【課題】 ウェハへの汚染が少なく加熱容器のシール性を向上する。
【解決手段】 円筒状の側壁１１０、上壁１２０、底壁１３０からなる気密構造の加熱容器１００と、加熱容器１００内に収納されるウェハＷを保持する基板保持手段５００と、加熱容器１００の上壁１２０を透過してウェハＷを加熱するランプユニット２００とを備える。加熱容器１００の外周に設けられ、加熱容器１００の鉛直軸を中心に回転する円筒状の外部ロータ３００と、加熱容器１００の内周に設けられ、基板保持手段５００を外部ロータ３００と同心に回転させる円筒状の内部ロータ４００と、外部ロータ３００と内部ロータ４００とを加熱容器１００の側壁１１０を介して磁気的に結合して、外部ロータ３００の回転運動を内部ロータ４００に伝達して基板保持手段５００を回転させる磁気結合手段６００と、内部ロータ４００にガスを供給し、そのガスの圧力を利用して内部ロータ４００を浮上支持させるガス軸受１０００とを備える。 （もっと読む）

【課題】テーブルの気体制御回転移動において、気体制御アクチュエータの先端部と移動対象物との間に気体を導入したときの先端部における実効負荷力を向上させることである。
【解決手段】テーブル５０を駆動する気体制御アクチュエータ２００は、案内部２０２に案内されてその軸方向に移動可能な第１可動体２０４と、その先端の曲面座で底面が支持される第２可動体２０６とを含む。案内部２０２の底部には、供給口ＣＰ１から駆動気体圧が導かれる。テーブル５０のタンク５６からは、絞り部５８、軸側伝達気体供給路６０を介して、矩形軸５４の気体受面２０８と第２可動体２０６の先端面２１０との間の隙間に、駆動気体圧より高い伝達気体圧を有する気体が供給される。 （もっと読む）

【課題】
安価でありながら、積載物をロック可能に位置決めできる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂがベースプレート１２ｇに着座していることを検出する検出装置Ｓが設けられているので、かかる検出装置Ｓからの信号により、基盤１０に対してテーブル１３がロックされたか否かを精度良く判別することができる。 （もっと読む）

【課題】 前後方向および回転方向のいずれにも制御対象の位置を制御できるようにするとともに、発塵や発熱がない位置制御機構を提供することである。
【解決手段】 一対のリニアモータＲ１，Ｒ２のそれぞれにエアスライドＳ１，Ｓ２を一体的に設けるとともに、これらエアスライドには、それと一体的に移動する第１連結部材６，７を設け、これら第１連結部材のそれぞれには、第１連結部材に対して回動可能にした第２連結部材１０，１１を互いに対向させて設ける。そして、これら第２連結部材１０，１１の対向部間には、直動形軸受１２，１３を設け、これら一対の第２連結部材は、上記直動形軸受を介して相対移動可能にする一方、上記一対の第２連結部材のいずれか一方の第２連結部材に移動体１４を固定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 緊急時にダイナミックブレーキを働かせたときに大きなモーメントが発生する。
【解決手段】 リニアモータによって移動体を移動するステージ装置であって、緊急時には前記リニアモータが備える少なくとも１つのコイルを含む閉回路を構成してダイナミックブレーキを働かせることによって前記移動体を減速させるステージ装置において、
前記ダイナミックブレーキ時に前記コイルに流れる電流を制限する制限手段を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 荷重を分散して支持し、ＸＹθ方向にテーブルを円滑に移動でき、テーブルに外力が掛かっても、テーブル位置を保持できるアライメント装置を提供する。
【解決手段】 機台部７に配置された駆動機構を介して対象物を搭載するテーブル４を所定の位置に位置決めするアライメント装置において、駆動機構は、リニアガイドを有すると共に並進方向に移動し、かつ、互いに交差するように配置された２つの並進移動装置と、２つの並進移動装置が交差する中心軸を中心に回動自在に支持する回転用軸受２３を有し、回転方向に運動する１つの回転移動装置と、を鉛直方向に積み重ねて設けてあり、２つの並進移動装置は、リニアモータ１Ｌ及び検出手段２並びに制御器３よりなる電動機制御装置を夫々設けてあり、機台７とテーブル４間に２つの並進移動装置と１つの回転移動装置からなる２軸駆動並進回転機構６を２組配設けてある。 （もっと読む）

