【課題】高輝度でエネルギー幅が狭く、安定した電子線を得ることが出来る荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 電界放射電子源、それに電界を印加する電極と、電界放射電子源のまわりの圧力を１×１０^−８Ｐａ以下に維持する真空排気部とを備え、放射させた電子線のうち、電子線中央の放射角１×１０^−２ｓｔｒ以内の電子線を用い、電子線の電流の時間に関する二階微分が負または０で、かつ電流の減少度合いが１時間当たり１０％以内となる電流を用いる構成を有する。さらに、電界放射電子源の加熱部と、電子線の電流の検出部とを備え、電界放射電子源を繰り返し加熱することで、放射される電子線の電流を所定の値以上に維持する。 （もっと読む）

【課題】検査物の急速放電のためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームシステム１００の変調器９００が、インダクタ４００に供給する変調信号を生成するように構成され、インダクタ４００が、この変調信号を受け取って、荷電粒子ビームシステム１００のための供給電圧信号をインダクタンスにより変調する。供給電圧信号の変調により、荷電粒子ビームシステム１００により生成された荷電粒子ビームの焦点距離を変更する。 （もっと読む）

【課題】ｎＡレベルのきわめて小さい電流値の電子線を利用して反射電子像回析パターンを生成することができる反射高速電子回析装置を提供する。
【解決手段】反射高速電子回析装置１０は、真空チャンバーの内部に着脱可能に設置された蒸着源１４ａ〜１４ｃと、試料１１に形成された薄膜に向かって電子線２８を発射する電子銃１５と、薄膜の表面において反射した反射電子から生成される反射電子像回析パターンを映し出す蛍光スクリーン１８と、反射電子を電流増幅するマイクロチャンネルプレート１７ａ，１７ｂとを有する。反射高速電子回析装置１０では、ｎＡのレベルのエミッション電流値の電子線２８を電子銃１５から薄膜に向かって発射する。 （もっと読む）

【課題】
電流加熱する電子銃を数十個以上のマルチコラムに適用するには、発熱総エネルギーが大きく、電子銃チャンバーの高真空度が維持できない。また電子銃電源の寸法が大きい。さらに伝送ケーブルを伝わる振動が大きいため高精度の露光ができない。従来提案された光で加熱する方法では電子銃陰極の表面積が大きく、熱伝導が大きい保持機構のため、加熱の総エネルギーは大きく、光の軸合わせが容易でなかった。
【解決手段】
半導体レーザーなどの光を、サファイヤなどでできた光導波路の末端部から入射し、先端部に設置したレニウムなどの光で加熱される保持具を介してＬａＢ６などの電子銃陰極を加熱して、熱電子または熱電界放射電子を真空に放射する電子銃を形成する。本電子銃をマルチコラム電子ビーム露光装置に用いると、低エネルギー化と高真空度化、高圧電源回路の小型化・低電力化ができ、露光パターンの高精度化ができる。 （もっと読む）

【課題】フィラメント電流値を自動的に調整することが可能な電子ビーム加工装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを照射する照射手段（5,1）と、照射手段（5,1）から照射された電子ビームのビーム電流を検出し、該検出したビーム電流実測値とビーム電流指令値との差分に応じたバイアス電圧値を取得する取得手段（3）と、照射手段（5,1）が電子ビームを照射する際に使用するフィラメント電流値を調整する調整手段（4）と、を有し、調整手段（4）は、取得手段（3）が取得した複数のバイアス電圧値を基に、バイアス電圧値の変化率を算出し、該算出したバイアス電圧値の変化率が所定の目標値に収束するように、フィラメント電流値を調整する。 （もっと読む）

【目的】電子銃及び高圧電源回路の異常を検知することが可能な装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の描画装置１００は、電子ビーム２００を放出する電子銃２０１と、電子銃２０１に電子の加速電圧を印加する高圧電源回路１１０と、高圧電源回路１１０内に配置され、電子銃２０１のエミッタ抵抗の変動を検知するエミッタ抵抗変動検知回路５４と、高圧電源回路１１０内に配置され、検知されたエミッタ抵抗の変動を記録する記録回路８０と、電子銃２０１から放出される電子ビーム２００を試料の所望する位置に照射する電子光学系と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ビーム条件が変化するごとにエネルギー幅や分解能等を測定することなく、これらのパラメータを容易に把握することが可能な電子顕微鏡の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、電子銃と、当該電子銃から放出される電子の条件を調整する調整素子と、当該調整素子条件を設定する設定装置を備えた電子顕微鏡において、前記設定装置によって設定される調整素子条件に対する前記電子銃から放出される電子のエネルギー幅、或いは分解能に関する情報、或いは前記調整素子条件と前記エネルギー幅、或いは分解能との関連式を記憶する記憶媒体と、前記設定装置による前記調整素子条件の設定に基づいて、前記記憶された、或いは前記関連式に基づいて演算されるエネルギー幅、或いは分解能に関する情報を表示する表示装置を備えたことを特徴とする電子顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】電子銃のカソードの抵抗値が変動しても、カソードに供給される電力の変動を抑制することが可能な電子ビーム描画装置、その電子ビーム描画装置の電子銃のカソード加熱用の電力制御装置及び電力制御方法を提供する。
【解決手段】電源１１から出力された電力が絶縁トランス１２により二次側に伝送され、カソード１に供給される。カソード１に供給される電流値及び電圧値が計測され、計測された電流値及び電圧値がＡＤ変換部１６によりＡＤ変換される。ＡＤ変換された電流値及び電圧値に基づいて、抵抗値算出部１９によりカソード１の抵抗値が算出される。算出された最新の抵抗値とそれよりも前に算出された少なくとも１以上の抵抗値に基づいて、次に算出される抵抗値が最小推定誤差フィルタ２０により推定される。推定された抵抗値に基づいて、制御部２１により電源１１の電流設定値が変更される。 （もっと読む）

