【課題】搬送時の振動などにより位置決め部と被搬送物とが擦れても、搬送トレイが削れにくいことで、搬送トレイからの粉末の発生及び粉末の発生による被搬送物への異物の付着を低減させて搬送可能な搬送トレイを提供する。
【解決手段】底面１４から立ち上がる側壁１１を有し被搬送物２０が収納される窪み状の収納部１０と、収納部１０の側壁１１の一部から収納部１０の内側へ突出して形成されることにより、被搬送物２０が位置決めされる複数の位置決め部１２と、を備え、位置決め部１２は、被搬送物２０が載置される底面１４の載置部１３より上方に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、又は複雑な装置を必要とせず、粘着保持した薄板状物を変形させることなく剥離することのできる保持治具及び薄板状物の剥離方法を提供する。
【解決手段】保持治具１は薄板状物５を粘着保持することのできる粘着部１４を頂面に有する突出部材１２と、非粘着部３２を表面に有する板状部材３０とを備え、板状部材３０は、突出部材１２に対して相対的に前後進可能に配置される。この保持治具１に粘着保持された薄板状物５を剥離させるには、板状部材３０を、突出部材１２に対して相対的にその軸線方向に前進させて、薄板状物５を突出部材１２の粘着部１４から引き離す。 （もっと読む）

【課題】解放式のカセットへのダストの侵入を防止し、クリーン度の低い空間でもカセットを保管・搬送できるようにする。また、シート材でラップしたカセットを用いて、処理装置へ物品を搬入するための具体的な構成を提供する。さらに、シート材のラップやアンラップを容易にできるようにする。
【解決手段】開放式のカセットにラッピング装置１４でシート材をラップして周囲から気密にするとともに、アンラッピング装置１０でシート材を剥がし、カセットに物品を出し入れできるようにする。 （もっと読む）

【課題】ケース本体と蓋体との間の隙間が弾力性のあるシール部材により全周にわたってシールされていても、衝撃等を伴うことなく蓋体をケース本体からスムーズに取り外して開放することができるレチクルケースを提供すること。
【解決手段】ケース本体１と、蓋体２と、解除自在なロック部材３（３Ａ）と、ロック部材３（３Ａ）が解除状態にされた時に蓋体２をケース本体１から押し上げるようにケース本体１と蓋体２との間に配置されたケース開放ばね１５と、が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 位置決めの基準となるインデックスバーの変形が少なく、側壁に設けられる収納溝の変形も低減でき、装置に対する位置決め精度が向上し、薄板の載置位置のばらつきを少なくして、薄板を精度良く取り出しや挿入ができるカセットを提供することを課題とする。
【解決手段】 相対向する側壁内面に薄板を収納する収納溝を有し、前記相対する側壁の一方を連結する端壁と、前記側壁の他方を連結するＨ形状の端壁とを有するカセットであって、Ｈ形状の端壁の中央部に設けられる半円状の突起バーの半円状の円周の一部が長手方向に延びるように形成された楔状の空洞部によって分割されているカセットである。空洞部が、外周面が半円状に形成されたリブによって仕切られるようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】 容器本体を成形する金型の構成の簡素化を図ることのできるティース体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 二枚の半導体ウェーハを収納可能な大きさを有するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、容器本体１に内蔵されて半導体ウェーハを整列させて支持するティース体２０と、容器本体１の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体と、容器本体１と蓋体との間に介在されて気密機能を発揮するエンドレスのガスケットとを備える。そして、ティース体２０を、容器本体１の両側壁内面にそれぞれ嵌合されて半導体ウェーハの裏面周縁部を支持する複数対のティース２１と、複数対のティース２１の後部を連結して容器本体１の内底面に嵌合される連結片２３とから一体形成する。容器本体１にティース体２０を後から組み付けるので、容器本体１を成形する金型の型開きが困難化したり、コア型を分割式にする必要がない。 （もっと読む）

【課題】薄板状素子をモジュールとする加工段階から薄板状素子の破損を防止することのできるトレーおよびその製造方法を提供するを提供する。
【解決手段】トレー１は、熱可塑性樹脂発泡体により形成されたシート２の一面に、脆性を有する薄板状素子４を嵌合することのできる収納凹部３を設ける。トレーの製造方法は、熱可塑性樹脂発泡体により形成されたシート２の一面に、脆性を有する薄板状素子４が嵌合される収納凹部３の形成予定領域を囲うようにハーフカットを施す工程と、ハーフカットにより囲まれた部位を圧縮することにより、薄板状素子４が嵌合される収納凹部３を形成する工程とを設ける。 （もっと読む）

【課題】半導体素子を固定可能で、かつ加工後に半導体素子を容易に剥離可能にした半導体支持部材及び半導体素子の加工方法を提供する。
【解決手段】 ２５℃〜１２５℃での熱膨張係数が２０ｐｐｍ／℃以下のガラス繊維補強樹脂板からなる応力下で変形可能なシートと、半導体素子と接する面のピール強度が２０Ｎ／ｍ以下である半導体固定部材とを有することを特徴とする半導体支持部材。 （もっと読む）

