【課題】真空容器内でベーキングが必要な高真空領域に配置できる電磁レンズを提供すること。
【解決手段】電磁レンズは円筒状の焼結セラミックスまたはガラス等の絶縁体からなるボビンを使用したコイルからなり、そのコイルは複数のボビンからなり、ボビンは同心円状の構造であり、導電線をボビンの軸に対して垂直な溝，平行な溝，切り欠き部を使用しコイル内を一本の金属線で配線する構造にする。 （もっと読む）

【課題】引出電極との電位差によって電子線を放出させる電子源を備えた電子銃において、引出電極と絶縁碍子の接合部に生じる電界集中に起因して発生する微小放電を抑制し、絶縁耐力を向上する。
【解決手段】絶縁碍子４の固定ねじの通し穴の面と、絶縁碍子４の引出電極３と金属リング１６が接触する面に、導電性の金属被膜を形成するメタライズ部１３を施すことによって、固定ねじ５の周囲を均一な等電位の領域を形成し、微小放電の原因となる異物や、固定ねじのねじ山の先端部に強電界がかからない構造とした。 （もっと読む）

【課題】 絶縁耐性が高く、かつ劣化しにくい碍子を提供する。
【解決手段】 碍子（２）は、一対の電極（４ａ，４ｂ）と該一対の電極（４ａ，４ｂ）間に設けられた基体（５）とを有する。基体（５）は、表面における一部の領域（５ａ）が半導電性であり、その他の領域（５ｂ）が絶縁性である結晶体からなる。上述の半導電性である一部の領域（５ａ）は、一対の電極（４ａ，４ｂ）に電気的に接続されている。また、基体（５）は、一部の領域（５ａ）の表面抵抗値が１０^６〜１０^１１Ω／□であり、その他の領域（５ｂ）の表面抵抗値が１０^１２Ω／□以上である。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生の機能が低下しない、簡単な構造でなる電子源を提供する。
【解決手段】プラズマ生成室１の内壁９とコレクター電極３との間に設けられた内部構造材４により、プラズマ生成室１の内壁９に導電性の物質が堆積することを防ぐことができる。従って、高周波アンテナ２からの高周波電界が遮蔽されないので、この高周波電界により容量結合型の初期プラズマを発生させることができる。また内部構造材４に導電性の物質が堆積して高周波電界が遮蔽された場合でも、堆積物は内部構造材４のコレクター電極３側に堆積するので、内部構造材４からプラズマ生成室１内への高周波電界は遮蔽されるが、内壁９から内部構造材４への高周波電界は遮蔽されない。内部構造材４と内壁９との間には距離ｄが設けられているので、内部構造材４と内壁９との間の領域で、高周波電界により容量結合型の初期プラズマを発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子加速装置においては加速電極の間に数十ｋＶの電圧が印加される。このような場合、加速電極間で放電が発生することがある。
【解決手段】加速電極の一部または全部を、金属と比較して融点が高いセラミックスまたは合金よりなる放電抑制層で被覆した荷電粒子加速装置にある。セラミックスまたは合金の放電抑制層により、不純物の微粒子が電界により加速され、電極に衝突した際にも電極から金属蒸気が発生しにくく、電離プラズマとなりにくいため、電極間の放電を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】電子源あるいはイオン源において、ろう材を使用せず、引き出し電極と絶縁碍子との接合位置精度を向上させた部品を作製し、放出される荷電粒子のアライメントエラーを小さくし、更に、ろう材を使用しないことからコスト面で有利な荷電粒子装置用部品を提供する。
【解決手段】金属製部品と絶縁性部品からなる複数の部品から構成される荷電粒子装置用部品において、金属製部品と絶縁性部品を結合する筒状の嵌合部を有し、該勘合部の外筒が金属であり内筒が絶縁物であって、室温における該外筒の内寸が該内筒の外寸より僅かに小さく、該嵌合部が外筒と内筒を焼き嵌めにより結合されたことを特徴とする前記の荷電粒子装置用部品。 （もっと読む）

