【課題】 本発明は、剛性である矩形状（四角形状）の大型薄板ガラス基板を、貨物等の輸送時において、損傷することなく安全に輸送することができる輸送用架台装置の提供を目的とする。
【解決手段】 本発明は、大型薄板ガラス基板を湾曲させて水平に多段に積層できるインナーパレット１０と、上部枠体２９と下部枠体３０を複数の防振素子２３のみで当接されてなる防振パレット２０とからなり、防振パレット２０の上部枠体２９の上面に形成された突起からなる嵌合用突起部２４と載置されるインナーパレット１０の下面に形成された嵌合用枠部１３との嵌め合わせにより、上記の課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】レンズ基材を装着するときに、レンズ基材のレンズ光学面を傷つけるおそれのない作業性に優れたレンズ保持用ラックおよびレンズ製造方法を提供する。
【解決手段】レンズ保持用ラック１は、レンズ基材をレンズ装着位置に位置規制する下方保持部材１０、側方回動保持部材２０および側方固定保持部材３０と、側方回動保持部材を押圧可能な付勢部材２２と、を有するレンズ保持ユニットを備える。側方回動保持部材２０は、レンズ基材を保持しない状態では、付勢部材２２から離間することによりその付勢力を受けることなく、自身の重量のバランスによりレンズ装着位置から外れた待機位置に退避し、レンズ基材を保持する状態では、付勢部材２２に接触することによりその付勢力を受けてレンズ基材の外周部に接触する。 （もっと読む）

【課題】チャンバー内の雰囲気の変動を抑えつつワークを搬送可能であって構成が簡素な搬送ボックスおよび搬送システムを提供すること。
【解決手段】ワークＷに対して処理を行う複数の処理システム２００における第１処理システム２２０から第２処理システム２３０へワークＷを搬送するために使用される搬送ボックス１であって、ワークＷを内部に収容する収容室４と、収容室４の容積を変化させる容積調整機構と、収容室４を開閉可能且つ気密に封止する封止手段１１と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板収納用トレイが上下に積重された状態でも、トレイの各々にガラス基板２０が収納されているか否かを、トレイの外部から容易に判定できるガラス基板収納用トレイ３０を提供する。
【解決手段】基板サポート部３上にガラス基板２０が積載されているか否かの表示機構で、ａ）支持部２上のバネ６により上昇し、その上部が基板サポート部３上面より突出し、また、積載したガラス基板の重量により、その上部が基板サポート部３上面と同一面まで下降する昇降部材１３と、ｂ）フレーム部に設けた確認窓７とで構成される機構が設けられ、表示機構は、ａ）ガラス基板が積載されている時は確認窓に昇降部材側面１３Ｃを表示し、ｂ）ガラス基板が積載されてない時は該側面を表示しない。 （もっと読む）

【課題】基板収納容器の蓋体を取り除くときに、瞬時に基板収納容器内外の圧力差を無くして、蓋体の開閉を問題なく行うことが可能な基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口部を有し基板を収納する容器本体２と、容器本体２の開口部をガスケット部材によってシール可能に閉鎖する蓋体３と、を有する基板収納容器１であって、基板収納容器１内外の圧力を平衡状態にする圧力調整手段が設けられていることを特徴とする基板収納容器。 （もっと読む）

【課題】様々なサイズの表示パネルを搬送できる搬送トレイを提供する。
【解決手段】表示パネル５０を搬送するために用いられる搬送トレイ１であって、底板１１と前記底板の上面に突出して設けられた複数の突起部３０とを含み、複数の突起部の各々は、下方向に独立して変位可能な上端部３２を備え、複数の突起部のうち、表示パネルが置かれた突起部の上端部は、表示パネルを支持しつつ下方向に変位し、表示パネルが置かれていない突起部の上端部は、表示パネルの周囲に立設した状態で維持されることを特徴とする搬送トレイ。 （もっと読む）

