【課題】接着テープ自体に光硬化成分と光遮蔽成分を配合して、光照射によりダイシングテープとの界面のみの密着力を低下させることにより、ピックアップ時にダイシングテープとの剥離を容易にする接着シートを提供する。
【解決手段】あらかじめダイシングテープの半導体ウエハを仮接着する面に一体的に積層して用いられる接着シートにおいて、少なくとも（Ａ）光硬化型粘着成分、（Ｂ）光重合開始剤、（Ｃ）フィラー、（Ｄ）光遮蔽成分を必須の成分として含有する接着シート。 （もっと読む）

【課題】 搬送効率の低下や無駄を省いて多品種少量生産等の生産管理方式に対応できる処理治具用収納ケースを提供する。
【解決手段】 下部構造体１、上部構造体２、及び中部構造体３を取り付け取り外しが可能な分割自在に備え、これらのうち、少なくとも下部構造体１と上部構造体２とを着脱自在に連結してそれらの間に半導体ウェーハを粘着保持する処理治具を整列収納する。下部構造体１を、底板５と、この底板５の両側部にそれぞれ設けられる一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。また、上部構造体２を、天板１４と、この天板１４の両側部にそれぞれ設けられ、下部構造体１の側壁１０に着脱自在に連結される一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。 （もっと読む）

【課題】搬送中にマスクブランクス表面に塵埃が付着することを確実に防止可能なマスクブランクスの搬送方法を提供すること。
【解決手段】マスクブランクス１の搬送に用いるブランクス収納ケース１０では、マスクブランクス１に接する中箱３０、および蓋４０に形成されているブランクス支持部をはじめ、ブランクス収納ケース１０全体が導電性樹脂から構成されている。このため、マスクブランクス１の搬送中にこれらの部材が擦れても静電気が溜まらない。それ故、搬送中、マスクブランクス１をブランクス保持溝３２から取り出す際、あるいは蓋４０を外す際、静電気に起因する放電が起こらないので、中箱３０のブランクス保持溝３２、および蓋４０のブランクス支持部４１から塵埃が発生せず、塵埃がマスクブランクス１に付着することを確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】弾性保持片の汚染や変形を抑制し、基板を安定した状態で抑えることのできるリテーナ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】リテーナ１を、長方形を呈した略枠形のベース体２と、このベース体２に設けられて半導体ウェーハの上部周縁を保持する複数の弾性保持片１０と、ベース体２に設けられる一対の脱着用の操作体２０と、他のリテーナ１との接触を制限する複数の接触制限体３０とから形成する。そして、このリテーナ１を複数枚の半導体ウェーハを整列収納する基板収納容器の蓋体内面に着脱自在に装着する。 （もっと読む）

【課題】塵埃の付着や静電破壊を防止でき、製作が簡単で強度が大きく、有機ガスによるフォトマスク板等の板状品のヘーズ上昇も生じず、使用上の不便や不都合も解消できる収容ケースを提供する。
【解決手段】四周外縁に金属製の補強枠２を設けた合成樹脂製の上側ケース１ａと下側ケース１ｂとからなり、その内部に塵埃を嫌う板状品を収容する収容ケースであって、合成樹脂製の上側ケース１ａと下側ケース１ｂがいずれも、透光性の合成樹脂基層の両面又はいずれか片面に極細導電繊維を分散させた透光性の制電層を積層一体化したものである収容ケースとする。制電層で塵埃付着や静電破壊を防止し、極細導電繊維を制電層に分散させることで真空又は圧空成形等の二次加工により制電性能を損なうことなく上側ケースと下側ケースを簡単かつ効率良く製作できるようにすると共に、補強枠２で十分な実用強度を付与する。 （もっと読む）

