【課題】コンパクトで使い勝手が良く、イニシャルコストもランニングコストも安い真空成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜チャンバ（２）内に、ワークホルダ（１０）と、マグネトロン電極（１５）とを設ける。マグネトロン電極（１５）には、第１のターゲット材料（１６）を設け、これに重ね合わせるように第２のターゲット材料（１７）を設ける。第２のターゲット材料（１７、１７）は第１のターゲット材料（１６）をカバーする位置と、開放する位置の２位置を採ることができるようにする。ワークホルダ（１０）と、第１、２のターゲット材料（１６、１７）との間には、直流電圧と高周波電圧とが選択可能に印加されるようにする。 （もっと読む）

【課題】紫外線硬化性樹脂を利用したナノインプリント工法において、ひとつの原盤から、複数の凹凸パターンを複写する場合に、原盤に紫外線硬化性樹脂が付着すると、とりにくい。
【解決手段】紫外線硬化性樹脂を３００ｎｍ以下の厚みで基板上に塗布し、原盤と貼り合わせを行い、紫外線で照射せずに、原盤との剥離を行う。このあと、紫外線硬化性樹脂を紫外線で固化させることで、パターンを転写するナノインプリント工法。 （もっと読む）

【課題】熱によるスタンパの寸法変化を防止され、製造コストを削減可能なインプリント装置を提供すること。
【解決手段】表面に凹凸パターンを有するスタンパ５６を、基板５２上に供給された紫外線硬化樹脂材料５４の上に配置し、該スタンパ５６の背面を流体を用いて加圧することにより該スタンパ５６を押圧し、紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化樹脂材料５４を硬化させ、前記基板５２の表面に前記凹凸パターンの反転凹凸パターンを形成するインプリント装置１０において、前記基板５２を保持する保持部材１４と、前記保持部材１４と対向する耐圧体１２と、前記紫外線の光源２０と、を有し、前記耐圧体１４はその底部に導光板１６を収容し、該導光板１６は前記保持部材１４と対向して配置されており、前記光源２０から発生した紫外線は、該導光板の側面１６ｂから入射して該導光板１６の前記保持部材１４側から出射し、前記紫外線硬化樹脂材料に照射されることを特徴とするインプリント装置。 （もっと読む）

【課題】芯出しシャフトを利用して原盤データが転写された被転写ディスクを原盤から剥離することができるディスク製造装置を提供する。
【解決手段】ディスク製造装置は、データが記録された情報面を有する原盤１０と、中央に円形の開口を有するＯリング４０ｂと、空気挿通孔が形成されていると共に、空気挿通孔の出口でありＯリング４０ｂを嵌めるためのＯリング嵌入溝が形成された芯出しシャフト４０と、原盤１０の芯出し孔Ｇ１と原盤１０のデータを転写するための被転写ディスク２０の中心孔Ｓとに芯出しシャフト４０を通し、原盤１０と被転写ディスク２０の芯出しおよび剥離の際に芯出しシャフト４０を制御する芯出しシャフト駆動部７０と、原盤１０と被転写ディスク２０とを剥離する際、Ｏリング４０ｂをＯリング嵌入溝より芯出しシャフト４０の表面側に突出させるよう空気挿通孔に圧縮空気を送る圧縮空気制御部８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】面内均一性に極めて優れたＡｇ系薄膜を形成するのに有用なＡｇ系スパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】Ａｇ系スパッタリングターゲットのスパッタリング面の平均結晶粒径ｄ_aveを下記手順（１）〜（３）によって測定したとき、平均結晶粒径ｄ_aveは１０μｍ以下を満足する。（手順１）スパッタリング面の面内に任意に複数箇所を選択し、選択した各箇所の顕微鏡写真（倍率：４０〜２０００倍）を撮影する。（手順２）各顕微鏡写真について、井桁状または放射線状に４本以上の直線を引き、直線上にある結晶粒界の数ｎを調べ、各直線ごとに下式に基づいて結晶粒径ｄを算出する。ｄ＝Ｌ／ｎ／ｍ式中、Ｌは直線の長さ、ｎは直線上の結晶粒界の数、ｍは顕微鏡写真の倍率を示す。（手順３）全選択箇所の結晶粒径ｄの平均値をスパッタリング面の平均結晶粒径ｄ_aveとする。 （もっと読む）