【課題】真空中における絶縁構造体の沿面での絶縁耐力を向上させた真空機器を提供するとことを目的とする。
【解決手段】 絶縁体を介して電位差のある複数の導体が配置された構造を有する５×１０^−２Ｐａ以下の圧力下で使用される絶縁構造体において、少なくとも前記絶縁体の最表面の一部が、米国材料試験協会（ＡＳＴＭ：Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｆｏｒ Ｔｅｓｔｉｎｇ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）の規格Ｄ５７０に規定された２３℃吸水率が０．３％以下のエポキシ樹脂組成物であり、このエポキシ樹脂組成物は、少なくとも主剤と反応性希釈剤と触媒型硬化剤とから構成される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で且つ電圧分布を滑らかにすることができる加速管を備えた電子源又はイオン源を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によると、加速管は半導電性材料を有する。従って、高速管は、チップからアノード電極を経由して放出される電子線の電流の電流値と同一の電流が流れるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】
電子線発生装置の絶縁体は真空中に設置されており、電子が表面に当たることにより帯電し、高電界を発生する。また、不純物の微粒子が絶縁体表面にあった場合には静電力により微粒子が移動する。これらが原因となり放電が発生し、電子線の加速電圧が不安定になる。
【解決手段】
陰極と陽極の間に電圧を印加することにより、陰極から電子線を発生する電子線発生装置であって、真空中に配置する絶縁体がセラミクスよりなる基材と基材の表面に形成された低抵抗膜よりなり、低抵抗膜の電気体積低効率が基材の百分の一以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子放射陰極を安定に把持し、微小ビームを長期間安定に取り出すことが可能な電子源構造体及び電子源構造体駆動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る電子源構造体は、少なくとも、ダイヤモンドからなる電子放射陰極と、前記電子放射陰極を把持する一対の導電性支柱と、前記導電性支柱を貫通して前記電子放射陰極を把持する応力を発生させるための金属ネジ及びナットと、前記金属ネジおよびナットが貫通し、前記金属ネジおよびナットと前記導電性支柱との間の電気的絶縁を保つための絶縁碍子と、前記導電性支柱を固定するための一対の電極端子と、前記端子を具備する絶縁体と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】 誘電フィンを有する絶縁導体を備える、イオン注入装置用ターミナル構造を開示する。特定の一実施形態例によると、当該イオン注入装置用ターミナル構造は、１以上の誘電フィンを有する絶縁導体を用いて実現され得る。例えば、当該イオン注入装置は、イオンビームを供給するイオン源を備えるとしてよい。当該イオン注入装置はさらに、空間を画定しているターミナル構造を備えるとしてよく、イオン源は、少なくとも一部分が前記空間の内部に配設されているとしてよい。当該イオン注入装置はさらに、電界を変更するべく前記ターミナル構造の外側部分に近接して配設されている少なくとも１つの誘電フィンを有する絶縁導体を備えるとしてよい。 （もっと読む）

【課題】
高電圧接続部の絶縁不良を抑制し、信頼性の高い電子銃を提供する。
【解決手段】
接続ブッシング１１の絶縁性樹脂２５の外側に密着して、導体シールド２７を設けることによって、電界集中を緩和することができる。この導体シールド２７により、受電部金属部２３と接続ブッシング１１との電位差を等しくすることができる。さらに、この導体シールド２７を受電部接合部２６より受電側フランジ端子２２側、すなわち受電部碍子部２４に対向する位置まで伸ばすことにより、受電部接合部２６の電界集中を著しく緩和することができる。
【効果】
高電圧接続部の空間への電界集中を防ぎ、放電を抑制することができるため、沿面を広げたり、フッ素を主成分とする絶縁性液体や絶縁性ガスを充填しない場合でも、絶縁耐力を保持することができる。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って安定して動作するパルス電子ビーム発生装置およびこの装置を用いたパルス電子ビーム成膜装置を得る。
【解決手段】パルス状の電子ビームを発生するためのパルス電子ビーム発生部（８a）と、絶縁材料で構成された中空のチューブであって、パルス電子ビーム発生部（８a）に連結され、発生させた電子ビームをターゲット表面に案内するためのガイドチューブ（８ｂ）とを備えるパルス電子ビーム発生装置（８）において、ガイドチューブ（８ｂ）の側面に、その長手方向と交差する方向に高さを有する絶縁材料のフィン（８ｃ）を、ガイドチューブ側面をほぼ一周するように設ける。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子源および引出電極と筐体との間で放電が発生しにくい荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子１５を放出するための荷電粒子源３と、筐体１の外部から荷電粒子源３に通電するために、筐体１の外部から内部にかけて配置された荷電粒子源端子１４ａ、１４ｂと、荷電粒子源３から荷電粒子１５を引出すための引出電極４と、筐体１の外部から引出電極４に通電するために、筐体１の外部から内部にかけて配置された引出電極端子１４ｃと、荷電粒子源端子１４ａ、１４ｂと引出電極端子１４ｃを筐体１から絶縁する端子絶縁体１２と、引出電極４を支持し、引出電極４を筐体１から絶縁する引出電極絶縁体１３とを有し、端子絶縁体１２と引出電極絶縁体１３の少なくとも一方は、１０^６Ωｍ以上１０^１０Ωｍ以下の抵抗率を有する。 （もっと読む）

