レチクルケース
【課題】ケース本体と蓋体との間の隙間が弾力性のあるシール部材により全周にわたってシールされていても、衝撃等を伴うことなく蓋体をケース本体からスムーズに取り外して開放することができるレチクルケースを提供すること。
【解決手段】ケース本体１と、蓋体２と、解除自在なロック部材３（３Ａ）と、ロック部材３（３Ａ）が解除状態にされた時に蓋体２をケース本体１から押し上げるようにケース本体１と蓋体２との間に配置されたケース開放ばね１５と、が設けられている。
【解決手段】ケース本体１と、蓋体２と、解除自在なロック部材３（３Ａ）と、ロック部材３（３Ａ）が解除状態にされた時に蓋体２をケース本体１から押し上げるようにケース本体１と蓋体２との間に配置されたケース開放ばね１５と、が設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体の製造工程内において、ステッパーで使用されるフォトマスクであるレチクルを一枚毎に格納するためのレチクルケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程内において使用されるレチクルケースは、一般に、ケース本体と、ケース本体に上方から着脱自在に被せられる蓋体と、ケース本体と蓋体との間の隙間を全周にわたってシールするシール部材と、蓋体がケース本体に被せられた状態を保持するための解除自在なロック部材とを備えている。そして、格納されているレチクルを取り出す際には、ロック部材によるロックを解除してから、ロボットハンド等で蓋体を上方に引っ張りあげてケース本体から引き剥がす（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００４−１７３２７３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１に記載されたレチクルケース等においては、弾力性のある材料からなるシール部材がケース本体と蓋体との間の隙間に挟み付けられていることにより、外気に含まれる異物や化学物質等がレチクルケース内に侵入しない優れた性能を得ることができる。
【０００４】
しかし、そのようなシール部材が設けられていることにより、レチクルを取り出すために蓋体が上方に引っ張りあげられた際に、弾性変形させられているシール部材の圧接力により蓋体がケース本体からスムーズに引き剥がされない場合がある。具体的には、ケース本体から蓋体が離れる際に、ケース本体が蓋体と共に一度持ち上げられてから落下する等の現象により衝撃が発生する場合がある。そして、そのような衝撃が発生すると、レチクルに傷が付くおそれがあるだけでなく、レチクルケース内で発生するゴミ等がレチクルに悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００５】
本発明は、ケース本体と蓋体との間の隙間が弾力性のあるシール部材により全周にわたってシールされていても、衝撃等を伴うことなく蓋体をケース本体からスムーズに取り外して開放することができるレチクルケースを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明のレチクルケースは、半導体の製造工程内において一枚のレチクルを格納するためのレチクルケースであって、レチクルが載置されるレチクル載置部材が配置されたケース本体と、レチクル載置部材に載置された状態のレチクルを上方から押さえるためのレチクル押さえ部材が配置されてケース本体に上方から着脱自在に被せられる蓋体と、蓋体がケース本体に被せられた状態の時にケース本体と蓋体との間の隙間を全周にわたってシールする弾力性のある材料からなるシール部材と蓋体がケース本体に被せられた状態を保持するための解除自在なロック部材と、ロック部材が解除状態にされた時に蓋体をケース本体から押し上げるようにケース本体と蓋体との間に配置されたケース開放ばねと、が設けられているものである。
【０００７】
なお、ケース開放ばねが蓋体に対し固定的に取り付けられていてもよく、ケース開放ばねの固定端に、蓋体の裏面部から突出形成されたピンが圧入される固定用孔が穿設されていてもよい。また、ケース本体に、ケース開放ばねの作用端が当接するばね受け部材が立設されていてもよい。
【０００８】
そして、ケース開放ばねが板ばねであって、二つのケース開放ばねが固定端を共有して一体に形成されていてもよく、その場合に、蓋体が矩形状に形成されると共に、一体に形成された二つのケース開放ばねが二組設けられて、そのうちの一組のケース開放ばねが蓋体の一辺に沿って配置され、蓋体の反対側の辺に沿って他の一組の板ばねが配置されていてもよい。なお、ケース開放ばねが、導電性を有するプラスチック材で形成されていてもよく、具体的には、導電性材料が混練された高分子材料で形成されていてもよい。
【０００９】
また、本発明のレチクルケースにおいては、ロック部材が、水平方向にスライド可能に蓋体に取り付けられてケース本体に蓋体をロックするロック片と、ケース本体に対して蓋体をロックする方向にロック片を付勢するコイルスプリングからなるロックばねとを有していて、ロックばねが蓋体の外壁面に垂直の向きに取り付けられていてもよい。
【００１０】
従来は、ロックばねが板バネで形成されてその端部が蓋体の外壁面に取り付けられていたため、ロックばねの付勢力の反力が蓋体の外壁部を歪（いびつ）に変形させて、シール部材の圧接状態が部分的に不完全になり、シール部に漏れが発生するおそれがあった。しかし、このように構成することにより、蓋体の外壁部が歪に変形せず、シール部材による気密シールが破綻をきたすことなく保持されるレチクルケースを提供することができる。なお、ロック片が、蓋体に回動可能に取り付けられたアームに取り付けられていて、ロックばねがアームを付勢していてもよい。
【００１１】
また、本発明のレチクルケースにおいては、レチクル押さえ部材が複数設けられて、矩形状に形成されたレチクルの４辺のうちの３辺に対し斜め上方から当接するように蓋体に取り付けられ、レチクルの他の一辺に対し側方から当接するレチクルストッパがケース本体から上方に突出して設けられていてもよい。
【００１２】
従来のレチクルケースにおいては、レチクル押さえ部材がレチクルの４辺全てに対して斜め上方から当接するように形成されていたので、レチクルケースを所定の大きさに小型化するのが困難であったが、このように構成することにより、レチクルケースの内部空間を有効に利用して、レチクルケースを所定の大きさに小型化したレチクルケースを提供することができる。なお、レチクルストッパが、非導電性のプラスチック材で形成されているとよい。
【００１３】