【課題】フィラメント電力供給用絶縁トランスを小型化するとともに、低ノイズで高効率の動作を実現した荷電粒子発生装置を提供する。
【解決手段】加速電圧発生回路Ｃと、加速電圧が印加されるフィラメント１０と、複数の抵抗２６ａ〜２６ｄからなる加速電圧分圧器と、前記フィラメントに接地電位から電力を供給するパワー伝送回路とを備え、前記パワー伝送回路は、加速電圧を均等に分担するように多段縦続接続された複数の絶縁トランス１５、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄを有し、その各段間に、接地電位側絶縁トランスの二次巻き線からの交流電圧を直流電圧に変換する交流直流変換回路２７、２８，２９と、該交流直流変換回路からの直流電圧を交流電圧に変換して次段の絶縁トランスの一次側巻き線へ供給する直流交流変換回路Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４を配置する。 （もっと読む）

【課題】所望の電流密度を得るために最適なフィラメント電力を求めることが可能な荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法を提供する。
【解決手段】本発明の荷電粒子ビーム発生装置は、フィラメント電力によりカソード11を加熱することにより放出される電子を、バイアス電圧により集束し、加速電圧により加速することにより所定のエミッション電流の荷電粒子ビーム２０を照射する荷電粒子銃１０と、電流密度を測定するための検出器２２と、フィラメント電力およびエミッション電流を制御するための制御部１８と、バイアス飽和点における電流密度とエミッション電流との関係とフィラメント電力とエミッション電流との関係を記憶し、設定電流密度よりエミッション電流値とフィラメント電力値を算出するための記憶演算部１９を備える。 （もっと読む）

【課題】電子ビームの安定性とともに、カソードの長寿命化を図ることが可能な電子ビーム発生装置、電子ビーム描画装置および電子ビーム描画方法を提供する。
【解決手段】本発明の電子ビーム発生装置は、加熱により電子を放射するカソード１１と、このカソード１１を加熱するための直流フィラメント供給電源１３と、カソードとの間にバイアス電圧が印加されるウェネルト１６と、カソード１１との間に加速電圧が印加され、カソード１１から放射された電子を集束して電子ビームを形成するアノード１９と、直流フィラメント供給電源１３とカソード１１の間に配置され、直流フィラメント供給電源１３の極性を変更する機構１４を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子放射陰極を安定に把持し、微小ビームを長期間安定に取り出すことが可能な電子源構造体及び電子源構造体駆動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る電子源構造体は、少なくとも、ダイヤモンドからなる電子放射陰極と、前記電子放射陰極を把持する一対の導電性支柱と、前記導電性支柱を貫通して前記電子放射陰極を把持する応力を発生させるための金属ネジ及びナットと、前記金属ネジおよびナットが貫通し、前記金属ネジおよびナットと前記導電性支柱との間の電気的絶縁を保つための絶縁碍子と、前記導電性支柱を固定するための一対の電極端子と、前記端子を具備する絶縁体と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント寿命を縮めることなくフィラメント電流値の最適値を決定できる方法を提供する。
【解決手段】 エミッションパターン画像に対し、複数の濃度値を閾値としてパターン部と背景部とに識別した複数の２値化画像を作製する。次に、得られた各２値化画像のパターン部に対し、同じ画素方向における中間点群と、該中間点群から求めた近似直線との分散を求め、各２値化画像における分散の平均値を算出して、このフィラメント電流値におけるエミッションパターンの評価値とする。この評価値が事前に設定された閾値と比較し、閾値以下となるまで所定の変化幅だけフィラメント電流値を増加させて、順次フィラメント電流値の最適化を行う。 （もっと読む）