【課題】板ガラスや液晶表示装置等に用いるカラーフィルタ基板を傷、破損から守り、保管、輸送に有効な基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段と、前記支持台上に、前記支持台に載置された前記積重体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第１の蓋体と、前記第１の蓋体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第２の蓋体とを有することを特徴とする基板収納容器。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を所定の載置位置に高精度に位置決めする事が可能なキャリア、およびこれを備えた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】位置決め手段３１は、略Ｌ字状の支持部材３２と、この支持部材３２を回動させる付勢部材３３とを備えている。支持部材３２は、例えば、全体が樹脂によって形成された略Ｌ字型の部材である。この支持部材３２は、回転軸３４によってキャリアフレーム１５に回動自在に軸着されている。また、支持部材３２は、ガラス基板１１の底辺１１ｂ、および側辺１１ｃにそれぞれ当接する。こうした、支持部材３２がガラス基板１１に当接する部分は、円周面を成す形状、例えば、半円形のロール部３２ａ、３２ｂを形成しているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合に、裏面の回路の汚染や損傷を抑制し、リングスペーサを省略して薄い半導体ウェーハの破損を防止できる半導体ウェーハ用治具を提供する。
【解決手段】バックグラインドされた薄い半導体ウェーハＷを搭載する積層可能な治具であって、中空に形成され、半導体ウェーハＷよりも拡径の治具本体１と、治具本体１に形成されて半導体ウェーハＷを支持する複数の弾性支持片１０とを備える。そして、各弾性支持片１０を、治具本体１の内周縁部から上方内側に傾斜しながら伸長する傾斜起立部１１と、傾斜起立部１１の上部に屈曲形成されて半導体ウェーハＷの周縁部を水平に支持する保持部１３とから形成する。半導体ウェーハＷの表裏面に何も接触させないので、例えバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合でも、汚染を嫌う裏面に合紙等が接触することがない。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で安価に製作でき、搬送時の発塵を抑制することができる搬送フレームおよび電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】ベース層材３と、枠層材２と、電子部品を収容する複数の開口１ａを有する位置決め層材１とによりフレーム本体５が構成される。位置決め層材１とベース層材３との間の枠層材２で囲まれた中空部６にばね層材４が装着される。ばね層材４の各開口４ａには、位置決め層材１の開口端との間で電子部品を挟圧する弾性力を付与する小ばね部４ｂがばね層材４と一体的に形成されている。また、ばね層材４の長手方向の一端部には、装着状態で枠層材２の内面に当接して長手方向に沿った弾性力を付与する大ばね部４ｅがばね層材４と一体的に形成されている。本構成では、ばね層材４のみで、全電子部品が一括して位置決め固定される。 （もっと読む）

【課題】外気をウエハーカセット内に導き、カセット内の真空を消去し、気圧を平衡させて開けやすくする入気バルブを具えたウエハーカセットの提供。
【解決手段】入気バルブを具えたウエハーカセットは、カセット及び入気バルブを含む。入気バルブはカセットの外フレーム上に設置し、案内柱、密封蓋、密封ワッシャー及び弾性部品を含む。入気バルブは弾性部品によって弾性予定力が提供されることにより、案内柱を押して密封蓋を外フレームの通孔上に対応させて密封し、更に密封ワッシャーが密封蓋と外フレームの間を押して気密を形成する。カセット内の真空のウエハーカセットを開けたい時には外力で案内柱を押し、密封蓋と外フレームの間に隙間を作り、その時に外気が隙間から通孔を通り、カセットの内部空間に進入するため、カセットが開けやすい。 （もっと読む）

【課題】ガラス板積層体の幅方向に跨るように並列に配列された複数の押えバーによってガラス板積層体をパレット上に保持して梱包するに際し、押えバーによってガラス板積層体に作用させる押付け力の適正化を図ることで、ガラス板積層体の荷崩れを可及的に抑制する。
【解決手段】基台部２ａと、背受け部２ｂとを有するパレット２上に、複数枚のガラス板を縦姿勢で積層し、そのガラス板積層体Ｇの幅方向に跨るように二本の押えバー４，５を上下方向に間隔を置いて並列に配置し、各押えバー４，５の両端部を締付け部材７，８によって背受け部２ｂ側に締付けることにより、ガラス板積層体Ｇをパレット２上に保持したガラス板梱包体１であって、下方の押えバー５によってガラス板積層体Ｇに作用する押付け力が、上方の押えバー４によってガラス板積層体Ｇに作用する押付け力よりも強くなるように構成した。 （もっと読む）

【課題】薄いウエハの周縁部を確実に固定し収納する枚葉式ウエハケースを提供する。
【解決手段】下ケースに適合する上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえ、下ケースおよび上ケースから構成されるウエハケースにおいて、上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえによりウエハ周縁部を押さえ、それ以外のウエハ領域にはウエハケースやウエハ押さえは接触しない。上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえとウエハとの接触部は、ウエハ上面および下面で同一のウエハ内領域である。ウエハ押さえは弾性構造および／または弾性材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】ノギスを使用する現場に配置しておき、埃や振動、湿気といった外部条件からノギスを保護するとともに、取り扱いに便利なノギス収納ケースを提供する。
【解決手段】上面が開放され、背部を支点として開閉自在の蓋を備えたケース本体の内部に、ノギスを支持する支持手段を備えた昇降支持板を配置する。昇降支持板はバネによって上方に付勢するとともに昇降支持板の下降位置であってケース本体内へ収容された状態に係止する係脱自在のロック手段を設け、ロック手段を開放することによって昇降支持板が上昇する。昇降支持板が上昇することによって蓋が開放され、昇降支持板の一部がケース本体の上端から突出し、昇降支持板に支持されたノギスがケース本体から上方に露出する。 （もっと読む）

