【課題】低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】ビーム軌道を輪帯状に制限し、電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作る。その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には、軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。また、磁界の場合は、回転方向に角度等分割した面に径方向に分布巻きしたコイルを形成すれば、磁束密度の集中を制御することができる。 （もっと読む）

【目的】本発明は、粒子線ビームを偏向あるいは集束・発散する静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法および静電多極子型の偏向器・レンズに関し、作成が容易で失敗がなく熟練を要しなく、製造費用が極めて安く、治具と多電極子の精度により高精度を得ることを目的とする。
【構成】静電多極子を構成する各電極子について、軸方向の位置および軸方向と直角方向である半径方向の位置を所望の位置に固定する治具と、静電多極子を構成する各電極子を固定すると共に固定した各電極子に電圧を印加するためのパターンを設けたプリント基板とを備え、静電多極子を構成する各電極子を治具に固定して静電多極子の軸方向および半径方向の位置を所望の位置に保持した状態で、各電極子をプリント基板のパターンに固定した後、治具を解放して静電多極子をプリント基板上に形成する。 （もっと読む）

【課題】静電電極を用いたリフォーカスレンズによるリフォーカス時間を短縮するとともにリフォーカス精度を向上させることのできる電子ビーム露光装置を提供すること。
【解決手段】電子ビーム露光装置は、電子銃と、電子ビームを整形するための開口を有する整形手段と、電子ビームの焦点を補正する静電多重極電極からなるリフォーカスレンズと、リフォーカスレンズの各電極に印加する補正用の電圧を生成するフォーカス補正電圧発生回路と、補正用の電圧に加算するオフセット電圧を生成するオフセット電圧発生回路と、フォーカス補正電圧発生回路及びオフセット電圧発生回路をそれぞれ独立に制御する制御手段と、を備える。制御手段は、オフセット電圧発生回路を、電子ビーム露光装置の筐体を基準として動作させ、フォーカス補正電圧発生回路を、オフセット電圧発生回路により出力されるオフセット電圧を基準として動作させるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】リフォーカス用の静電レンズの電極の配置誤差に起因する収差及び照射位置ずれを補正可能な電子ビーム露光装置を提供すること。
【解決手段】電子ビーム露光装置は、電子ビームを放射する電子銃と、電子ビームを試料面上へ結像させる投影レンズと、投影レンズの上方に設置され、電子ビームの焦点を補正する静電多重極電極からなるリフォーカスレンズと、リフォーカスレンズの各電極に対して光軸の回りに回転させて配置した静電多重極電極からなる寄生収差補正用レンズと、電子ビームの断面の面積に応じた電圧を、リフォーカスレンズを構成する電極及び寄生収差補正用レンズを構成する静電多重極電極に印加する制御手段とを備える。寄生収差補正用レンズを構成する多重極電極は、リフォーカスレンズを構成する電極に対し、隣接する２つの当該電極間の角度の１／２だけ光軸の周りに回転させた位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】
回転対称系における従来の収差補正システムの問題を解決し、低コストでかつ小型の荷電粒子ビーム用軌道補正器の製作方法を提供する。
【解決手段】
荷電粒子ビーム源から発生する荷電粒子ビームの通路に設置される荷電粒子ビーム用軌道補正器において、導電体であって前記荷電粒子ビームを電流で制御する複数の電極と、複数の絶縁体とが、拡散接合により互い違いに接合され、内部が電子線通路として構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明に係る多重極レンズは、作製および制御が簡単であり、電子カラムの焦点ボケを低減し、有効偏向領域を増加させる。
【解決手段】 本発明は、多重極レンズを用いた電子カラムに用いられる電子レンズに関し、電子レンズは２つ以上の電極層を含み、電極層はそれぞれ電子ビームが通過する中心光学軸を基準としてスリットを備え、スリットが交差方向に位置するように前記２つの電極層が光学軸上で整列されることを特徴とする多重極電子レンズである。 （もっと読む）

【課題】大きな収差係数を有する軸対称レンズの球面収差を打ち消す球面収差補正レンズ系および球面収差ゼロの軸対称プローブ形成レンズを提供する。
【解決手段】荷電粒子光学レンズ系は、４段の四極子レンズと、３つの開口電極から構成される。八極子レンズ作用を誘起する開口電極は、1段目と2段の間、２段目と３段目の間および３段目と４段目の間に配置する。四極子レンズの励起制御は、XZ面で凹凸凹凸レンズ作用、YZ面で凸凹凸凹レンズ作用を発現するように作動させ、YZ面の荷電粒子軌道が２段目と３段目の四極子レンズの間で一度光軸に交差し、かつ、荷電粒子レンズ系が軸対称レンズ条件を満たすように最終段の四極子レンズの後方でXZ面とYZ面の荷電粒子軌道が軸と交差するように個々の四極子レンズレンズの励起強度を調整する。 （もっと読む）