【課題】導電性を有しながら剛性に優れ、しかもソリや流動方向と垂直方向の成形収縮率の差による異方性の少ない平面性を実現し、パーティクルの発生が少ない半導体搬送容器用部品、特にはボトムプレートとして好適な導電性樹脂組成物を提供することを課題とする。
【解決手段】 （ａ）熱可塑性樹脂５０〜８０重量部、（ｂ）導電性カーボンブラック５〜２５重量部、（ｃ）ガラス強化充填材１５〜２５重量部［ただし、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＝１００重量部とする］を主成分として配合してなる半導体搬送容器用部品用導電性樹脂組成物及びこれを用いた半導体搬送容器用部品並びに半導体搬送容器である。 （もっと読む）

【課題】 手動で開閉する場合にも部品や付属品等の紛失するおそれが少なく、搬送時の振動や衝撃等でもパーティクルが発生しにくく、しかも、洗浄後の乾燥作業に長時間を要することのない蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 基板を収納する容器本体１と、容器本体１の開口正面部２に着脱自在に嵌入される蓋体１０とを備える。蓋体１０を、容器本体１の開口正面部２に着脱自在に嵌入される筐体と、筐体の表面に配設され、回転プレート１５の回転に基づき筐体の周壁から出没可能に突出させた係止爪を容器本体１の開口正面部２内周に係止させることにより筐体を施錠する施錠機構１４と、筐体の表面に装着されて施錠機構を覆うカバープレート２２と、カバープレート２２に形成されて回転プレート１５に部分的に対向する操作窓３０とから構成し、施錠機構１４の回転プレート１５の操作窓３０との対向部には、手動操作手段を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送時の半導体チップの損傷を防止し、チップサイズの異なる半導体チップにも対応できる半導体チップトレイを提供する。
【解決手段】トレイ本体４ａとチップを固定する粘着性シート５を有したトレイで、トレイ本体４ａは、粘着性シート５を交換可能に保持するものであり、更にトレイ本体４ａは突起部４ｂを有しており、粘着性シート５を保持するとともに、トレイ本体４ａの積み重ねを容易にする。トレイ本体４ａは突起部４ｂより内側の平面部に紫外線照射用または、チップピックアップ時の突き上げ治具挿入用の穴があいた構造であり、粘着シート５の粘着力は紫外線照射または加熱により変更することが可能である。 （もっと読む）

【課題】例え基板が撓みやすい場合でも、基板の給排等に支障を来たすことがなく、しかも、生産性を向上させ得る基板の取り扱い装置及び基板の取り扱い方法を提供する。
【解決手段】基板収納容器１を搭載する搭載装置４０と、搭載装置４０に搭載された基板収納容器１に対して基板Ｗを給排する多関節ロボット５０とを備え、基板収納容器１を、複数枚の基板Ｗを整列収納する容器本体２と、この容器本体２の開口正面部８を開閉する着脱自在の蓋体とから構成し、容器本体２の底部には複数の位置決め具６を配列する。また、搭載装置４０を、基板収納容器１を搭載する上下方向に回転可能なテーブル４１と、基板収納容器１を搭載したテーブル４１を上方向に傾斜させ、基板収納容器１の開口正面部８を多関節ロボット５０側の斜め上方向に向ける駆動機構４７とから構成する。 （もっと読む）

【課題】容器本体の左右方向に搬送させることが可能な基板収納容器及びコンベアレール部材を提供する。
【解決手段】容器本体に固定される固定部１４を設置して、この固定部１４によって、コンベアレール部材１３を容器本体に固定することで、容器本体の前側に形成されたコンベアレール１１と対になるように、コンベアレール部材１３のコンベアレール１２を容器本体の後側に配置する。すなわち、コンベアレール部材１３を容器本体の底部外面２ｃに取り付けることで、容器本体の左右方向に延在するコンベアレール１０を形成することができる。これにより、基板収納容器を、例えばローラコンベア上に載置して、コンベアレール１０の延在する方向に沿って容器本体の左右方向Ｄ３に搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】 ダイシングテープの余剰部を刃物により除去する際、成形されたフレームから切削屑が発生して半導体ウェーハを汚染させるのを抑制することができ、しかも、刃物による切削跡に切削屑の付着するおそれの少ないキャリア治具を提供する。
【解決手段】 バックグラインドにより薄片化された半導体ウェーハを収容する中空のフレーム１と、フレーム１の裏面４に貼着され、半導体ウェーハを粘着保持するダイシングテープ１０とを備え、フレーム１を、樹脂を含む成形材料により射出成形する。また、フレーム１の裏面４の外周部を切り欠いてカッタ刃回避用の段差部２０を平坦に形成する。フレーム１から食み出るダイシングテープ１０の不要な余剰部１１をカッタ刃３１により切断する際、凹んだ段差部２０にカッタ刃３１の接触することがないので、フレーム１の裏面４をカッタ刃３１により切削してしまうことがなく、異物の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等を収納する容器等の材料である高分子材料の導電性を向上させ、容器の帯電防止や塵埃付着防止をはかること。
【解決手段】高分子材料にカーボンナノチューブ等の導電性ナノチューブを含有させる。射出成形により作製する容器において、容器を構成する高分子材料は、ゲートと容器の端までの長さLと容器の代表厚みｔとの比L/tが増加すると、あるいは、シート状製品の場合には、圧延・延伸前後のシート厚さの比t₁/t₀が減少すると、導電率が増加する傾向にある。特にL/t比が50以上、またはt₁/t₀比が0.7以下において、顕著である。この理由は、高分子材料のマトリックス中に導電性ナノチューブがその長手方向に配向するためである。本発明を用いて成形した半導体ウエハなどの容器は、帯電しないので塵埃付着などがなく、半導体の超微細加工プロセスに適用できる。 （もっと読む）