【課題】 例え蓋体の押圧力や容器本体の固定力を小さくしても、容器本体の変形、基板の位置ずれや傾斜、基板の汚染のおそれ等を抑制でき、しかも、容器本体を蓋体で有効に閉鎖できる基板収納容器の蓋体開閉方法を提供する。
【解決手段】 蓋体開閉装置により容器本体２０の開口したリム部２４を蓋体３０で閉鎖して施錠する基板収納容器の蓋体開閉方法であって、容器本体２０の開口したリム部２４に蓋体３０を予め設定された押圧力で対向させ、容器本体２０に収納された半導体ウェーハＷの前部周縁に蓋体３０のフロントリテーナ３３を接近させた状態で停止させ、施錠機構４０の回転体４２の操作を開始して容器本体２０の係止穴４１に蓋体３０の係止爪４７を嵌合するとともに、回転体４２の操作の継続により係止穴４１と係止爪４７との嵌合部Ｅを起点としてリム部２４に蓋体３０を嵌入し、半導体ウェーハＷの前部周縁を蓋体３０のフロントリテーナ３３に保持させ、リム部２４を蓋体３０によりシール状態に閉鎖する。 （もっと読む）

【課題】 アウトガスがより少なく、静電気によるパーティクルの付着がより少ない、精密部材収納容器を提供する。
【解決手段】 熱可塑性樹脂１００質量部に対して、導電性化合物を１〜１０質量部含有した導電性樹脂からなり、前記導電性樹脂は、８０℃にて６０分放置した時に熱脱離する揮発性有機ガスの総発生ガス量が０．３ｐｐｍ以下であり、表面抵抗値が１０³〜１０⁸Ωであることを特徴とする。熱可塑性樹脂が粘度平均分子量１００００〜３００００のポリカーボネート樹脂であり、導電性化合物がＤＢＰ吸油量が３００ｃｍ³／１００ｇ以上、ＢＥＴ比表面積が５００ｍ²／ｇ以上の導電性カーボンブラックであること、前記ポリカーボネート樹脂は、ペレット２ｇを１００ｍｌの超純水に入れ、５０℃で３時間加熱した時に溶出するイオンの溶出液濃度の総量が８ｐｐｂ以下であること、また、前記ポリカーボネート樹脂は、安定剤及び離型剤の添加量がが５００ｐｐｍ以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 ゲルシートを用いたウェハキャリアにおいて、真空源を用いることなく、ウェハを除去する。
【解決手段】 トレイ１の上にゲルシート２を設け、それらの間に、磁性分散液３および磁性体５を封入した構造とする。ウェハ４を除去する際には、トレイ１の裏面側に、磁石６を所定間隔で配置する。すると、磁石６の直上に磁性体５が偏在し、その分布に応じてゲルシート２の表面に凹凸が形成される。このため、ゲルシート２とウェハ４の接触面積が減少する。これにより、ウェハ４は、ピンセット７で容易に除去することができる。
従って、真空源を用いることなく、ウェハ４を除去することができる。 （もっと読む）

【課題】 保持枠が変形せず、ペリクル膜が変形することのない、取扱い及び搬送が容易で、簡単な構造で補強することのできるリソグラフィ用大型ペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 一辺の長さが300mm以上で、外形が４辺以上の辺より構成される枠体でペリクル膜を保持する大型ペリクルを収納する収納容器であって、該収納容器が樹脂で形成され、外形の少なくとも一部が収納容器より大きな容器補強体上に、該収納容器が載置又は載置後接合されてなることを特徴としている。なお、収納容器は、ペリクルを収めるカバーと該カバーを支持・運搬するためのトレーから構成されている。この容器補強体には、持ち運び用の取っ手を設けるとよい。また、容器補強体は、金属製又は樹脂製、あるいは樹脂と金属の複合材料や、樹脂と無機材料の複合材料で構成するのが好ましい。無機材料には、炭素繊維が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】 基板と支持片が擦れて基板が損傷したり、塵埃が発生するのを防ぎ、基板の周縁部や裏面が汚れたり、傷付くのを抑制できる基板収納容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 複数枚の基板Ｗを整列収納する容器本体１と、容器本体１を形成する一対の側壁内面にそれぞれ配設されて容器本体１の正面側に位置し、基板Ｗの側部周縁を支持する第一の支持片２０と、容器本体１を形成する一対の側壁内面にそれぞれ配設されて容器本体１の背面壁側に位置し、基板Ｗの側部周縁を支持する第二の支持片２４とを備える。そして、基板Ｗの側部周縁と接触する各側壁４の接触部５、第一の支持片２０、及び第二の支持片２４を容器本体１よりも低摩擦性の樹脂層３０で被覆する。 （もっと読む）

