【課題】優れた耐熱性を有する新規な音響素子を提供する。
【解決手段】音響素子１は、振動膜１１と、圧電層１２と、一対の電極１３ａ、１３ｂとを備える。圧電層１２は、振動膜１１の上に配されている。一対の電極１３ａ、１３ｂは、圧電層１２を挟持している。圧電層１２は窒化アルミニウム及び窒化スカンジウム・アルミニウムの少なくとも一方を含む。圧電層１２の一方側を覆うケーシングをさらに備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロフォンなど音を電気信号に変換する装置において、音質を安価な素材を用いて良質なものに改善する。
【解決手段】鳥類の羽の中でも真羽と呼ばれる部位の、空気中の振動に対する高い反応性を利用し、マイクロフォンなどの装置の振動体に、鳥の真羽に加えられた音などの振動を、振動板に伝達できるように真羽を接触させ、それにより良質な音質を得る。 （もっと読む）

【課題】使用条件や環境条件に応じて周波数応答を調整でき、摩擦音や破裂音を含む音声をより明瞭に集音することが可能な咽喉マイクロホンを得る。
【解決手段】声帯振動を受けることによって音声信号に変換するとともに共振周波数が異なる複数の圧電バイモルフ１１，１２を備え、各圧電バイモルフ１１，１２はその出力インピーダンスを変換するインピーダンス変換器３１，４１を有し、一つの圧電バイモルフ１１が有するインピーダンス変換器３１の出力で他の圧電バイモルフ１２を駆動するように接続されて各圧電バイモルフ１１，１２の出力信号が加算されるように構成され、各インピーダンス変換器３１，４１の入力抵抗３４，４４は可変であって各インピーダンス変換器出力の低域の周波数応答が可変である。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子を用いた発振装置において、その音圧レベルの向上を図る。
【解決手段】発振装置１００は、弾性部材２０と、弾性部材２０の一面に拘束されている圧電振動子１０と、弾性部材２０の一面とは反対の他面に拘束されている圧電振動子１２と、弾性部材２０を支持する支持部材３０と、を備えている。弾性部材２０の一面と圧電振動子１０との間、および弾性部材２０の他面と圧電振動子１２との間には、空洞が形成されている。 （もっと読む）

【課題】発振装置を備えた電子機器の音響特性の劣化を抑制する。
【解決手段】電子機器２００は、基板４０と、基板４０上に設けられた複数の発振装置１００と、を備え、発振装置１００は、圧電振動子１０と、一面において圧電振動子１０を拘束する振動部材２０と、振動部材２０を保持する支持枠３０と、を有しており、複数の発振装置１００を構成する各支持枠３０は、互いにゲル層３２を介して接するように基板４０上に設けられている。 （もっと読む）

【課題】クリップで挟んだ加振対象物の極力離れたポイントにて振動音を発生させてもその振動音を集音することを可能とすること。
【解決手段】一方の端部に挟み付け部５が形成されるとともに他方の端部に操作部４が形成されたアーム部材２と、一方の端部に挟み付け部６が形成されるとともに他方の端部下面に操作部３が形成される本体部１とを具備し、アーム部材２側の挟み付け部５と本体部１側の挟み付け部６とが当接するように、ばね１７で付勢されているクリップ型の形状とする。そして、本体部１側の挟み付け部６には平面視円形状の突起部１５を形成し、この突起部１５の表面にピエソ素子８を設けている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、高い音圧レベルを実現することができる発振装置を提供することができる。
【解決手段】発振装置１００は、圧電振動子１０と、圧電振動子１５と、圧電振動子１０を一面において拘束する振動部材２０と、圧電振動子１５を一面において拘束する振動部材２５と、振動部材２０の縁を支持し、かつ振動部材２５の縁を支持する樹脂部材３０と、樹脂部材３０の周囲に位置し、樹脂部材３０を支持する支持部材３５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、高い音圧レベルを実現することができる発振装置を提供する。
【解決手段】圧電振動子１０と、圧電振動子１０の一面を拘束する振動部材２０と、振動部材２０の縁を支持する弾性部材２４と、弾性部材２４の周囲に位置する支持部材３０と、を備え、振動部材２０は、支持部材３０によって拘束されておらず、支持部材３０は、弾性部材２４が位置する側に突出部３２を有しており、弾性部材２４は、突出部３２の一面によって支持されており、振動部材２０の縁は、平面視で突出部３２と重なっている。 （もっと読む）