また、本発明のレチクルケースにおいては、少なくともケース本体と蓋体とが導電性を有するプラスチック材で形成され、レチクルに接触する部材が全て非導電性のプラスチック材で形成されていてもよく、レチクル載置部材が、導電性を有するプラスチック材によりケース本体と一体成形されてケース本体から上方に突出する突起部と、非導電性のプラスチック材で形成されて突起部の少なくとも頂部に被覆されたキャップ状部材とを有していてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ロック部材が解除状態にされた時に蓋体をケース本体から押し上げるようにケース本体と蓋体との間にケース開放ばねを配置したことにより、ケース本体と蓋体との間の隙間が弾力性のあるシール部材により全周にわたってシールされていても、衝撃等を伴うことなく蓋体をケース本体からスムーズに取り外して開放することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図２は、半導体の製造工程内において、ステッパーで使用されるフォトマスクであるレチクル１００を一枚毎に格納するためのレチクルケースの外観斜視図である。レチクル１００は、破線で図示されているケース本体１と、そのケース本体１に対して上方から着脱自在に被せられる蓋体２とで囲まれた空間内に格納される。レチクル１００は、例えば一辺が６インチ（１５．２４ｃｍ）の正方形状であり、その厚みは例えば１／４インチ（６．３５ｍｍ）である。
【００１６】
３は、蓋体２がケース本体１に被せられた状態を保持するためのロック部材であり、矢印Ａで示されるようにロック部材３を外方に引き出すことにより、蓋体２とケース本体１とのロックが解除された状態になる。４は、レチクルケースの内外を連通させるように蓋体２の前面側に取り付けられた２個の呼吸弁である。ロック部材３と呼吸弁４についてのさらに詳細な説明は後述する。
【００１７】
蓋体２の内壁部には、レチクル１００に悪影響を及ぼす汚染ガスをレチクルケース内で吸収するための少なくとも一つのケミカルアブソーバ５が取り付けられている。ケミカルアブソーバ５は、例えば気体は通過するが固形粒子等は通過しない多孔質の膜状フィルタ（メンブレンフィルタ）により化学吸着剤が囲繞されてその内部に封止されている。
【００１８】
６は、図示されていないロボットハンドを係合させるためのトップフランジであり、蓋体２の上面から上方に隙間をあけて突出した状態に、蓋体２に固定的に取り付けられている。７は、ＲＦＩＤタグ（無線タグ）を取り付けるための凹部であり、蓋体２の外側面に凹んで形成されている。
【００１９】
図３はレチクルケースの分解斜視図であり、レチクル１００の図示は省略されている。図４は、レチクルケース内における各部材の配置状態を略示する平面図であり、ケース本体１に設けられている部材は太い破線で図示され、蓋体２に設けられている部材は細い破線で図示されている。図５と図６は各々、図４に示されるＶ−Ｖ断面図であり、図５はレチクルケースが閉じた状態、図６はレチクルケースが開いた状態を示している。ケース本体１と蓋体２とはヒンジ等によって連結されておらず、蓋体２はレチクル１００の面に対して垂直方向に着脱される。
【００２０】
図４に示されるように、ケース本体１と蓋体２は各々、導電性のあるプラスチック材により正方形に近い矩形状に形成されている。具体的には、例えばＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＢＴ（ポリブチレテレフタレート）又はＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等のような熱可塑性高分子材料にカーボンファイバ等のような導電性フィラー又はカーボンナノチューブ等のような導電性ナノチューブが混練された材料で形成されている。
【００２１】
そして、蓋体２がケース本体１に被せられた状態の時にケース本体１と蓋体２との間の隙間を全周にわたってシールするための例えばポリオレフィンエラストマー等のような弾力性のある材料からなるシール部材８が、ケース本体１と蓋体２との隙間に沿って継ぎ目なくに配置されている。
【００２２】
図５に示されるように、シール部材８はケース本体１の外縁部の全周に形成された取り付け溝内に嵌め込まれている。そして、側方に向けて突出する状態にシール部材８に形成されたリップ状部分の先端が、蓋体２の開口部の内周面に圧接して弾性変形した状態になることで、ケース本体１と蓋体２との間の隙間が気密にシールされて、レチクルケース内へのゴミや汚染ガス等の侵入が阻止される。シール部材８が圧接される蓋体２の開口部の内周面は、開口端側へ次第に広がる斜面状に形成されている。したがって、ケース本体１に対する蓋体２の被さり具合が浅くなるにしたがって、シール部材８の圧接力（シール力）が弱まる。
【００２３】
ロック部材３は、図４に示されるように蓋体２の前面（図４において右側の面）と後面（図４において左側の面）の各外壁部の内側に各々二組ずつ配置されている。各ロック部材３は、図７に示されるように、ケース本体１の底面に形成されたロック片係合凹部１１に出入りするように水平方向にスライド可能に設けられたロック片３Ａを備えている。ロック片３Ａには、図示されていない外部のロック解除アームを係合させるための孔が形成されている。
【００２４】
ロック片３Ａは、支軸３Ｄを中心に回動自在に蓋体２に取り付けられたアーム３Ｂの先端に設けられている。また、ロック片３Ａをロック片係合凹部１１内に押し込む状態に常に付勢するための圧縮コイルスプリングからなるロックばね３Ｃが、蓋体２の外壁の内面とアーム３Ｂとの間に圧縮された状態に配置されて、アーム３Ｂを付勢している。
【００２５】
ロックばね３Ｃは蓋体２の外壁面に垂直の向きに取り付けられて、アーム３Ｂを蓋体２の外壁面に対して垂直方向に付勢している。その結果、ロックばね３Ｃから蓋体２に加わる力が蓋体２の外壁面に対して垂直方向に作用するので、蓋体２が歪（いびつ）に変形せず、シール部材８による気密シールが破綻をきたすことなく保持される。
【００２６】
ロック片係合凹部１１は、ケース本体１の底面に形成されていて、図７に示されるようにロック片３Ａがロック片係合凹部１１内に係合していると、図５にも明示されるように、蓋体２をケース本体１から外すことができないロック状態になる。そして、図８に示されるように、外部のロック解除アームで、ロック片３Ａをロックばね３Ｃの付勢力に抗して矢印Ａで示されるように外方に引っ張ってロック片係合凹部１１内から引き出された状態にすると、ロック状態が解除されて、蓋体２をケース本体１から外してレチクルケースを開放状態にすることができる。
【００２７】
図３と図４に戻って、１２は、レチクル１００が載置される４個のレチクル載置部材であり、レチクル１００の四隅の内側部分が載せられる位置に配置されている。なお、レチクル載置部材１２はできるだけ小さな面積でレチクル１００を支持するように構成するのが望ましい。
【００２８】
各レチクル載置部材１２は、図９に拡大図示されるように、導電性を有するプラスチック材によりケース本体１と一体成形されてケース本体１から上方に突出する突起部１２Ａに、例えばＰＥＥ（ポリエチレンエラストマー）等のような弾力性を有する非導電性の高分子材料製のキャップ状部材１２Ｂが被せられた構成になっている。なお、キャップ状部材１２Ｂは、少なくともレチクル１００と接触するレチクル載置部材１２の頂部に被覆されていればよい。