【課題】損傷しやすい被搭載物品を適切に輸送等することのできる製造の容易な固定キャリアの製造方法を提供する。
【解決手段】剛性を有する平面円形の基材１と、基材１の表面３に積層被覆されて半導体ウェーハを着脱自在に粘着保持する変形可能な保持層とを備え、基材１に、複数の突起を所定の間隔で突出形成して保持層の裏面に接触させるとともに、複数の突起と保持層との間の区画空間に連通する給排孔を穿孔した固定キャリアの製造方法であって、基材１の周縁部２を除く表面３に、ネガ型のフォトレジスト層を積層状態に接着してその表面にはパターンマスク６１を重ねる。そして、パターンマスク６１に光線を照射して突起形成の予定部分を露光し、基材１のフォトレジスト層を現像して突起を形成しない不要領域を除去し、基材１に複数の突起を一体形成する。 （もっと読む）

【課題】進退動体の運動で塵埃が発生するのを抑制でき、蓋体のスペースや厚みを小さくし、収納される物品の汚染を防止できる収納容器を提供する。
【解決手段】精密基板収納用の容器本体１の正面を開閉する蓋体１０を施錠・解錠する施錠機構２０を備える。そして、施錠機構２０を、蓋体１０に支持される回転プレート２１と、回転プレート２１の回転に基づき、蓋体１０の施錠時には蓋体１０の周壁方向に突出し、蓋体１０の解錠時には蓋体１０の基準位置に復帰する第一の進退動プレート２６と、第一の進退動プレート２６の先端部に支持され、蓋体１０の施錠時には蓋体１０の周壁から突出して容器本体１の係止凹部３に挿入され、蓋体１０の解錠時には容器本体１の係止凹部３から蓋体方向に復帰する第二の進退動プレートと、突出する第二の進退動プレートを蓋体１０の厚さ方向に傾斜させる案内リブ３７とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 極薄ウェハーを製造する場合であってもこれを支持してウェハーの破損を低減でき、研磨面が平滑であるウェハーを得るのに用いられるプラスチック製支持プレートであって、透明度が高く、剛性もあり、加えて線膨張係数の小さい支持プレートを提供する。
【解決手段】 本発明による支持プレートは、合成樹脂１５〜９５重量％と、これと実質上同じ屈折率および／またはアッベ数を有する繊維状強化材５〜８５重量％とよりなる成形材料を成形してなり、紫外線透過率が３０％以上であるものである。ここで屈折率が実質上同じであるとは、光線透過率５０％以上、紫外線透過率５０％以上を確認できる範囲で屈折率が一致することを意味する。両者の屈折率は±０．０１５の範囲で一致することが好ましい。アッベ数が実質上同じであるとは、光線透過率が５０％以上、紫外線透過率５０％以上を確認できる範囲で一致することを意味する。両者のアッベ数は±１０の範囲で一致することが好ましい。紫外線は３２０ｎｍ〜３７０ｎｍの波長領域の光をいう。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板収納容器に振動や揺動が加わっても、基板が基板収納容器内で移動することを防止して、基板の端部が基板の構成部品との衝突により損傷することを防止することができる基板収納容器を提供することを課題とする。
【解決手段】 基板支持部６は、基板１の下側から水平な状態で支持する。基板押さえ部１２は基板支持部６の近傍に垂直方向移動可能に配置される。基板押さえ部１２は基板支持部６とは反対側の上側から基板１に当接して、基板１を基板支持部６との間に挟みこんで固定する。基板押さえ部１２は、基板収納容器の底部２を貫通して垂直方向に移動可能な可動支柱１０に取り付けられる。 （もっと読む）

