【課題】ＦＩＢ動作用のイオン・モードまたはＳＥＭ動作用の電子モードで動作するユーザが選択可能な構成を有する単一カラム誘導結合プラズマ源を提供すること。
【解決手段】Ｘ線検出器が装着されていれば、エネルギー分散型のＸ線分光分析が可能である。ユーザは、イオン・モードまたはＦＩＢモードで試料を調製するようにＩＣＰを選択的に構成し、次いで電子モードまたはＳＥＭモードを選択するスイッチを実際に動かし、ＥＤＳまたは他のタイプの分析を使用して試料を分析することができる。 （もっと読む）

【課題】相対位置が固定された二段のコンデンサレンズから収束レンズが構成される場合に、各コンデンサレンズと対物レンズのそれぞれの中心に電子ビームの光軸が通るように軸合わせを行うことを可能とする。
【解決手段】それぞれ焦点調整が可能な二段の収束レンズ３１、３２と電子銃１との間に入口側ビーム偏向部２を、収束レンズ３１、３２と対物アパーチャ板５との間に出口側ビーム偏向部４を配置する。各ビーム偏向部２、４はそれぞれ軸Ｃ方向に配置された二段の偏向器からなる。収束レンズ３１、３２のレンズ中心が軸Ｃ上にない場合でも、入口側ビーム偏向部２でビームを二段階に偏向させることで両収束レンズ３１、３２のレンズ中心に光軸を合わせることができ、さらに、出口側ビーム偏向部４でビームを二段階に偏向させることで対物レンズ７の中心に光軸を合わせることができる。 （もっと読む）

【課題】 電子線照射により試料から発生するＸ線を検出する分析方法において、試料が電子線照射により損傷を受ける前に測定を自動的に停止させる。
【解決手段】 電子線照射により試料から発生したＸ線、二次電子等をそれぞれＸ線検出器２４、電子検出器２３で検出し経過時間情報、座標位置とともに時系列的に組み合わせた時系列データとして記憶部３４に格納する。測定しながら、測定開始から一定の時間間隔で記憶部３４からＸ線信号を抽出しＸ線スペクトルを再生する。スペクトル全体又は任意に指定したエネルギー範囲のＸ線強度の時間経過に伴う変動をモニタし、異常を検知したら手動又は自動的に測定を中止する。 （もっと読む）

【課題】 超高分解能で且つ非常に短時間での非破壊検査が可能であると共に、ターゲット切替機能、高精度の電子プローブ制御機能、ＣＴ機能、元素分析機能などの優れた機能を搭載したＸ線顕微検査装置を提供する。
【解決手段】 電子銃の電子発生部の近傍に磁界発生部が配置された磁界重畳レンズと、異なる波長のＸ線を発生する複数のＸ線発生用ターゲットとを具備し、検査目的に応じて前記Ｘ線発生用ターゲットを切替えて当該波長の特性Ｘ線を発生できるように構成する。更に、電子プローブ制御機能、電子線軸合わせ機能、ＣＴ機能、元素分析機能などの機能を搭載する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線分析装置を備える電子顕微鏡において専門的な知識や能力がなくても試料の観察および分析において精度の高い結果を得ることができるようにする。
【解決手段】 ＳＥＭハードウェア１と、Ｘ線検出器およびエネルギー分散型Ｘ線分析装置で構成されるＥＤＸハードウェア２とを制御するコンピュータ３に、ＳＥＭ制御データ８,７１の通信を高速化し、ＥＤＸ側の測定結果をフィードバックしてＳＥＭ側の条件をリアルタイムに制御するデータ共有オブジェクト７を追加して、ＳＥＭアプリケーション５を介さずに、ＳＥＭ制御データ８,７１を直接ＥＤＸアプリケーション６へ送信する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 試料に照射されるときの電子ビームの開き角をより正確に制御することができる電子ビーム制御方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 動作曲線は、総合レンズ倍率Ｍおよび開き角αの相関関係を規定する曲線である。したがって、このような動作曲線に基づいて各レンズの励起強度ＮＩ_cl，ＮＩ_irisを操作すれば、従来のように試料に照射されるときのビーム電流値や電子ビームの輝度を直接的に求めなくても、最適な開き角を実現することができる。その結果、試料に照射されるときの電子ビームの開き角をより正確に制御することができる。 （もっと読む）