【００２９】
図３及び図４に示される１３は、４個のレチクル載置部材１２に載置された状態のレチクル１００を上方から押さえるための６個のレチクル押さえ部材であり、ばね性を有する例えばＰＥＥ等のような非導電性のプラスチック材（高分子材料）により形成されている。レチクル押さえ部材１３は、図４に示されるように、レチクル１００の前縁と左右両縁の各々に当接する位置に２個ずつ互いの間隔をあけて配置されている。
【００３０】
各レチクル押さえ部材１３は、図５に示されるように、蓋体２の内面に凹んで形成された孔に両端が嵌め込み固定されていて、側方から見て略４５°の角度に形成された斜面部分が、レチクル１００の縁部に斜め外方（斜め上方）から板ばね状に弾力的に当接する状態に取り付けられている。それによって、レチクルケース内におけるレチクル１００の位置が背面側を除いて規制されている。
【００３１】
再び、図３と図４に戻って、１４は、レチクル１００の４辺のうちレチクル押さえ部材１３が当接しない辺に対して側方から当接してレチクル１００の位置決めをする（言い換えると、４個のレチクル載置部材１２に載置された状態のレチクル１００の後面側の辺に対し後方から当接する）レチクルストッパであり、非導電性のプラスチック材（高分子材料）により形成されて、ケース本体１から上方に突出する状態にケース本体１にねじ止め固定されている。なお、レチクル１００に対するレチクルストッパ１４の当接状態は図５等にも明示されている。
【００３２】
このようにして、蓋体２に取り付けられた弾力性のあるレチクル押さえ部材１３をレチクル１００の３辺に斜め外方から当接させ、ケース本体１から立設されたレチクルストッパ１４をレチクル１００の他の一辺に当接させる構成を採ることで、レチクル１００をレチクルケース内に所定位置に安定した状態に固定することができ、レチクルケースの内部空間を有効に用いてレチクルケースを所定の大きさに小型化することができる。
【００３３】
１５は、ロック部材３が図８に示されるロック解除状態にされた時に、蓋体２をケース本体１から押し上げるようにケース本体１と蓋体２との間に配置されたケース開放ばねである。
【００３４】
ケース開放ばね１５は、導電性を有するプラスチック材で形成されている。具体的には、例えばＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等のようなばね性を有する高分子材料に導電性フィラー又は導電性フィラー等のような導電性材料を混練して形成されている。ただし、他の材料で形成してもよい。
【００３５】
この実施の形態のケース開放ばね１５は板ばねであり、図１０に拡大図示されるように、二つのケース開放ばね１５がその境界部分で固定端を共有する状態に一体成形されて、その固定端部分に２個の固定用孔１５Ａが穿設されている。各ケース開放ばね１５の他端側は作用端であり、後述するばね受け部材１７のばね受け面１７Ａに当接する当接面１５Ｂが作用端部分に形成されている。当接面１５Ｂは、ばね受け面１７Ａに面する向きの平板状に形成されている。
【００３６】
ばね受け部材１７は、図３及び図４に示されるように、ケース本体１の左右両辺（図４における上側の辺と下側の辺）の内側位置に互いの間隔を均等に離して２個ずつ合計４個がケース本体１の上面に立設されている。そのようなばね受け部材１７はケース本体１にねじ止め固定されていて、その頂面が、ケース開放ばね１５の当接面１５Ｂと当接するほぼ平らなばね受け面１７Ａになっている。
【００３７】
また、ケース開放ばね１５は、前述のように２個ずつ一体に形成されたものが二組（合計４個）設けられて、そのうちの一組のケース開放ばね１５が蓋体２の右辺に沿って配置され、蓋体２の左辺に沿って他の一組のケース開放ばね１５が配置されている。その結果、ケース開放ばね１５とばね受け部材１７を、レチクルケース内のレチクル１００と干渉しない空間を有効に利用して配置し、ケース本体１と蓋体２との間に開放力を均等に作用させることができる。
【００３８】
図５に示されるように、ケース開放ばね１５は、蓋体２の裏面部から突出形成されたピンが固定用孔１５Ａにきつく圧入されることにより蓋体２に固定されている。ばね受け部材１７のばね受け面１７Ａはレチクル１００の表面（上面）より上方に位置している。そして、ケース本体１と蓋体２とがロック部材３でロックされた状態では、各ケース開放ばね１５の当接面１５Ｂが各々ばね受け部材１７のばね受け面１７Ａに当接してケース開放ばね１５が弾性変形し、それによってケース開放ばね１５から発生する付勢力が、蓋体２をケース本体１から押し上げて開く状態に作用している。その付勢力は、全体で例えば０．２〜１．２ｋｇ程度の範囲であるとよい。
【００３９】
そして、図６に示されるように、蓋体２がケース本体１から離れた状態では、ケース開放ばね１５の当接面１５Ｂがばね受け部材１７のばね受け面１７Ａから離れて、ケース開放ばね１５が弾性変形していない元の形状に戻っている。なお、この状態においては、全てのレチクル押さえ部材１３がレチクル１００から離れる。
【００４０】
このように構成されたレチクルケースにおいては、図５に示されるようにケース本体１と蓋体２とがロック部材３のロック片３Ａでロックされた状態から、図１に示されるように、ロック片３Ａがロック片係合凹部１１内から矢印Ａで示されるように外方に引き出されてロックが解除されると、ケース本体１と蓋体２との間に作用しているケース開放ばね１５の付勢力により、蓋体２がケース本体１に対して持ち上げられ、その結果、ケース本体１と蓋体２との間の隙間がシール部材８でシールされない状態になる。又は、シール部材８のシール力が非常に弱い状態になる。
【００４１】
このようにして、ケース本体１と蓋体２との間の隙間が弾力性のあるシール部材８により全周にわたってシールされた構成を採っていても、衝撃等を伴うことなく蓋体２をケース本体１からスムーズに取り外して開くことができ、レチクル１００に悪影響を及ぼすことなくレチクルケースを開放状態にすることができる。
【００４２】
レチクルケースの内外を連通させる呼吸弁４には、図１や図５等に示されるように、気体は通過するが例えば０．１μｍ以上の大きさの固形粒子は通過しないメンブレンフィルタ４Ａが内蔵されていて、蓋体２内においてレチクル１００の表面に沿う方向に開口している。その結果、ケース本体１に蓋体２がロックされた状態において、呼吸弁４を介して清浄な外気がレチクル１００の表面に与えられる。
【００４３】