【課題】幅広い運転条件のもとで使用可能で、かつフィラメント交換にかかるコストを大幅に低減することが可能な熱電子発生装置を提供する。また、フィラメントの寿命を大幅に延長することができる熱電子発生装置及びフィラメント寿命延長方法を提供する。
【解決手段】電子線照射装置（熱電子発生装置）として、真空容器と、真空容器内に設置されるフィラメント４ａと、フィラメント４ａに電力を供給する電源装置４ｃと、フィラメント４ａの電気抵抗を検出する抵抗検出器と、抵抗検出器の出力に基づいてフィラメントの寿命を予測する演算装置１６とを設ける。演算装置１６を、予め求められたフィラメント４ａの電気抵抗とフィラメント４ａの残り寿命との関係、及び抵抗検出器の出力に基づいて、フィラメント４ａの寿命を予測する構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、直流負荷の温度ドリフトによる抵抗値変動を補償し、短時間で出力が安定する電子顕微鏡に用いられる直流安定化電源を提供することにある。
【解決手段】上記目的は、一例として直流安定化電源の出力部抵抗器と、同等の温度係数を持つ温度検出抵抗を設け、当該温度検出抵抗器で発生する温度ドリフトによって、前記出力部抵抗器で発生する温度ドリフトを相殺するように構成した直流安定化電源の提供により達成される。 （もっと読む）

【課題】立ち上げ時に大きなエミッション電流が流れることのない電子銃を提供する。
【解決手段】まず、カソードに供給する熱量を一定に制御する。この熱量は、この熱量を与え続けて平衡状態になったときに、カソードの温度がカソードがエミッションを始める温度よりも僅かに低い温度となるように、予め測定して決定されている。カソードの周辺の温度が平衡状態に達したとき、制御装置は、今までにフィラメントに流していた電流より多い電流をフィラメントに流し、カソードを加熱する。そして、エミッション電流が流れ始めた時点で、エミッション電流が一定になるように、フィラメントに流す電流を操作するフィードバック制御を開始する。これにより、カソード１に供給される熱量はやや増加し、エミッション電流は目標値から少しオーバシュートして目標値に収斂するが、そのオーバシュート量は、従来の制御方式による場合に比して大幅に小さくなる。 （もっと読む）

【課題】 フィラメントから放出される熱電子量を、安定して高精度に制御する。
【解決手段】 フィラメント制御装置１０は、フィラメント５の抵抗値を測定する抵抗測定手段１と、第１期間中の抵抗平均値Ｒａｖｅを演算する抵抗平均値演算器２と、抵抗平均値Ｒａｖｅと電力目標値Ｗｒｅｆとから、フィラメント５に供給すべき電流目標値Ｉｒｅｆを演算する電流目標値演算器３と、第１期間の後の第２期間中において、電流目標値Ｉｒｅｆと一致するように、フィラメント５に流れる電流値を制御する定電流電源４と、第１期間および第２期間のタイミングを制御するタイミング制御回路６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】真空中での溶解、溶接、加工、および蒸着等に用いられる電子源において、電子銃のビームパワーを急速に変化させる。
【解決手段】フィラメントカソード１とブロックカソード２との間に第1の電圧を印加し、ブロックカソード２とアノード３との間に第２の電圧を印加する。第1の閉ループ調整システム８，７を使用してフィラメントカソード１を定電流値に調整することによって、ブロックカソード２の最大ビームパワーに十分なフィラメント温度にする。瞬時ブロック電力値と公称ブロック電力値との間の差に反応するブロック電力調整器１３等を含む第2の閉ループ調整システム１７、１３、１２が、フィラメントカソード１とブロックカソード２との間の電圧を調整する。 （もっと読む）

【課題】 ウエネルト電極における放電を抑制してＬａＢ₆ 等のエミッタを長期にわたり安定に使用することができ、エミッタの長寿命化及び動作の安定化をはかる。
【解決手段】 荷電粒子を放出するエミッタ１１と、このエミッタ１１を加熱するための加熱電源１５と、エミッタ１１との間に加速電圧が印加され、エミッタ１１から放出された荷電粒子を外部に引き出すための陽極１３と、エミッタ１１からの荷電粒子の放出量が一定となるように、エミッタ１１との間にバイアス電圧が印加されるウエネルト電極１２と、を備えた荷電粒子発生装置において、バイアス電圧の時間的変化率が所望の範囲内となるように、加熱電源を制御してエミッタ１１の設定温度を調整する。 （もっと読む）

【課題】 放電電流制御抵抗にエミッション電流が流れることで電圧降下が生じた場合であっても、電子銃に印加する加速電圧を一定に保持すること。
【解決手段】 電子銃に印加する加速電圧を制御する電子銃制御において、加速電圧源が出力する加速電圧により生成されるエミッション電流を放電電流制限抵抗により電流制限するとともに、放電電流制限抵抗による電圧降下分を補正して、電子銃に印加する加速電圧をエミッション電流の変化に因らず一定に保持する。電子銃制御装置１は、エミッション電流を電流制限するために加速電圧源２に接続される放電電流制限抵抗３と、放電電流制限抵抗による電圧降下分を補正する電圧補正回路１０を備える。電圧補正回路１０は、電子銃（フィラメント７）に印加する加速電圧をエミッション電流の変化に因らず一定に保持する。 （もっと読む）