【課題】製造効率が改善された光記録媒体の製造方法及びその製造装置を提供する。
【解決手段】基板上に複数の記録層と、複数の記録層の間に、凹凸形状を有する中間層とを有する光記録媒体の製造方法であって、中間層を形成する工程において、放射線硬化性樹脂原料を放射線透過性スタンパと前記記録層を有する基板との間に塗布し、放射線透過性スタンパと記録層を有する基板とを重ね合わせる第一の工程と、放射線透過性スタンパと記録層を有する基板とを、互いに接近する方向に加圧した状態で捻ることにより、放射線硬化性樹脂原料を延伸する第二の工程と、基板の中心孔近傍のみに放射線を照射し、放射線硬化性樹脂原料を硬化させる第三の工程と、記録層を有する基板及び放射線透過性スタンパの回転を行うと同時に、放射線硬化性樹脂原料を硬化させ、放射線透過性スタンパと記録層を有する基板とを接着する第四の工程とを、少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】紫外線照射に対する充分な耐光性と、紫外線硬化樹脂から剥離するときに物理的な破損を生じない程度の柔軟性とを併せ持つ信号転写基板を用い、同一の信号転写基板で複数回、紫外線硬化樹脂への信号転写が可能な多層情報記録媒体の製造方法と製造装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、基体上に塗布された紫外線硬化樹脂と、転写基板の情報信号面を対向するように貼り合わせる工程と、紫外線硬化樹脂に対して、信号転写基板が設置された紫外線透過テーブル側から紫外線を照射し、硬化させる工程と、紫外線硬化樹脂と前記信号転写基板の界面から剥離する工程と、からなり、信号転写基板が有機無機ハイブリッド材料によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】スタンパによる樹脂層への転写不良や気泡の混入を防止しつつ、樹脂層へ確実に凹凸を転写することができる転写装置および転写方法ならびに光ディスク製造装置および製造方法を提供すること。
【解決手段】減圧ケース１０の内部の減圧雰囲気において、樹脂層ＲとスタンパＳＴとを貼合し、また樹脂層Ｒにディスク基板Ｄ１を貼付することで、気泡の混入を確実に防止できる。さらに、減圧雰囲気において、エネルギー線照射手段７からのエネルギー線を樹脂層Ｒに照射して硬化させることで、大気中の酸素による硬化阻害を防止することができ、樹脂層Ｒに形成した凹凸を確実に定着させることができる。また、振動体３２でスタンパ保持部材３１を振動させつつスタンパＳＴを樹脂層Ｒに押圧して貼合することで、樹脂層ＲをスタンパＳＴの微細な凹凸に追従させてなじませ、凹凸を樹脂層Ｒに確実に転写することができる。 （もっと読む）

【課題】 基板を回転させながら所定の処理を施す基板処理装置において、基板を支持部材に均一に押圧させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 スピンベース３０の周縁部には、立設された支持ピン３１０が複数個設けられている。そして、支持ピン３１０に基板Ｗが略水平状態で支持されている。基板Ｗの表面Ｗｆに遮断部材５０を近接して対向配置された状態で、ガス吐出口５０２から所定の角度で基板Ｗにガスを吐出する。これにより、基板Ｗはその上面側に所定の角度で供給されるガスによって、支持ピン３１０に押圧されて確実にスピンベース３０に保持される。 （もっと読む）