なお、この実施の形態のレチクルケースにおいては、レチクル１００と接触するキャップ状部材１２Ｂ、レチクル押さえ部材１３及びばね受け部材１７は非導電性のプラスチック材により形成されて、レチクル１００と接触しないものは、ケース本体１及び蓋体２を初め主要な部品が導電性を有するプラスチック材で形成されている。それによって、ケース本体１と蓋体２等が帯電し難くなるので、外部環境からの不純物粒子等を引き付けなくなってレチクル１００が汚染され難くなり、また、レチクルケースの表面積の大部分が導電性を有することにより、万一非導電部分に電荷が付与された場合でも速やかなリークにより実質的に帯電しない等の効果を得ることができる。そして、レチクル１００はケース本体１や蓋体２等と電気的に絶縁されているので、外部から電気的な悪影響を受け難い。
【００４４】
なお、ケース本体１及び蓋体２等を構成するプラスチック材として、導電性カーボン入りのＰＣ（ポリカーボネート）を用いると、透明性は得られないが、汚染ガスの発生が非常に少なくなる効果がある。
【００４５】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、例えばケース開放ばね１５の形状及び配置等は本明細書に記載していない各種の態様を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの、ロックが解除された瞬間の状態を示す側面断面図である。
【図２】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの外観斜視図である。
【図３】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの分解斜視図である。
【図４】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの各部材の配置関係を示す平面略示図である。
【図５】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの、ケース本体に蓋体がロックされた状態の側面断面図（図４におけるＶ−Ｖ断面図）である。
【図６】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの、ケース本体から蓋体が外された状態の側面断面図である。
【図７】本発明に係る実施の形態におけるロック部材の背面断面図である。
【図８】本発明に係る実施の形態におけるロック部材のロックが解除された状態の背面断面図である。
【図９】本発明に係る実施の形態におけるレチクル載置部材単体の側面断面図である。
【図１０】本発明に係る実施の形態におけるケース開放ばねの単体斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１ ケース本体
２ 蓋体
３ ロック部材
３Ａ ロック片
３Ｂ アーム
３Ｃ ロックばね
８ シール部材
１１ ロック片係合凹部
１２ レチクル載置部材
１２Ａ 突起部
１２Ｂ キャップ状部材
１３ レチクル押さえ部材
１４ レチクルストッパ
１５ ケース開放ばね
１５Ａ 固定用孔
１５Ｂ 当接面
１７ ばね受け部材
１７Ａ ばね受け面
１００ レチクル
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体の製造工程内において、ステッパーで使用されるフォトマスクであるレチクルを一枚毎に格納するためのレチクルケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程内において使用されるレチクルケースは、一般に、ケース本体と、ケース本体に上方から着脱自在に被せられる蓋体と、ケース本体と蓋体との間の隙間を全周にわたってシールするシール部材と、蓋体がケース本体に被せられた状態を保持するための解除自在なロック部材とを備えている。そして、格納されているレチクルを取り出す際には、ロック部材によるロックを解除してから、ロボットハンド等で蓋体を上方に引っ張りあげてケース本体から引き剥がす（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００４−１７３２７３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１に記載されたレチクルケース等においては、弾力性のある材料からなるシール部材がケース本体と蓋体との間の隙間に挟み付けられていることにより、外気に含まれる異物や化学物質等がレチクルケース内に侵入しない優れた性能を得ることができる。
【０００４】
しかし、そのようなシール部材が設けられていることにより、レチクルを取り出すために蓋体が上方に引っ張りあげられた際に、弾性変形させられているシール部材の圧接力により蓋体がケース本体からスムーズに引き剥がされない場合がある。具体的には、ケース本体から蓋体が離れる際に、ケース本体が蓋体と共に一度持ち上げられてから落下する等の現象により衝撃が発生する場合がある。そして、そのような衝撃が発生すると、レチクルに傷が付くおそれがあるだけでなく、レチクルケース内で発生するゴミ等がレチクルに悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００５】
本発明は、ケース本体と蓋体との間の隙間が弾力性のあるシール部材により全周にわたってシールされていても、衝撃等を伴うことなく蓋体をケース本体からスムーズに取り外して開放することができるレチクルケースを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明のレチクルケースは、半導体の製造工程内において一枚のレチクルを格納するためのレチクルケースであって、レチクルが載置されるレチクル載置部材が配置されたケース本体と、レチクル載置部材に載置された状態のレチクルを上方から押さえるためのレチクル押さえ部材が配置されてケース本体に上方から着脱自在に被せられる蓋体と、蓋体がケース本体に被せられた状態の時にケース本体と蓋体との間の隙間を全周にわたってシールする弾力性のある材料からなるシール部材と蓋体がケース本体に被せられた状態を保持するための解除自在なロック部材と、ロック部材が解除状態にされた時に蓋体をケース本体から押し上げるようにケース本体と蓋体との間に配置されたケース開放ばねと、が設けられているものである。
【０００７】
なお、ケース開放ばねが蓋体に対し固定的に取り付けられていてもよく、ケース開放ばねの固定端に、蓋体の裏面部から突出形成されたピンが圧入される固定用孔が穿設されていてもよい。また、ケース本体に、ケース開放ばねの作用端が当接するばね受け部材が立設されていてもよい。
【０００８】
そして、ケース開放ばねが板ばねであって、二つのケース開放ばねが固定端を共有して一体に形成されていてもよく、その場合に、蓋体が矩形状に形成されると共に、一体に形成された二つのケース開放ばねが二組設けられて、そのうちの一組のケース開放ばねが蓋体の一辺に沿って配置され、蓋体の反対側の辺に沿って他の一組の板ばねが配置されていてもよい。なお、ケース開放ばねが、導電性を有するプラスチック材で形成されていてもよく、具体的には、導電性材料が混練された高分子材料で形成されていてもよい。