【課題】 板材を１枚ずつケースに収納する装置において、板材の表面に傷や汚れが付くことを防止し、かつ短いサイクルタイムで収納可能とする。
【解決手段】 板材を起立状態にして取出位置まで搬送する搬送手段20と、取出位置の下方にケース１を保持しておくケース保持手段13、25とを設ける。その上で、板材10の下端面を下側から受ける受け部39を有し、取出位置に有る板材10を受け部39上に保持して該取出位置から取り出し、その後下降してケース１の溝内に該板材10を送り込むガラス挿入ハンド22等から板材移載手段を構成する。そして少なくとも板材10が取出位置からケース１の溝内に入り込むまでの間、この板材10の一表面および他表面に気体を吹き付ける板材保持手段23により、該板材10を非接触で起立状態に保つ。 （もっと読む）

【課題】 基板が大型化しても制御性の劣化を防止し、基板を所望状態で移動することができるステージ装置を提供する。
【解決手段】 ステージ装置ＰＳＴは、基板Ｐを保持する基板ホルダＰＨをＸＹ方向に移動させる第１ステージ１００と、第１ステージ１００とは別に設けられ、第１ステージ１００の移動に伴ってＸＹ方向に移動するとともに、基板ホルダＰＨのＺ方向に作用する力を支持する第２ステージ２００と、第１ステージ１００と基板ホルダＰＨとを、Ｚ方向に関して相対的に移動可能に連結する連結部Ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】 生産性を向上することができ、しかも推力変動を抑えられた磁石ユニットを備えたリニアモータを提供する。
【解決手段】 リニアモータは、磁石ユニットからなる固定子１１を備えている。固定子１１は、第１、第２磁石部材１３、１５を有している。第１、第２磁石部材１３、１５を構成する母材１３Ｂ、１５Ｂは、Ｙ軸方向に延在する第１、第２面１７、１９を有しており、その第１、第２面１７、１９には、Ｎ極又はＳ極に磁化された着磁領域が、Ｙ軸方向に関して複数並んで設けられている。 （もっと読む）

【課題】 調整スペースが不要でかつ調整作業を速やかに行えるステージ装置を提供する。
【解決手段】 ステージ装置１００は、基準面１１ａ、１１ｂと案内面１２ａ、１２ｂを有する定盤１と、基準面１１ａ、１１ｂに対向する面と案内面１２ａ、１２ｂに対向する面を有するスライドテーブル２１を有するＸ軸ステージ２と、スライドテーブル２１を基準面１１ａ、１１ｂ及び案内面１２ａ、１２ｂに沿ってＸ軸方向に移動させるリニアモータ３と、スライドテーブル２１の基準面１１ａ、１１ｂ及び案内面１２ａ、１２ｂに対向する側に設けた複数のエアースライド部材４と、Ｙ軸方向に移動するスライドテーブル５１を有するＹ軸ステージ５を備え、エアースライド部材４はエアーを吹き出すエアーパッド４１ａ〜４１ｈと、これらのエアーパッドを基準面１１ａ、１１ｂ又は案内面１２ａ、１２ｂに向って移動させるエアーシリンダ４３と、連通孔４５を有する。 （もっと読む）

【課題】差動排気シールおよび静圧気体軸受を有する軸受部の軸部材３０とのギャップ変動を抑えて組立調整を容易にする駆動装置を提供する。
【解決手段】差動排気シールおよび静圧気体軸受を有する軸受部の軸部材３０とのギャップ変動を抑えて組立調整を容易にするために、筐体２０の孔２２に挿入された軸部材３０をシールする差動排気シール５０を、孔２２に挿入された略円筒状のハウジング５６内に設ける。このハウジング５６内には、多孔質グラファイトからなる静圧軸受７２、７３を有する軸受部７０が設けられている。 （もっと読む）