【課題】良好な光学的性能を維持しつつ多層光記録媒体の生産性を向上することを目的とする。
【解決手段】基板１０と、基板１０上に設けられた複数の光記録層１３と、各光記録層１３の間に設けられた中間層１２とを備え、中間層１２は、複屈折性を有し、隣接する中間層１２同士は複屈折主軸の方位が互いに９０°異なるように多層光記録媒体（光ディスク１）を構成する。この多層光記録媒体を製造する際には、例えば、積層方向に隣接する記録層単位２０同士の関係で、塗布済みウェブの長手方向の向きが互いに９０°異なるようにして、複数枚の記録層単位２０を基板１０に積層する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、均一な膜厚でなる円板状の光ディスクを製造する。
【解決手段】本発明は、注型セルＳＬを介してベース金型３１及びカバー金型３２によって形成され、中央に中央孔部ＳＬｈを有する円板状の注入空間ＪＳに対し、注入空間ＪＳにおける内縁部分に接続して形成された注入孔としての注入ノズル受け部３３から液状材料が注入される。注入空間ＪＳの円板の平面方向において注入ノズル受け部３３及び中央孔部ＳＬｈの中心を通る直線上に形成された排出孔としての排出ノズル受け部３４から空気が排出される。さらに注入空間ＪＳに注入された液状材料を硬化させ、スペーサ群及び平板１５が取り除かれることにより、硬化された液状材料である記録層１０１を注入空間ＪＳから取り出すようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、厚い記録層を有してもなお高い光学的平坦性を有する光記録媒体を製造できる光記録媒体の製造装置および製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】製造装置は、基板１１の外表面１１ｆを接触面（底面Ｃ１）に密着させた状態で保持する一対の保持部材２１と、一対の保持部材２１が互いに近付くように保持部材２１に力を加える力付与手段と、各基板１１とスペーサ１３とで形成される空間内に感光液を注入する注入装置を有する。そして、空間内の感光液が硬化して記録層１２となるまで、基板１１と保持部材２１の接触面との密着力と、力付与手段により保持部材２１に加える力とが、維持されるように構成されるとともに、保持部材２１の接触面は、中央部Ｃ１１が基板１１に向けて突出するとともに、記録層１２の周縁部１２ａに対応する部位（環状部Ｃ１２）が基板１１から離れる方向に凹むように、湾曲して形成されている。 （もっと読む）

【課題】従来よりも生産性を改善できる塗布装置及びそれを備えた光ディスク製造装置を提供する。
【解決手段】塗布装置は、中心孔Ｄｈを有する基板Ｄを保持すると共に中心孔Ｄｈに対応する位置に貫通孔１１を有する回転テーブル１０と、回転テーブル１０の貫通孔１１を貫通し基板Ｄの中心孔Ｄｈが係合されて基板Ｄが位置決めされると共に基板Ｄの表面に樹脂Ｒを供給する樹脂供給部２０と、回転テーブル１０及び樹脂供給部２０を保持する保持部３０と、を有する塗布回転ユニット４０を備えている。塗布回転ユニット４０は、貫通孔１１の中心軸Ｃ１を回転軸として回転する。 （もっと読む）

【課題】光ディスク基板及び接着シートの位置決め精度を高めることができるようにすること。
【解決手段】接着シートＳを載置するテーブル１１と、光ディスク基板Ｄ及び接着シートＳの各中心孔Ｄ１、Ｓ１に挿通し、これらが離間した状態で光ディスク基板Ｄを支持する軸部材１７を有する支持手段１２と、テーブル１１に載置された接着シートＳに光ディスク基板Ｄを押圧する押圧手段１４とを備えて光ディスク製造装置１０が構成されている。軸部材１７の外径は拡縮可能に設けられている。押圧手段１４には、軸部材１７の軸中心位置に挿抜可能なピン３５が設けられる。押圧手段１４による押圧前にピン３５を軸部材１７に対して挿入することで軸部材１７を拡径し、光ディスク基板Ｄ及び接着シートＳの相対位置を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】 基板ホルダに用いた部材の交差等によりばらついたとしても、被エッチング基板を均一に加工することができるエッチング装置及び磁気ディスクのエッチング方法を提供することにある。
【解決手段】 略円環状の被エッチング基板の内縁を保持する凸状絶縁体部材と、該被エッチング基板の外縁を保持する絶縁体支持部材と、前記凸状絶縁体部材と前記絶縁体支持部材の下方に設置された導電体部材を有し、前記凸状絶縁体部材と前記絶縁体支持部材で被エッチング基板を保持した際に、前記導電体部材と被エッチング基板との間に隙間が形成されることを特徴とするエッチング加工装置において、
被エッチング基板と、前記導電体部材を電気的に導通することのできる導電体接続部材が、前記凸状絶縁体部材に形成されていることを特徴とするエッチング加工装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で処理空間内のガス圧力（濃度）分布を制御できる真空処理装置及び真空処理方法を提供する。
【解決手段】減圧雰囲気を維持可能であり、減圧雰囲気中で被処理体３に対しての処理が行われる処理空間１０を内部に有する真空槽１と、真空槽１の壁部１ａを貫通して処理空間１０に通じるガス導入路４と、を備えた真空処理装置であって、ガス導入路４から処理空間１０内へのガス吹き出し方向が、ガス導入路４が設けられた部分近傍の真空槽１内壁面に対して平行もしくは傾いている。 （もっと読む）