本発明は、粒子状物質の影響を受けやすい基板を収容するためのポッドであって、外部とポッドの内部環境との間において均圧化を行い、かつ粒子状物質の影響を受けやすい基板近傍において内部の気体の流れを最小限にするポッドに関する。ポッドは、第１ポッドと、カバー内に配置されるダイヤフラムとを備え、ダイヤフラムは、通常は非撓み位置にあり、その非撓み位置から撓むことができる。好ましくは、ポッドは、第１ポッド内に配置され、かつ粒子状物質の影響を受けやすい基板を収容するための第２エンクロージャを形成する第２ポッドを備える。ポッドは、同ポッドに連結され、かつポッド外部とポッド内部との間で気体の流通を可能にするフィルタを備えることができる。ダイヤフラムは、急激な圧力変化に応答することができる。フィルタは、より緩やかな圧力変化に応答することができ、ダイヤフラムがその通常の非撓み位置に戻ることを許容する。
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自重でたわむ大型液晶表示装置用ガラス基板（６）を置いた場合に、大型液晶表示装置用ガラス基板（６）にできる複数の尾根を、複数列のピン状支持部材（１６、１８）ごとにて支持するようにした薄板支持体である。該薄板支持体に置くことにより、たわみ量が少なくなる。薄板支持体としては、ロボットのフォーク状エンドエフェクタとカセットがある。
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厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたウエハ保護シート１であって、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が３０〜８０ｍｍであることを特徴とするウエハ保護シート１。本発明のウエハ保護シート１は十分に薄く、また積み重ねた各ウエハ間に介在させてウエハを保護する際、ウエハと密着せず、容器に収納したウエハを輸送に伴う振動から保護することができる。
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【課題】 蓋体の撓みに伴う蓋体開閉装置とのドッキング不良を抑制防止し、作動トラブルやパーティクルを含む気体が容器本体に侵入して基板を汚染することのない基板収納容器を提供する。
【解決手段】 開口した正面から挿入された半導体ウェーハＷを収納する容器本体１と、容器本体１の開口した正面に嵌入される蓋体２０と、容器本体１に嵌入された蓋体２０を施錠する施錠機構４０とを備え、蓋体２０を、容器本体１の開口した正面に嵌入される筐体２１と、筐体２１の開口した正面の両側部を覆う表面プレート２８とから構成し、筐体２１の中央部に、表面プレート２８方向に凹む凹部２４を形成する。そして、容器本体１に嵌入された蓋体２０の凹部２４からＳＥＭＩ規格のＦＤＰまでの距離を、表面プレート２８の表面２９からＦＤＰまでの距離よりも短くする。 （もっと読む）

【課題】ティースの正規の位置に基板を復帰させてその取り出し作業を容易にしたり、基板の破損を抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷを収納する容器本体と、容器本体の内部両側に配設されて半導体ウェーハＷを略水平に支持する複数のティースと、容器本体内に装着されて半導体ウェーハＷの後部周縁を保持溝３２を介して保持するリヤリテーナと、容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを備える。そして、複数のティースの後方に、容器本体を蓋体により嵌合閉鎖した場合に半導体ウェーハＷの両側部周縁に傾斜面５１を接触させて半導体ウェーハＷを上下方向に案内する複数のガイド溝５０を設け、各ガイド溝５０を形成する傾斜面５１の傾斜角度をリヤリテーナ３０の保持溝３２を形成する傾斜面３３の傾斜角度よりも小さく設定する。 （もっと読む）

【課題】 基板が回転して磨耗粉等が付着するのを抑制防止したり、基板の整列を容易にできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハＷを整列収納する容器本体１と、容器本体１の開口正面を開閉する蓋体と、容器本体１の背面壁８の内面に装着されて半導体ウェーハＷの後部周縁を保持する左右一対のリヤリテーナ２０・２０Ａとを備える。そして、各リヤリテーナ２０・２０Ａを、可撓性の内側片２１と、内側片２１に対向する外側片２２と、内側片２１と外側片２２の間に架設されて半導体ウェーハＷの後部周縁を挟持する支持ブロック２３とから形成し、内側片２１を外側片２２よりも半導体ウェーハＷの重心Ｃを通る中心線ＣＬに接近させるとともに、内側片２１の撓み量を外側片２２の撓み量よりも大きくし、半導体ウェーハＷの大きな回転を規制する。 （もっと読む）