【０００９】
また、本発明のレチクルケースにおいては、ロック部材が、水平方向にスライド可能に蓋体に取り付けられてケース本体に蓋体をロックするロック片と、ケース本体に対して蓋体をロックする方向にロック片を付勢するコイルスプリングからなるロックばねとを有していて、ロックばねが蓋体の外壁面に垂直の向きに取り付けられていてもよい。
【００１０】
従来は、ロックばねが板バネで形成されてその端部が蓋体の外壁面に取り付けられていたため、ロックばねの付勢力の反力が蓋体の外壁部を歪（いびつ）に変形させて、シール部材の圧接状態が部分的に不完全になり、シール部に漏れが発生するおそれがあった。しかし、このように構成することにより、蓋体の外壁部が歪に変形せず、シール部材による気密シールが破綻をきたすことなく保持されるレチクルケースを提供することができる。なお、ロック片が、蓋体に回動可能に取り付けられたアームに取り付けられていて、ロックばねがアームを付勢していてもよい。
【００１１】
また、本発明のレチクルケースにおいては、レチクル押さえ部材が複数設けられて、矩形状に形成されたレチクルの４辺のうちの３辺に対し斜め上方から当接するように蓋体に取り付けられ、レチクルの他の一辺に対し側方から当接するレチクルストッパがケース本体から上方に突出して設けられていてもよい。
【００１２】
従来のレチクルケースにおいては、レチクル押さえ部材がレチクルの４辺全てに対して斜め上方から当接するように形成されていたので、レチクルケースを所定の大きさに小型化するのが困難であったが、このように構成することにより、レチクルケースの内部空間を有効に利用して、レチクルケースを所定の大きさに小型化したレチクルケースを提供することができる。なお、レチクルストッパが、非導電性のプラスチック材で形成されているとよい。
【００１３】
また、本発明のレチクルケースにおいては、少なくともケース本体と蓋体とが導電性を有するプラスチック材で形成され、レチクルに接触する部材が全て非導電性のプラスチック材で形成されていてもよく、レチクル載置部材が、導電性を有するプラスチック材によりケース本体と一体成形されてケース本体から上方に突出する突起部と、非導電性のプラスチック材で形成されて突起部の少なくとも頂部に被覆されたキャップ状部材とを有していてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ロック部材が解除状態にされた時に蓋体をケース本体から押し上げるようにケース本体と蓋体との間にケース開放ばねを配置したことにより、ケース本体と蓋体との間の隙間が弾力性のあるシール部材により全周にわたってシールされていても、衝撃等を伴うことなく蓋体をケース本体からスムーズに取り外して開放することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図２は、半導体の製造工程内において、ステッパーで使用されるフォトマスクであるレチクル１００を一枚毎に格納するためのレチクルケースの外観斜視図である。レチクル１００は、破線で図示されているケース本体１と、そのケース本体１に対して上方から着脱自在に被せられる蓋体２とで囲まれた空間内に格納される。レチクル１００は、例えば一辺が６インチ（１５．２４ｃｍ）の正方形状であり、その厚みは例えば１／４インチ（６．３５ｍｍ）である。
【００１６】
３は、蓋体２がケース本体１に被せられた状態を保持するためのロック部材であり、矢印Ａで示されるようにロック部材３を外方に引き出すことにより、蓋体２とケース本体１とのロックが解除された状態になる。４は、レチクルケースの内外を連通させるように蓋体２の前面側に取り付けられた２個の呼吸弁である。ロック部材３と呼吸弁４についてのさらに詳細な説明は後述する。
【００１７】
蓋体２の内壁部には、レチクル１００に悪影響を及ぼす汚染ガスをレチクルケース内で吸収するための少なくとも一つのケミカルアブソーバ５が取り付けられている。ケミカルアブソーバ５は、例えば気体は通過するが固形粒子等は通過しない多孔質の膜状フィルタ（メンブレンフィルタ）により化学吸着剤が囲繞されてその内部に封止されている。
【００１８】
６は、図示されていないロボットハンドを係合させるためのトップフランジであり、蓋体２の上面から上方に隙間をあけて突出した状態に、蓋体２に固定的に取り付けられている。７は、ＲＦＩＤタグ（無線タグ）を取り付けるための凹部であり、蓋体２の外側面に凹んで形成されている。
【００１９】
図３はレチクルケースの分解斜視図であり、レチクル１００の図示は省略されている。図４は、レチクルケース内における各部材の配置状態を略示する平面図であり、ケース本体１に設けられている部材は太い破線で図示され、蓋体２に設けられている部材は細い破線で図示されている。図５と図６は各々、図４に示されるＶ−Ｖ断面図であり、図５はレチクルケースが閉じた状態、図６はレチクルケースが開いた状態を示している。ケース本体１と蓋体２とはヒンジ等によって連結されておらず、蓋体２はレチクル１００の面に対して垂直方向に着脱される。
【００２０】
図４に示されるように、ケース本体１と蓋体２は各々、導電性のあるプラスチック材により正方形に近い矩形状に形成されている。具体的には、例えばＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＢＴ（ポリブチレテレフタレート）又はＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等のような熱可塑性高分子材料にカーボンファイバ等のような導電性フィラー又はカーボンナノチューブ等のような導電性ナノチューブが混練された材料で形成されている。
【００２１】
そして、蓋体２がケース本体１に被せられた状態の時にケース本体１と蓋体２との間の隙間を全周にわたってシールするための例えばポリオレフィンエラストマー等のような弾力性のある材料からなるシール部材８が、ケース本体１と蓋体２との隙間に沿って継ぎ目なくに配置されている。
【００２２】
図５に示されるように、シール部材８はケース本体１の外縁部の全周に形成された取り付け溝内に嵌め込まれている。そして、側方に向けて突出する状態にシール部材８に形成されたリップ状部分の先端が、蓋体２の開口部の内周面に圧接して弾性変形した状態になることで、ケース本体１と蓋体２との間の隙間が気密にシールされて、レチクルケース内へのゴミや汚染ガス等の侵入が阻止される。シール部材８が圧接される蓋体２の開口部の内周面は、開口端側へ次第に広がる斜面状に形成されている。したがって、ケース本体１に対する蓋体２の被さり具合が浅くなるにしたがって、シール部材８の圧接力（シール力）が弱まる。
【００２３】