【課題】安価な光ディスク記録媒体の製造が可能な光ディスク記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】一方のロール１００及び他方のロール１０５に支持された可撓性の転写用フィルムシート１０を準備し、一方のロール１００から、他方のロール１０５に転写用フィルムシート１０を巻きつける過程で、転写用フィルムシート１０表面に、連続的に紫外線硬化樹脂層を形成する。
次に、転写用フィルムシート表面に形成された紫外線硬化樹脂層に、凹凸形状を有するニッケルスタンパを押圧すると同時に、転写用フィルムシート裏面側から紫外線照射する。これにより、紫外線硬化樹脂層が硬化され、紫外線硬化樹脂層上に凹凸形状を、連続的に形成する。そして、光透過率の高い順に記録層を形成していく。 （もっと読む）

【課題】複数のランプを光源に用いながらも、対象面に対してむらなく紫外線を照射することができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】発光回路６は、各キセノンランプ７から放射される紫外線の強度をそれぞれ検出するセンサ８と、実際に対象面に対して紫外線を照射する前に予め光源５を発光させる予備発光時にセンサ８で検出された紫外線の強度に基づいて、複数本のキセノンランプ７において放射される紫外線の強度が一律となるように各コンデンサＣ１に蓄積される電荷量をそれぞれ調整する電荷量調整手段９とを有する。電荷量調整手段９は、予備発光時に検出された紫外線強度が規定値よりも大きいキセノンランプ７に関しては、バイアス回路１０から各コンデンサＣ１の負極側に印加されるバイアス電圧を大きくすることでコンデンサＣ１に蓄積される電荷量を少なくする。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で真空成型室を形成し転写を行うことができる転写装置を提供する。
【解決手段】被成型品Ｗを保持する被成型品保持体５と、型Ｍを保持する型保持体７と、一端部２５が型保持体７に設けられ他端部２９が被成型品保持体５に接触し型保持体７と被成型品保持体５と協働して型Ｍと被成型品Ｗとが内側に入る真空成型室ＣＨを形成する筒状部材９と、真空成型室ＣＨを減圧する減圧手段１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】
ディスク基板の射出成形時にディスク基板の内側に形成される微小突起部による影響を解消して、良好な薄い樹脂層を形成する高密度記録対応の光情報記録媒体の製造方法を提供すること。
【解決手段】
第１のディスク基板を射出成形する工程と、前記第１のディスク基板の信号記録面の内周側に生じた環状の突起部に対応する箇所に環状の凹所を有する第２のディスク基板を射出成形する工程と、前記第１のディスク基板の前記信号記録面又は前記第２のディスク基板の環状の凹所を有する面に樹脂層を形成する工程と、前記第１のディスク基板の前記信号記録面と前記第２のディスク基板の前記凹所とを対向させ、少なくとも前記突起部の頂部分が前記凹所に納まるように位置合わせした状態で、前記第１のディスク基板と前記第２のディスク基板とを重ね合わせる工程とを備えた光情報記録媒体の製造方法。 （もっと読む）