【課題】ケース本体と蓋体との間の隙間が弾力性のあるシール部材により全周にわたってシールされていても、衝撃等を伴うことなく蓋体をケース本体からスムーズに取り外して開放することができるレチクルケースを提供すること。
【解決手段】ケース本体１と、蓋体２と、解除自在なロック部材３（３Ａ）と、ロック部材３（３Ａ）が解除状態にされた時に蓋体２をケース本体１から押し上げるようにケース本体１と蓋体２との間に配置されたケース開放ばね１５と、が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 パネル等の板状体をより安定して搬送する。
【解決手段】 長方形状の板状体を略鉛直面に沿って保持する板状体搬送具は、板状体の第１の側端部に接触することにより板状体を鉛直面内における第１の方向に関して支持する第１の支持部と、第１の側端部に直交する第２の側端部において板状体に接触することにより、鉛直面内において第１の方向に交差する第２の方向に関して板状体を支持する第２の支持部と、を含むパネル支持部材１６と、張力が作用した状態で板状体の第１の側端部および第２の側端部が直交する角部の対角側に接触することにより、パネル支持部材１６に向かって押し付ける力を板状体に作用させる拘束体２４と、拘束体２４の一端に接続され、拘束体２４の一端に作用する引張力を変化させることにより拘束体２４に作用する張力を調整する張力可変機構２６と、を備える。 （もっと読む）

コンタクトレンズ収納ケースが開示される。ここではコンタクトレンズが蓋を閉めたときに自動的に保存液に浸漬し、そして蓋を開けると自動的に保存液から露出するので、コンタクトレンズを傷付けずに収納でき、そしてコンタクトレンズを装着するときに使用者が容易に指でコンタクトレンズを持つことができる。コンタクトレンズ収納ケースは、円筒状の形状で、本体の両側に形成されていて、コンタクトレンズ又はソフトレンズを収納できる保存液を満たしている収納容器；収納容器の内側に会合されていて、そしてレンズをスライダーの上面に保持している、上下に移動するスライダー；スライダーを上方向に動かす伸縮力を提供する伸縮装置（伸縮装置はスライダーの下面に形成されている）；保存容器を覆う蓋；及びスライダーを押し付けてレンズの離脱を防ぐための押し付け装置（押し付け装置は蓋の内側に会合している）：を備えている。 （もっと読む）

【課題】 蓋体の狭いスペースに施錠機構を設けることができ、しかも、蓋体用の開閉機構の複雑化防止を図ることのできる基板収納容器用蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハを整列収納する正面視略横長の容器本体と、容器本体の開口した正面を開閉する正面視略横長の蓋体３０とを備え、蓋体３０に、容器本体の正面に嵌合された際に施錠する施錠機構４０を内蔵する。そして、施錠機構４０を、蓋体３０に支持され、容器本体の正面に蓋体３０が嵌合された場合に容器本体の正面内周部両側に対向する一対の進退動係止体４１と、容器本体の正面に蓋体３０が嵌合された場合に容器本体の正面内周部両側に進退動係止体４１を進出させてその先端部を干渉接触させる一対のコイルバネ４７とから構成する。横長の蓋体３０に小型の施錠機構４０を横にして配置するので、狭い内蔵スペースに施錠機構４０を適切に取付けることができる。 （もっと読む）

保護ケースは、互いに嵌合される裏蓋（２）とカバー（３）とを含む。ケースは更に、裏蓋内に挿入されて縁部（４）により横方向に保持されるフランジ（６）と、アパーチャ（１１）により穿孔されたプレート形部品を不動化するための弾性変形可能なステーク（７）とを含む。ステークは、フランジの上面に装着され、プレート形部品のアパーチャに挿入される。カバー（３）の下面は更に、ケース閉鎖時にステークを圧迫する突出部を担持し、ステークの外形を増大させてレート形部品のアパーチャ内でステークをロックするようにする。弾性手段（９）はまた、カバー（３）の方向にフランジ（６）を戻すように設けられ、プレート形部品のアパーチャ内にロックされるステーク（７）を保持するようにする。 （もっと読む）