本発明は、荷電粒子ビームを輸送するための装置（１０）に関する。装置は、ターゲット（３）上で荷電粒子を走査するための走査手段（１２）と、走査手段の上流に配置された双極磁石(１５)と、双極磁石と走査手段との間に配置された少なくとも３つの四重極レンズ(１７)と、荷電粒子ビームの走査角度の関数として３つの四重極レンズの磁界の強度を調整する調整手段とを備える。この装置は、少なくとも単一の収色性を有するように製造され得る。
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【課題】
組立て精度がよく部品点数、調整箇所が少ない収差補正器とその応用装置を提供すること。
【解決手段】
複数の極子間をセラミック材を介してロウ付け一体化した極子組を複数個、位置決めブロックを使って光軸の周りに配置して多段多極子を形成する。 （もっと読む）

【課題】 アライメント精度、励起制御を緩和する補正レンズ系を提供する。
【解決手段】 本発明は、同一幾何学寸法を有する６段または８段の四極子レンズと３つの開口電極から構成される補正レンズまたは、６段または８段の十二極子レンズと３段以上の八極子レンズで構成される補正レンズにおいて、補正レンズの中心位置に対して幾何学的に対称な構造を有し、励起制御を極性が反対で、励起強度を等しくすることで、補正レンズ内でXZ面とYZ面でそれぞれ線状収束させると共に、補正レンズの中心位置付近で離軸距離が同程度となるように四極子レンズ励起強度を調整し、これらの位置近傍で開口収差係数を補正する。 （もっと読む）

【課題】非点収差、軸外収差、及び、焦点ずれを同時かつ高速に補正することができる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明の荷電粒子線装置によると、対物レンズと試料の間に、荷電粒子線の軌道上に電場を生成する静電レンズが設けられている。静電レンズは、複数の電極に分割され、各電極には独立に電圧を印加することができる。この電圧を調整することにより、対物レンズの非点収差補正、軸外収差補正、及び、焦点ずれ補正のいずれかを行う。 （もっと読む）

【課題】 像分解能を維持して装置のコンパクト化を図る。
【解決手段】 電子銃１、電子銃からの電子ビームを試料４上に集束させる集束レンズ２、電子ビームで試料４上を走査させる走査用偏向レンズ５、試料上の走査により試料４から発生した二次電子ビームを検出する検出器６、検出器で検出された二次電子ビームに基づいて、試料４に関する像若しくはスペクトルを表示する表示装置１２を備えており、試料４の直上に、４段の静電型４極子２１，２２，２３，２４と４段の静電型８極子２７，２８，２９，３０から成る静電型１２極子を配置させ、４段の静電型４極子２１，２２，２３，２４により電子ビームの試料４上のフォーカス調整を行わせ、４段の静電型８極子２７，２８，２９，３０で収差補正を行わせる。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】ビーム軌道を輪帯状に制限し、電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作る。その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には、軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。また、磁界の場合は、回転方向に角度等分割した面に径方向に分布巻きしたコイルを形成すれば、磁束密度の集中を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】リフォーカス時間を短縮し、スループットの向上を図ることのできる電子ビーム露光装置及び電子ビーム露光方法を提供すること。
【解決手段】電子ビーム露光装置は、電子ビームを放射する電子銃と、電子ビームを整形するための開口を有する整形手段と、電子ビームを試料面上へ結像させる投影レンズと、投影レンズの上方に設置され、電子ビームの焦点を補正する静電多重極レンズからなるリフォーカスレンズと、整形手段により整形された電子ビームの断面の面積に応じた電圧をリフォーカスレンズに印加する制御手段とを備える。リフォーカスレンズは、４重極静電電極を前記電子ビームのビーム軸方向に３段有するようにしても良く、３段の４重極静電電極のうち、１段目と３段目の電極の長さが同じで、２段目の電極の長さが１段目の電極の長さの２倍にしても良い。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線の軸上色収差が補正でき、非点収差や偏向収差も低減できる電子線装置及びこれを用いたパターン評価方法を提供すること。
【解決手段】一次電子線を放出する電子銃と、前記一次電子線の一部が通過する複数の開口を有するマルチ開口板と、前記開口を通過する一次電子線を縮小するコンデンサレンズと、縮小された一次電子線を試料の表面に結像させる対物レンズとを備える一次光学系と、前記試料から放出される二次電子線を偏向する偏向器群と、前記偏向器群で偏向された二次電子線を拡大する拡大レンズと、拡大された二次電子線を検出する二次電子線検出器とを備える二次光学系とを備え、前記一次光学系に、前記対物レンズで生じる軸上色収差に対応した軸上色収差を発生させる非分散ウィーンフィルタからなる軸上色収差補正レンズを備えること。 （もっと読む）