【課題】 電子励起によるＸ線分析において、所望の分析感度に対する最適な分析条件を簡単かつ精度良く与える。
【解決手段】 装置の加速電圧に対して、Ｘ線分光器感度のデータ、照射電流と電子線径との関係データ、Ｘ線発生領域の広がりＤｘのデータを予めデータベース18に準備する。分析対象元素と所望のＸ線強度を入力装置19から入力すると、指定された特性Ｘ線種に応じてデータベース18から必要なデータが読み込まれ、計算手段17ｃにより所望のＸ線強度に対応する加速電圧と照射電流Ｉｐｘが求められ、計算手段ｄによってＩｐｘに対応する最小電子線径Ｄｐｘが求められ、計算手段17ｅによってＤｐｘとＸ線発生領域の広がりＤｘの加算値（Ｄｐｘ+Ｄｘ）が求められ、決定手段17ｆによって（Ｄｐｘ+Ｄｘ）の最小値を与える加速電圧と照射電流の組み合わせが求められる。これにより、所望の分析感度に対する最適分析条件が精度良く簡易に決定される。 （もっと読む）

【課題】分析対象である特定位置に電子線を長時間照射することによって生じる熱の発生やチャージアップ現象を防止し、それによって試料から発せられた電子線に基づいた表面像を精度よく作成することができる試料分析装置を提供する。
【解決手段】試料の所定領域に、電子線を照射する電子線照射装置と、電子線が照射された試料から発生した第１のエネルギ線を検出し、試料の分析を行う第１の分析部と、電子線が照射された試料から発生した第２のエネルギ線を検出し、試料の分析を行う第２の分析部と、を備えた試料分析装置において、第２の分析部が、第２のエネルギ線を検出するための検出部が前記試料の所定領域内に含まれる特定位置に対して電子線が照射されたときのみ、試料から発生した第２のエネルギ線を検出するようにし、さらに、前記第２の分析部が、その検出値を蓄積し、その蓄積された検出値から前記試料の分析を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】 表面分析方法及び表面分析装置に関し、補正用の荷電粒子に起因する熱的ダメージを緩和させて本来の試料の素性を反映する分析結果を得る。
【解決手段】 絶縁性或いは半導電性の試料１に一次エネルギー粒子２を照射するとともに、一次エネルギー粒子２の照射或いは二次荷電粒子３の発生に伴う試料１の帯電を、帯電の極性と反対の極性の荷電粒子を照射して補正する際に、試料１が所定温度以下になるように補正用の荷電粒子４の量、エネルギー、或いは、収束度の少なくとも一つを制御する。 （もっと読む）

【課題】加速電圧、WD、ラスターローテーションなどの、任意の観察・分析条件下において、高精度な画像ドリフト補正を行う。
【解決手段】ドリフト検出用の基準画像を取得するときに、イメージシフト量の異なる画像も同時に取得して、イメージシフト感度を随時計測する。この基準画像とイメージシフト感度を自動的に登録し、ドリフト補正時にこれら登録条件に従って、ドリフト量検出とイメージシフト制御（ドリフト補正）を行う。 （もっと読む）

【課題】 走査電子顕微鏡本体側と外部分析装置側に同等の回路を備えることなく、簡単な構成により、試料の特定領域の元素分析や元素マッピングを正しい分析位置（電子ビーム一致）で正確に行うことができる分析機能を有した分析走査電子顕微鏡を実現する。
【解決手段】 図８は電子ビームが試料の分析位置に移動中の非直線応答期間には走査ウェイト信号に基づき電子ビームの試料への照射を停止する際の各信号波形を示している。（ｊ）は走査ウェイト信号を示している。この図８から明らかなように、電子ビームが移動する際に生じる非直線応答の時間を適切に設定することで、電子ビームの正しい位置における分析データを得ることができる。 （もっと読む）