ロック部材３は、図４に示されるように蓋体２の前面（図４において右側の面）と後面（図４において左側の面）の各外壁部の内側に各々二組ずつ配置されている。各ロック部材３は、図７に示されるように、ケース本体１の底面に形成されたロック片係合凹部１１に出入りするように水平方向にスライド可能に設けられたロック片３Ａを備えている。ロック片３Ａには、図示されていない外部のロック解除アームを係合させるための孔が形成されている。
【００２４】
ロック片３Ａは、支軸３Ｄを中心に回動自在に蓋体２に取り付けられたアーム３Ｂの先端に設けられている。また、ロック片３Ａをロック片係合凹部１１内に押し込む状態に常に付勢するための圧縮コイルスプリングからなるロックばね３Ｃが、蓋体２の外壁の内面とアーム３Ｂとの間に圧縮された状態に配置されて、アーム３Ｂを付勢している。
【００２５】
ロックばね３Ｃは蓋体２の外壁面に垂直の向きに取り付けられて、アーム３Ｂを蓋体２の外壁面に対して垂直方向に付勢している。その結果、ロックばね３Ｃから蓋体２に加わる力が蓋体２の外壁面に対して垂直方向に作用するので、蓋体２が歪（いびつ）に変形せず、シール部材８による気密シールが破綻をきたすことなく保持される。
【００２６】
ロック片係合凹部１１は、ケース本体１の底面に形成されていて、図７に示されるようにロック片３Ａがロック片係合凹部１１内に係合していると、図５にも明示されるように、蓋体２をケース本体１から外すことができないロック状態になる。そして、図８に示されるように、外部のロック解除アームで、ロック片３Ａをロックばね３Ｃの付勢力に抗して矢印Ａで示されるように外方に引っ張ってロック片係合凹部１１内から引き出された状態にすると、ロック状態が解除されて、蓋体２をケース本体１から外してレチクルケースを開放状態にすることができる。
【００２７】
図３と図４に戻って、１２は、レチクル１００が載置される４個のレチクル載置部材であり、レチクル１００の四隅の内側部分が載せられる位置に配置されている。なお、レチクル載置部材１２はできるだけ小さな面積でレチクル１００を支持するように構成するのが望ましい。
【００２８】
各レチクル載置部材１２は、図９に拡大図示されるように、導電性を有するプラスチック材によりケース本体１と一体成形されてケース本体１から上方に突出する突起部１２Ａに、例えばＰＥＥ（ポリエチレンエラストマー）等のような弾力性を有する非導電性の高分子材料製のキャップ状部材１２Ｂが被せられた構成になっている。なお、キャップ状部材１２Ｂは、少なくともレチクル１００と接触するレチクル載置部材１２の頂部に被覆されていればよい。
【００２９】
図３及び図４に示される１３は、４個のレチクル載置部材１２に載置された状態のレチクル１００を上方から押さえるための６個のレチクル押さえ部材であり、ばね性を有する例えばＰＥＥ等のような非導電性のプラスチック材（高分子材料）により形成されている。レチクル押さえ部材１３は、図４に示されるように、レチクル１００の前縁と左右両縁の各々に当接する位置に２個ずつ互いの間隔をあけて配置されている。
【００３０】
各レチクル押さえ部材１３は、図５に示されるように、蓋体２の内面に凹んで形成された孔に両端が嵌め込み固定されていて、側方から見て略４５°の角度に形成された斜面部分が、レチクル１００の縁部に斜め外方（斜め上方）から板ばね状に弾力的に当接する状態に取り付けられている。それによって、レチクルケース内におけるレチクル１００の位置が背面側を除いて規制されている。
【００３１】
再び、図３と図４に戻って、１４は、レチクル１００の４辺のうちレチクル押さえ部材１３が当接しない辺に対して側方から当接してレチクル１００の位置決めをする（言い換えると、４個のレチクル載置部材１２に載置された状態のレチクル１００の後面側の辺に対し後方から当接する）レチクルストッパであり、非導電性のプラスチック材（高分子材料）により形成されて、ケース本体１から上方に突出する状態にケース本体１にねじ止め固定されている。なお、レチクル１００に対するレチクルストッパ１４の当接状態は図５等にも明示されている。
【００３２】
このようにして、蓋体２に取り付けられた弾力性のあるレチクル押さえ部材１３をレチクル１００の３辺に斜め外方から当接させ、ケース本体１から立設されたレチクルストッパ１４をレチクル１００の他の一辺に当接させる構成を採ることで、レチクル１００をレチクルケース内に所定位置に安定した状態に固定することができ、レチクルケースの内部空間を有効に用いてレチクルケースを所定の大きさに小型化することができる。
【００３３】
１５は、ロック部材３が図８に示されるロック解除状態にされた時に、蓋体２をケース本体１から押し上げるようにケース本体１と蓋体２との間に配置されたケース開放ばねである。
【００３４】
ケース開放ばね１５は、導電性を有するプラスチック材で形成されている。具体的には、例えばＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等のようなばね性を有する高分子材料に導電性フィラー又は導電性フィラー等のような導電性材料を混練して形成されている。ただし、他の材料で形成してもよい。
【００３５】
この実施の形態のケース開放ばね１５は板ばねであり、図１０に拡大図示されるように、二つのケース開放ばね１５がその境界部分で固定端を共有する状態に一体成形されて、その固定端部分に２個の固定用孔１５Ａが穿設されている。各ケース開放ばね１５の他端側は作用端であり、後述するばね受け部材１７のばね受け面１７Ａに当接する当接面１５Ｂが作用端部分に形成されている。当接面１５Ｂは、ばね受け面１７Ａに面する向きの平板状に形成されている。
【００３６】
ばね受け部材１７は、図３及び図４に示されるように、ケース本体１の左右両辺（図４における上側の辺と下側の辺）の内側位置に互いの間隔を均等に離して２個ずつ合計４個がケース本体１の上面に立設されている。そのようなばね受け部材１７はケース本体１にねじ止め固定されていて、その頂面が、ケース開放ばね１５の当接面１５Ｂと当接するほぼ平らなばね受け面１７Ａになっている。
【００３７】
また、ケース開放ばね１５は、前述のように２個ずつ一体に形成されたものが二組（合計４個）設けられて、そのうちの一組のケース開放ばね１５が蓋体２の右辺に沿って配置され、蓋体２の左辺に沿って他の一組のケース開放ばね１５が配置されている。その結果、ケース開放ばね１５とばね受け部材１７を、レチクルケース内のレチクル１００と干渉しない空間を有効に利用して配置し、ケース本体１と蓋体２との間に開放力を均等に作用させることができる。
【００３８】
図５に示されるように、ケース開放ばね１５は、蓋体２の裏面部から突出形成されたピンが固定用孔１５Ａにきつく圧入されることにより蓋体２に固定されている。ばね受け部材１７のばね受け面１７Ａはレチクル１００の表面（上面）より上方に位置している。そして、ケース本体１と蓋体２とがロック部材３でロックされた状態では、各ケース開放ばね１５の当接面１５Ｂが各々ばね受け部材１７のばね受け面１７Ａに当接してケース開放ばね１５が弾性変形し、それによってケース開放ばね１５から発生する付勢力が、蓋体２をケース本体１から押し上げて開く状態に作用している。その付勢力は、全体で例えば０．２〜１．２ｋｇ程度の範囲であるとよい。