一体型遮蔽電極を有する電気接続機構を含むイオン加速装置とその方法が開示される。実施形態によれば、イオン注入システムのイオン加速装置は、第１素子と、第１コネクタと前記第１コネクタのまわりの第１カプセル化遮蔽電極とを有する前記第１素子内の第１接続系統と、前記第１のコネクタに連結している前記第１素子以外の第２素子内の第２接続系統とを備え、前記第１カプセル化遮蔽電極は、前記第１素子の第１インターフェース面に隣接した第１遮蔽部を含み、断面において、前記第２接続系統は前記第１素子と接しており、前記第１遮蔽部がほぼＵ形状である。
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【課題】高電圧接続部の絶縁不良を抑制し、信頼性の高い環境保全を考慮した荷電ビーム銃を提供する。
【解決手段】真空容器３に内置される接続ブッシング５−１１１と受電側フランジ５−１１２の間に形成される間隙部５−１１３に、絶縁性液体５−１１３ａを存在せしめ、接続ブッシング５−１１１には、間隙部５−１１３と大気とを連通する第一の配管と弁、及び間隙部と大気とを連通する第二の配管と弁を有して大気と封じ切る構成とする。 （もっと読む）

【課題】 加熱されたフィラメントからの輻射熱や電子衝突が生じても、台座からの放出ガスに起因するフィラメントの消耗や劣化を防止することができ、これによりフィラメントの寿命が不要に短縮されることのないフィラメントアセンブリを提供すること。
【解決手段】 本発明におけるフィラメントアセンブリ１１は、台座１２と、台座１２に取り付けられたフィラメント支持部１３と、フィラメント支持部１３に支持されたフィラメント１５とを備え、フィラメント１５が配置される側の台座表面１２ａに、台座１２からのガス放出防止用の被膜１７が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 反射電子による絶縁碍子のチャージアップを防ぎ、チャージアップが引き起こす微小放電を無くすることができる電子銃を提供する。
【解決手段】 カソード４に負の電圧をかけると、カソード４から飛び出した電子８が接地電位にあるアノード７との間の電圧によって加速され、アパーチャ６に衝突した電子８によって反射電子９が発生する。発生した反射電子９は、接地電位とされている低原子量部材１０に衝突し、さらに反射電子を発生させる。反射電子係数は、衝突する物体の原子量が小さいほど小さいので、低原子量部材１０との衝突を繰り返すことにより、急激に反射電子の数が減少し、結局、絶縁碍子２に到達する反射電子は極端に少なくなる。よって、絶縁碍子２が反射電子によりチャージアップするのが避けられ、微小放電の発生が防止される。これにより、従来問題となっていた、微小放電に起因する電子線の乱れを無くすることができる。 （もっと読む）

【課題】セラミック部材に強固にネジ止めしてもセラミック部材を破損させることがなく、セラミック部材にネジにより強固に固定できる絶縁支柱を提供すること。
【解決手段】 絶縁支柱は、両端面にメタライズ層が形成されたセラミックスから成る絶縁柱１と、絶縁柱１の両端面にロウ付けされた、平板状でロウ付け面と反対側の他端面に突出させて形成されたネジ受け部３ａを有する金属接合部材３と、両主面間を貫通し、ネジ受け部３ａが嵌挿されるネジ挿通用の貫通孔２ａが形成されるとともに、一主面が金属接合部材３の他端面に当接されるようにネジ４を介して金属接合部材３に固定された電極部材２を具備する。 （もっと読む）

【課題】 小型で且つ耐高電圧特性に優れた電子銃を提供する。
【解決手段】 高電圧絶縁碍子４の大気側にウェネルト２と同電位にしたメタライズ電極１６を設ける。 （もっと読む）