【課題】ポリフッ化ビニリデンを含んで構成される、延伸に起因する収縮を抑制した圧電体および該圧電体を用いた圧電センサを得ること。
【解決手段】本発明の圧電体は、フッ化ビニリデンのホモポリマーであるポリフッ化ビニリデンに、第四級アンモニウム塩または第四級アンモニウム塩で表面処理されたクレイを添加し、その後無延伸で分極処理することにより得られる。無延伸であるため、延伸に起因する収縮を抑制した圧電体および該圧電体を用いた圧電センサを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】小型化することが容易である圧電マイクロフォンを提供する。
【解決手段】（ａ）厚み方向に分極され、一対の矩形形状の主面を有する圧電セラミック層と、圧電セラミック層の一対の主面にそれぞれ形成され、互いに対向する電極層とを含む矩形形状の振動板２２と、（ｂ）開口と開口に連通する音響空間２４ｃとを有し、開口の近傍部分２４ａに振動板２２の対向する一対の辺又はその近傍部分が固定又は支持され、開口の第１部分が振動板２２で覆われるケーシング部２４と、（ｃ）振動板２２の対向する他の一対の辺又はその近傍部分２２ｓと、ケーシング部の開口の近傍部分２４ｓとにそれぞれ接して、開口のうち第１部分以外の第２部分を覆い、開口を振動板２２とともに封止する、ケーシング部２４及び振動板２２よりも剛性が低い音響封止部材２６ａ，２６ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】音声や振動等圧力変動の周波数が低い人工的に発生するロス・エネルギーを充分に収穫（ハーベスティング）して、効率よく電力変換することが可能な、即ち低周波数領域での圧電特性に優れたピエゾ有機膜とその製造方法を提供する。
【解決手段】ピエゾ効果を発揮するフッ素系有機樹脂の粒子を溶媒に溶解させた原料液を基板３０に塗布して基板３０上に原料液の薄膜１０を形成させる塗布工程と、下部電極７６により、原料液の薄膜１０を酸素が存在しない雰囲気中で加熱して溶媒を蒸発除去させながら、原料液が完全に固化する前に、電圧発生装置７０により、原料液の薄膜と直交する方向に所定の電界を印加して、フッ素系有機樹脂１０の粒子を配向させて、固化させる加熱工程とを有しているピエゾ有機膜の製造方法、およびその製造方法を用いて製造されたピエゾ有機膜。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができるＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサの一例であるシリコンマイク１は、開口５が貫通して形成されたシリコン基板２と、開口５に対向して設けられ、その対向方向に振動可能な振動膜６と、振動膜６に形成された圧電素子９とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】シリコンマイクロホンモジュール、およびＭＥＭＳチップの小型化に伴い、背気室の体積容量が小さくなり、感度およびＳ／Ｎ比の低下が発生する。
【解決手段】基板に形成された第１の空洞部と、第２の空洞部と、第１および第２の空洞部を接続する空隙部を有し、前記第１の空洞部および第２の空洞部の直上にＭＥＭＳ素子が形成される。２つの空洞部が空隙部を介して接続されることにより形成される空間が、ＭＥＭＳ素子の背気室として機能するため、１つの空洞部で形成される従来の背気室と比較して体積を大きくすることができ、ＭＥＭＳ素子の感度とＳ／Ｎ比を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】製品間の特性のばらつきが少なく、感度が良好に確保されるマイクロホン装置並びにその調整装置及び調整方法を提供する。
【解決手段】第１の層と、第２の層と、第３の層と、前記第１の層と前記第２の層との間に挟持された第１の圧電層と、前記第３の層と前記第２の層との間に挟持された第２の圧電層と、を備え、前記第１の圧電層は、音波を受波して表面電荷を生じさせることにより前記音波を検知し、前記第２の圧電層は、前記第３及び第２の層を介して印加される第１の電圧により応力を発生させ、前記第２の圧電層で発生した前記応力が前記第１の圧電層に伝送されることを特徴とするマイクロホン装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ボンディング信頼性の高いワイヤパッドを備える音響電子部品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】音響電子部品は、実装基板１０１と、実装基板上に配置されたウェハチップ１０２と、ウェハチップ上に形成されたワイヤパッド１０４と、ワイヤパッドに接続されたワイヤ１０５とを備える。ワイヤパッドは、ウェハチップ上に形成された圧電膜１３１と、圧電膜上に形成され、ワイヤパッドの表層を形成する導電膜１３２とを備える。ワイヤは、圧電膜の上方において、導電膜に接続されている。圧電膜は、酸素及び窒素の少なくともいずれかを含有し、圧電膜のヤング率は、２００×１０^９［Ｎ／ｍ^２］以上である。 （もっと読む）