【００３９】
そして、図６に示されるように、蓋体２がケース本体１から離れた状態では、ケース開放ばね１５の当接面１５Ｂがばね受け部材１７のばね受け面１７Ａから離れて、ケース開放ばね１５が弾性変形していない元の形状に戻っている。なお、この状態においては、全てのレチクル押さえ部材１３がレチクル１００から離れる。
【００４０】
このように構成されたレチクルケースにおいては、図５に示されるようにケース本体１と蓋体２とがロック部材３のロック片３Ａでロックされた状態から、図１に示されるように、ロック片３Ａがロック片係合凹部１１内から矢印Ａで示されるように外方に引き出されてロックが解除されると、ケース本体１と蓋体２との間に作用しているケース開放ばね１５の付勢力により、蓋体２がケース本体１に対して持ち上げられ、その結果、ケース本体１と蓋体２との間の隙間がシール部材８でシールされない状態になる。又は、シール部材８のシール力が非常に弱い状態になる。
【００４１】
このようにして、ケース本体１と蓋体２との間の隙間が弾力性のあるシール部材８により全周にわたってシールされた構成を採っていても、衝撃等を伴うことなく蓋体２をケース本体１からスムーズに取り外して開くことができ、レチクル１００に悪影響を及ぼすことなくレチクルケースを開放状態にすることができる。
【００４２】
レチクルケースの内外を連通させる呼吸弁４には、図１や図５等に示されるように、気体は通過するが例えば０．１μｍ以上の大きさの固形粒子は通過しないメンブレンフィルタ４Ａが内蔵されていて、蓋体２内においてレチクル１００の表面に沿う方向に開口している。その結果、ケース本体１に蓋体２がロックされた状態において、呼吸弁４を介して清浄な外気がレチクル１００の表面に与えられる。
【００４３】
なお、この実施の形態のレチクルケースにおいては、レチクル１００と接触するキャップ状部材１２Ｂ、レチクル押さえ部材１３及びばね受け部材１７は非導電性のプラスチック材により形成されて、レチクル１００と接触しないものは、ケース本体１及び蓋体２を初め主要な部品が導電性を有するプラスチック材で形成されている。それによって、ケース本体１と蓋体２等が帯電し難くなるので、外部環境からの不純物粒子等を引き付けなくなってレチクル１００が汚染され難くなり、また、レチクルケースの表面積の大部分が導電性を有することにより、万一非導電部分に電荷が付与された場合でも速やかなリークにより実質的に帯電しない等の効果を得ることができる。そして、レチクル１００はケース本体１や蓋体２等と電気的に絶縁されているので、外部から電気的な悪影響を受け難い。
【００４４】
なお、ケース本体１及び蓋体２等を構成するプラスチック材として、導電性カーボン入りのＰＣ（ポリカーボネート）を用いると、透明性は得られないが、汚染ガスの発生が非常に少なくなる効果がある。
【００４５】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、例えばケース開放ばね１５の形状及び配置等は本明細書に記載していない各種の態様を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの、ロックが解除された瞬間の状態を示す側面断面図である。
【図２】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの外観斜視図である。
【図３】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの分解斜視図である。
【図４】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの各部材の配置関係を示す平面略示図である。
【図５】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの、ケース本体に蓋体がロックされた状態の側面断面図（図４におけるＶ−Ｖ断面図）である。
【図６】本発明に係る実施の形態におけるレチクルケースの、ケース本体から蓋体が外された状態の側面断面図である。
【図７】本発明に係る実施の形態におけるロック部材の背面断面図である。
【図８】本発明に係る実施の形態におけるロック部材のロックが解除された状態の背面断面図である。
【図９】本発明に係る実施の形態におけるレチクル載置部材単体の側面断面図である。
【図１０】本発明に係る実施の形態におけるケース開放ばねの単体斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１ ケース本体
２ 蓋体
３ ロック部材
３Ａ ロック片
３Ｂ アーム
３Ｃ ロックばね
８ シール部材
１１ ロック片係合凹部
１２ レチクル載置部材
１２Ａ 突起部
１２Ｂ キャップ状部材
１３ レチクル押さえ部材
１４ レチクルストッパ
１５ ケース開放ばね
１５Ａ 固定用孔
１５Ｂ 当接面
１７ ばね受け部材
１７Ａ ばね受け面
１００ レチクル
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体の製造工程内において一枚のレチクルを格納するためのレチクルケースであって、
上記レチクルが載置されるレチクル載置部材が配置されたケース本体と、
上記レチクル載置部材に載置された状態の上記レチクルを上方から押さえるためのレチクル押さえ部材が配置されて上記ケース本体に上方から着脱自在に被せられる蓋体と、
上記蓋体が上記ケース本体に被せられた状態の時に上記ケース本体と上記蓋体との間の隙間を全周にわたってシールする弾力性のある材料からなるシール部材と
上記蓋体が上記ケース本体に被せられた状態を保持するための解除自在なロック部材と、
上記ロック部材が解除状態にされた時に上記蓋体を上記ケース本体から押し上げるように上記ケース本体と上記蓋体との間に配置されたケース開放ばねと、
が設けられていることを特徴とするレチクルケース。
【請求項２】
上記ケース開放ばねが上記蓋体に対し固定的に取り付けられている請求項１記載のレチクルケース。
【請求項３】
上記ケース開放ばねの固定端に、上記蓋体の裏面部から突出形成されたピンが圧入される固定用孔が穿設されている請求項２記載のレチクルケース。
【請求項４】
上記ケース本体に、上記ケース開放ばねの作用端が当接するばね受け部材が立設されている請求項２記載のレチクルケース。
【請求項５】
上記ケース開放ばねが板ばねであって、二つのケース開放ばねが固定端を共有して一体に形成されている請求項１ないし４のいずれかの項に記載のレチクルケース。
【請求項６】
上記蓋体が矩形状に形成されると共に、上記の一体に形成された二つのケース開放ばねが二組設けられて、そのうちの一組のケース開放ばねが上記蓋体の一辺に沿って配置され、上記蓋体の反対側の辺に沿って他の一組の板ばねが配置されている請求項５記載のレチクルケース。
