷電粒子装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置及び方法。装置は、少なくとも２つの放出ピークを含む放出パターンを有するエミッタ（１０２）と、ガンレンズ（１１９、５１９、９１９）と、ダイヤフラム（１２０）とを含み、ガンレンズは、デフレクタ・ユニット（１１０）を含み、デフレクタ・ユニットは、少なくとも２つの放出ピークのうちの放出ピークをダイヤフラムの開口部に向け、それによって少なくとも２つの放出パターンから放出ピークのうちの放出ピークを選択するようになっている。 （もっと読む）

【課題】電子カラムをモーショニングさせ、試料の動きを最小化することによって、従来の装置に比べ、装置を小型化することを目的とし、さらに、電子カラムを多重化し、モーショニングを可能にして使用することにより、短時間に多くの電子ビームで多くの単位表面積をスキャンして時間的にも有利な装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームを放出する電子カラムと前記電子ビームが照射される試料間に相対運動を与えるモーショニング装置を提供する。このモーショニング装置は、試料に電子ビームを放出するマルチマイクロカラム；前記マイクロカラムを支持する支持部；および前記支持部を動かして前記マイクロカラムを移動させる駆動手段；前記試料を低真空または高真空に維持するための真空室；を含む。 （もっと読む）

【課題】フィラメント交換に要する手間を省き、交換時間を短縮する
【解決手段】試料分析室１の所定位置に配置されるフィラメント４ａと、保存室２に配置される、前記フィラメント４ａと交換するための予備フィラメント４ｂとが、保持板３の表裏に保持されている。そして駆動手段によって、保持板３が、該保持板３の中心を通る軸周りに、面法線方向に回転することにより、フィラメント４ａと予備フィラメント４ｂとが自動交換される。 （もっと読む）

電子銃(1)は、エミッタ(2)、管状の支持体(3)、および、エミッタを収容するためのアダプタ(4)を含んでいる。アダプタは、先細り状の差込み表面(7)を含んでおり、また、管状の支持体は、差込み表面の収容のために、対応して先細り状とされた着座面(9)を含んでいる。差込み表面と着座面は、支持体により同心的にアダプタの位置を決めるのを支援する円錐形の側面形状を有している。 （もっと読む）