Fターム[5C127DD61]の内容
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安定化 (10)
平坦化 (5)
粗面化 (6)
材料膜・塊に内包される放出材料の露出工程 (70)
Fターム[5C127DD61]に分類される特許
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電子放出源、これを適用した電子装置及び電子放出源の製造方法
【課題】 電子放出源、それを適用した電子装置及び電子放出源の製造方法を提供する。
【解決手段】 基板と別途に製造されたカソードを備え、カソードには、接着層によって固定された針状電子放出物質、例えば、カーボンナノチューブ層が設けられる電子放出源である。カーボンナノチューブ層は、懸濁液フィルタリング法を利用して形成され、後続する電子放出物質層の表面処理によって電子放出密度が上昇する。
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カーボンナノチューブの整列を用いた電界放出エミッタ電極の製造方法
【課題】製造工程が簡単で、カーボンナノチューブが高密度、大容量で電磁場の発生方向によって一定の方向に整列された電界放出エミッタ電極の製造方法の開発。
【解決手段】カーボンナノチューブが電磁場の発生方向によって整列される電界放出エミッタ電極の製造方法に係り、カーボンナノチューブ(carbon nanotube;CNT)を溶媒に希釈させた分散液を、電磁場発生装置の上端に固定された基板上に分散させ、電磁場の発生方向に整列されたカーボンナノチューブを固定させる段階を含む、カーボンナノチューブが電磁場の発生方向によって整列された電界放出エミッタ電極の製造方法に関するものである。簡単な工程で高密度、大容量の電磁場の発生方向に整列されたカーボンナノチューブを得ることができるため、電界放出ディスプレイ(field emission display;FED)、センサ、電極、バックライトなどの陽極素子として応用することができる。
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薄膜の製造方法及び電子放出素子の製造方法
【課題】電子放出素子の製造方法において、基板上に、薄膜の形成成分を含む液体を付与し、乾燥して薄膜前駆体とし、この薄膜前駆体を加熱処理して薄膜を形成するに際し、得られる薄膜の周縁部分の形状及び厚さを整えることができる薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】基板1上にインクジェット法により導電性薄膜の形成成分を含む液体を付与する。乾燥処理を行い、導電性薄膜前駆体17’が形成される。この導電性薄膜前駆体に吸湿させ膨潤させることにより整形され導電性薄膜前駆体17となる。この後加熱し有機成分を除去し導電性膜を形成する。
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カーボンナノチューブを用いたフィールドエミッタ
【課題】フィールドエミッタの電子放出電界のしきい値を低下させること。
【解決手段】反応槽100内のマイクロヒータを有するサセプタ110にカーボンナノチューブを形成したシリコン基板を載置し、反応槽100内を100℃の超臨界CO2で満たした。バルブ210により反応槽100と遮断及び接続可能な撹拌槽200にヘキサンに溶解したトリメチル(メチルシクロペンタジエニル)白金を入れ、超臨界CO2に溶解させた。撹拌槽200内の圧力を反応槽100内の圧力より大きくしてからバルブ210を開き、撹拌槽200内部の白金化合物を溶解した超臨界CO2を反応槽100に導入して、所定時間、シリコン基板(Sub)を150℃に加熱して白金を析出させた。このようにして、白金を担持したカーボンナノチューブフィールドエミッタを構成できる。
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電界放射電子源およびその製造方法
【課題】 カーボンナノ材料と陰極部材との接合部の強度を強くし、耐熱温度を高めた電界放射電子源およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 カーボンナノ材料からなる細線部材2を陰極部材1の先端に接合した構造の電界放射電子源の製造方法であって、融点が1500℃以上である高融点金属またはその合金をイオン源とするFIB23を用いて、接合部3に高融点金属のFIBを照射することにより細線部材2を陰極部材1に固着する。
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電界電子放出素子、およびその製造方法
【課題】 低い電圧において大きな放出電流を得る電界電子放出素子および、その作製方法を提供する。
【解決手段】 本発明の電界電子放出素子は、一方がガラス基板1上の触媒膜2上に形成された複数のカーボンナノチューブ3からなり、複数のカーボンナノチューブの他方の端がそれぞれ先鋭に集合しているティップ4を有している。
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