【課題】
収差補正器で使用する多数の電源のノイズの影響を低減し、安定した高分解能観察の可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
電子線を試料１８上に照射し、走査させるＳＥＭカラム１０１と、前記試料を載置する試料ステージ８０が格納される試料室と、前記電子線の走査により発生する２次電子を検出する検出器７３と、前記検出器の出力信号をＳＥＭ画像として表示する表示手段と、前記ＳＥＭカラム、前記試料室、前記表示手段を含む各構成部品を制御するための制御ユニット１０３とを備えた荷電粒子線装置において、前記ＳＥＭカラムは、一対の静電レンズ９１、９２と、前記一対の静電レンズの間に置かれた前記電子線の収差を補正する収差補正器１０とを有し、前記一対の加速電極に高電圧を印加して、前記収差補正器を通過する間の前記電子線を加速せしめる構成とする。 （もっと読む）

【課題】この発明は直線光軸（１）とこの光軸に沿って前後に配置し、それぞれ四重極電場と重ね合わせた球レンズの電場を備える二個の矯正部（８，９）から成る静電矯正器に関する。一方の矯正部の軸線上に生ずる一方の断面の非点中間像に対して、第二の矯正部の非点中間像は前記断面に対して直角をなす断面に生ずる。そこで、この発明の課題は、粒子レンズの色収差を除去することにある。
【解決手段】その解決に当たって、この発明は構造が類似する二個の矯正ユニットの各一個を二個の静電四重極を備える入力側と出力側とに配置する。この矯正ユニットは軸線について１：１の同じ割合で前後に移動されるもので、二個の矯正ユニットは光軸上に前後に配列してあって、しかも互いに光軸を中心として９０°回動してある。 （もっと読む）

【課題】電極と真空用信号ケーブルとの接続が煩雑であり、また、電子光学コラムに長尺のケーブルが多数配置されることとなり、ケーブルの絶縁材に樹脂系の材料等を使用した場合には、その表面からの放出ガスが多いため、高い真空度に到達するまでに時間を要し、到達真空度も低くなる課題があった。
【解決手段】筒状の筒体１と、筒体１の内周面３０に形成された電極２と、筒体１の外周面に所定パターンの溝部３ａを備えるとともに該溝部３ａ内に前記電極２に接続する第１導電パターン３とからなる第１導電パターン３とを有し、内部に電子線２０を通過させる。 （もっと読む）

【課題】電磁界発生素子及び複数のこのような電磁界発生素子を含む多極素子を提供する。
【解決手段】磁極片（１０）と、磁極片（１０）が取り付けられたヨーク（１２）と、少なくとも１つのコイル（２０）と、この少なくとも１つのコイル（２０）を収容する真空気密容器（２１）と、真空気密容器（２１）が磁極片（１０）及びヨーク（１２）から離間するように真空気密容器（２１）を保持するようになったホルダ（４０、２３）とを含む電磁界発生素子（１）。 （もっと読む）

【課題】軸上色収差補正レンズにより発生される軸外収差を良好に補正する。
【解決手段】電子線の照射により試料１０から放出された２次電子は、ビーム分離器７で偏向され、収差補正静電偏向器１１により垂直方向に偏向され、補助レンズ１２の主面に拡大像を形成する。補助レンズ１２から発散した２次電子ビームは、軸上色収差補正レンズ１４〜１７を通り、拡大レンズ１９用の補助レンズ１８の主面に結像する。補助レンズ１２の主面に形成された拡大像は、光軸から離れた位置にも像が形成されるため、補助レンズ１２から発散された２次電子ビームをそのまま軸上色収差補正レンズ１４〜１７に入射すると、大きな軸外収差が生じる。それを解消するために、補助レンズ１２により、開口２４の像が軸上色収差補正レンズ１４〜１７の光軸方向のほぼ中央１８に形成されるようにする。 （もっと読む）