【課題】 ダイシングテープの余剰部を刃物により除去する際、成形されたフレームから切削屑が発生して半導体ウェーハを汚染させるのを抑制することができ、しかも、刃物による切削跡に切削屑の付着するおそれの少ないキャリア治具を提供する。
【解決手段】 バックグラインドにより薄片化された半導体ウェーハを収容する中空のフレーム１と、このフレーム１の裏面４に接着され、半導体ウェーハを粘着保持するダイシングテープ１０とを備え、フレーム１の裏面４に、ダイシングテープ１０に接着する軟質の切削屑発生防止層２０を積層し、この切削屑発生防止層２０により、ダイシングテープ１０の余剰部１１除去に伴う切削屑の発生を抑制防止する。カッタ刃３１がフレーム１ではなく、裏面４を保護する切削屑発生防止層２０に接触し、異物が発生しないので、フレーム１の裏面４をカッタ刃３１により切削してしまうことがない。 （もっと読む）

【課題】 ダイシングテープの余剰部を刃物により除去する際、成形されたフレームから切削屑が発生して半導体ウェーハを汚染させるのを抑制することができ、しかも、刃物による切削跡に切削屑の付着するおそれの少ないキャリア治具を提供する。
【解決手段】 バックグラインドにより薄片化された半導体ウェーハを収容する中空のフレーム１と、このフレーム１の裏面４に接着され、半導体ウェーハを粘着保持するダイシングテープ１０とを備え、フレーム１の裏面４に、ダイシングテープ１０に接着する金属製の切削屑発生防止層２０を積層し、この切削屑発生防止層２０により、ダイシングテープ１０の余剰部１１除去に伴う切削屑の発生を抑制防止する。カッタ刃３１がフレーム１ではなく、硬い切削屑発生防止層２０に接触し、異物が発生しないので、フレーム１の裏面４をカッタ刃３１により切削してしまうことがない。 （もっと読む）

複数の基板を保持する収納容器は、内部空間を画定する筐体部分を含む。この筐体は、基板を収容する複数のスロットと、開放面を気密的に閉鎖するドア（２６）とを有する。クッション（６２）はドアに収まる。
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【課題】極薄ウエハを破損せずに出し入れすると同時に、搬送、処理することが可能な薄板保持容器を提供する。
【解決手段】薄板収納容器２１の上側面の第１載置部２３Ａが薄板収納容器２１の周縁部２５Ａに対して凹状になり、薄板収納容器２１の下側面の第２載置部２３Ｂが薄板収納容器２１の周縁部２５Ｂに対して凸状になっている。薄板収納容器２１を重ねた時に、下の薄板収納容器２１における上側面の周縁部２５Ａが上の薄板収納容器２１における下側面の周縁部２５Ｂと重なり、上の薄板収納容器２１の第２載置部２３Ｂは下の薄板収納容器２１の凹部に入り込む構造になっている。載置部２３は柔軟性材料や弾性材料で形成される。ウエハは上下の載置部２３に挟持されて固定する。この結果、ウエハを搭載した薄板収納容器２１の搬送やプロセスも自動化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】焼却した場合の燃焼カロリーが低く、焼却炉を傷めず、硫黄酸化物や窒素酸化物等の有毒ガスの発生を低減し、更には自然界において容易に分解し、生態系に及ぼす悪影響を低減しうるダイシングウエハ収納トレーを提供する。
【解決手段】ダイシングウエハを収納する凹部を備えたダイシングウエハ収納トレーであって、ポリ乳酸を含有すると共に、他の熱可塑性樹脂を含有し、更にイオン導電性の導電剤を含有する樹脂組成物を用いて成形したダイシングウエハ収納トレー。 （もっと読む）