【請求項７】
上記ケース開放ばねが、導電性を有するプラスチック材で形成されている請求項１ないし６のいずれかの項に記載のレチクルケース。
【請求項８】
上記ケース開放ばねが、導電性材料が混練された高分子材料で形成されている請求項７記載のレチクルケース。
【請求項９】
上記ロック部材が、水平方向にスライド可能に上記蓋体に取り付けられて上記ケース本体に対して上記蓋体をロックするロック片と、上記ケース本体に上記蓋体をロックする方向に上記ロック片を付勢するコイルスプリングからなるロックばねとを有していて、上記ロックばねが上記蓋体の外壁面に垂直の向きに取り付けられている請求項１記載のレチクルケース。
【請求項１０】
上記ロック片が、上記蓋体に回動可能に取り付けられたアームに取り付けられていて、上記ロックばねが上記アームを付勢している請求項９記載のレチクルケース。
【請求項１１】
上記レチクル押さえ部材が複数設けられて、矩形状に形成された上記レチクルの４辺のうちの３辺に対し斜め上方から当接するように上記蓋体に取り付けられ、上記レチクルの他の一辺に対し側方から当接するレチクルストッパが上記ケース本体から上方に突出して設けられている請求項１記載のレチクルケース。
【請求項１２】
上記レチクルストッパが、非導電性のプラスチック材で形成されている請求項１１記載のレチクルケース。
【請求項１３】
少なくとも上記ケース本体と上記蓋体とが導電性を有するプラスチック材で形成され、上記レチクルに接触する部材が全て非導電性のプラスチック材で形成されている請求項１ないし１２のいずれかの項に記載のレチクルケース。
【請求項１４】
上記レチクル載置部材が、導電性を有するプラスチック材により上記ケース本体と一体成形されて上記ケース本体から上方に突出する突起部と、非導電性のプラスチック材で形成されて上記突起部の少なくとも頂部に被覆されたキャップ状部材とを有している請求項１３記載のレチクルケース。
【請求項１】
半導体の製造工程内において一枚のレチクルを格納するためのレチクルケースであって、
上記レチクルが載置されるレチクル載置部材が配置されたケース本体と、
上記レチクル載置部材に載置された状態の上記レチクルを上方から押さえるためのレチクル押さえ部材が配置されて上記ケース本体に上方から着脱自在に被せられる蓋体と、
上記蓋体が上記ケース本体に被せられた状態の時に上記ケース本体と上記蓋体との間の隙間を全周にわたってシールする弾力性のある材料からなるシール部材と
上記蓋体が上記ケース本体に被せられた状態を保持するための解除自在なロック部材と、
上記ロック部材が解除状態にされた時に上記蓋体を上記ケース本体から押し上げるように上記ケース本体と上記蓋体との間に配置されたケース開放ばねと、
が設けられていることを特徴とするレチクルケース。
【請求項２】
上記ケース開放ばねが上記蓋体に対し固定的に取り付けられている請求項１記載のレチクルケース。
【請求項３】
上記ケース開放ばねの固定端に、上記蓋体の裏面部から突出形成されたピンが圧入される固定用孔が穿設されている請求項２記載のレチクルケース。
【請求項４】
上記ケース本体に、上記ケース開放ばねの作用端が当接するばね受け部材が立設されている請求項２記載のレチクルケース。
【請求項５】
上記ケース開放ばねが板ばねであって、二つのケース開放ばねが固定端を共有して一体に形成されている請求項１ないし４のいずれかの項に記載のレチクルケース。
【請求項６】
上記蓋体が矩形状に形成されると共に、上記の一体に形成された二つのケース開放ばねが二組設けられて、そのうちの一組のケース開放ばねが上記蓋体の一辺に沿って配置され、上記蓋体の反対側の辺に沿って他の一組の板ばねが配置されている請求項５記載のレチクルケース。
【請求項７】
上記ケース開放ばねが、導電性を有するプラスチック材で形成されている請求項１ないし６のいずれかの項に記載のレチクルケース。
【請求項８】
上記ケース開放ばねが、導電性材料が混練された高分子材料で形成されている請求項７記載のレチクルケース。
【請求項９】
上記ロック部材が、水平方向にスライド可能に上記蓋体に取り付けられて上記ケース本体に対して上記蓋体をロックするロック片と、上記ケース本体に上記蓋体をロックする方向に上記ロック片を付勢するコイルスプリングからなるロックばねとを有していて、上記ロックばねが上記蓋体の外壁面に垂直の向きに取り付けられている請求項１記載のレチクルケース。
【請求項１０】
上記ロック片が、上記蓋体に回動可能に取り付けられたアームに取り付けられていて、上記ロックばねが上記アームを付勢している請求項９記載のレチクルケース。
【請求項１１】
上記レチクル押さえ部材が複数設けられて、矩形状に形成された上記レチクルの４辺のうちの３辺に対し斜め上方から当接するように上記蓋体に取り付けられ、上記レチクルの他の一辺に対し側方から当接するレチクルストッパが上記ケース本体から上方に突出して設けられている請求項１記載のレチクルケース。
【請求項１２】
上記レチクルストッパが、非導電性のプラスチック材で形成されている請求項１１記載のレチクルケース。
【請求項１３】
少なくとも上記ケース本体と上記蓋体とが導電性を有するプラスチック材で形成され、上記レチクルに接触する部材が全て非導電性のプラスチック材で形成されている請求項１ないし１２のいずれかの項に記載のレチクルケース。
【請求項１４】
上記レチクル載置部材が、導電性を有するプラスチック材により上記ケース本体と一体成形されて上記ケース本体から上方に突出する突起部と、非導電性のプラスチック材で形成されて上記突起部の少なくとも頂部に被覆されたキャップ状部材とを有している請求項１３記載のレチクルケース。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００８−２６５７６１（Ｐ２００８−２６５７６１Ａ）
【公開日】平成２０年１１月６日（２００８．１１．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１０６６９０（Ｐ２００７−１０６６９０）
【出願日】平成１９年４月１６日（２００７．４．１６）
【出願人】（０００１４０８９０）ミライアル株式会社 (74)
【出願人】（０００２３４１６６）伯東株式会社 (135)
【出願人】（５０６２２４２１８）アドハンド株式会社 (6)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１１月６日（２００８．１１．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年４月１６日（２００７．４．１６）
【出願人】（０００１４０８９０）ミライアル株式会社 (74)
【出願人】（０００２３４１６６）伯東株式会社 (135)
【出願人】（５０６２２４２１８）アドハンド株式会社 (6)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]