【課題】 比誘電率の高い誘電材料を、電場による配向処理を行わずに製造する方法を提供する。また、当該方法を用いて、比誘電率の高い誘電膜を提供する。
【解決手段】 誘電材料の製造方法を、高誘電率無機粒子と磁性体粒子とを複合化して高誘電率複合粒子を製造する高誘電率複合粒子製造工程と、樹脂またはエラストマーの未硬化物に、該高誘電率複合粒子を混合して混合材料を調製する混合工程と、該未硬化物が流動可能な状態で、該混合材料に磁場をかけることにより、該高誘電率複合粒子を磁力線の方向に配向させる配向工程と、該高誘電率複合粒子を配向させた状態で、該未硬化物を硬化させる硬化工程と、を有するように構成する。 （もっと読む）

例示的な音響変換器を提供する。モノリシック半導体層は、プレート、２以上の可撓性伸長部、及び支持構造の少なくとも一部を規定する。プレートに伝達される音圧により、可撓性伸長部に引っ張り歪みが発生する。可撓性伸長部は、引っ張り歪みに応じて変化する電気特性を示す。音圧に対応する電気信号は、変化する電気特性から導出することができ、さらなる目的のために処理される。 （もっと読む）

【課題】歩留まりが低下せず、感度を向上させることが可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】開口１９を囲うものとして構成された脚体部２２によって支えられたベース膜１３Ａと、ベース膜１３Ａの表面に形成された下部電極１６と、下部電極１６上に形成された、段差のない圧電体膜１７と、圧電体膜１７上に形成された上部電極１８と、を有するメンブレン２１を備え、
ベース膜１３Ａと下部電極１６とにより、圧電体膜１７と上部電極１８とを支持するための支持膜が構成されており、
この支持膜には、一端が開口１９に連通し、他端が圧電体膜１７の表面を露呈させる、トレンチ１４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】低周波側の感度保障が可能な信頼性の高い音響電子部品を提供する。
【解決手段】実装基板（１１１）と、前記実装基板上に配置され、音響容量として機能する空洞部及び音響抵抗として機能する溝のいずれか一方又は両方が設けられた部材（１１２）と、前記部材上に配置され、チップの表面に音響素子が設けられ、チップの裏面における前記音響素子の下部に、音響容量として機能する裏面空洞が設けられたウェハチップ（１１３）と、を備えることを特徴とする音響電子部品。 （もっと読む）

圧電型ＭＥＭＳマイクロフォンは、２つの電極層の間に少なくとも１つの圧電層を含む多層センサを備え、センサは、入力圧力、バンド幅、ならびに、圧電材料および電極材料の特性を保障する最適パラメータによって決定されるものとして、センサ面積に対する最大比率に近い出力エネルギを供給するような寸法を有する。センサは、小さな隙間によって互いに分離された、単一のまたは積層された片持ち梁から形成され、または、シリコン基板上への堆積によって形成された応力解放型振動板（stress-relieved diaphragm）であり得、振動板は、基板からの振動板の実質的な分離により応力が解放され、そして、引き続いて、応力が解放された今の振動板の再取り付けが行なわれる。
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