【課題】安定した特性のヒューズ素子を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成され、空洞部２０を画成する被覆構造体３０と、空洞部２０に収容されたヒューズ素子４０ａ，４０ｂ，４０ｃと、を含み、被覆構造体３０は、導電層を有し、ヒューズ素子４０ａ，４０ｂ，４０ｃの材質は、導電層の材質と同じである。 （もっと読む）

【課題】半導体チップ内の銅配線が一部消失することを防ぐ。
【解決手段】上層プラグ一本当たりの下層の配線の面積が１００００μｍ^２以上になるような大面積の多層配線を有する半導体装置において、前記多層配線が半導体基板１Ｓの主面においてｎ型拡散層ＮＳを介してｐウエルＰＷに接続される構造を形成せず、前記多層配線をｐ型拡散層ＰＳを介してｐウエルＰＷに接続する構造、前記多層配線をｐ型拡散層ＰＳを介してｎ型拡散層ＮＳに接続する構造、前記多層配線をｎ型拡散層ＮＳを介してｎウエルに接続する構造、または半導体基板１Ｓ上に形成されたＭＩＳＦＥＴのゲート電極に接続する構造を形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上に形成するインダクタのインダクタンスを大きくすること。
【解決手段】半導体基板上に形成された少なくとも１層からなるコイル配線のコイル中央孔に別基板に形成されたコアを挿入する。コアをコイル中央孔に固定した後、別基板は分離する。コアは別基板に接合材を介してコア材（磁性体）の薄板を付着させて、パターニングする。半導体基板上に形成されたコイル中央孔は流動性接着剤が入っていて、コアを挿入した後に流動性接着剤が硬化してコアが固定される。コアが固定された後に接合剤の接着力を低下させて別基板を分離する。コア材はバルクと同じ高透磁率を有するので、非常に大きなインダクタンスを持つインダクタを形成できる。 （もっと読む）

【課題】高出力の高周波信号の影響を抑制することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、電子回路が設けられた主面を有する半導体基板１０と、前記主面の上に絶縁膜２，３，４を介して設けられたパッシブ回路３０と、を備える。そして、前記半導体基板と前記パッシブ回路との間に前記パッシブ回路から絶縁されて設けられ、前記主面に平行な少なくとも１方向に流れる電流を遮断する間隙４５を有した第１の導体層４０と、前記第１の導体層と前記パッシブ回路との間に、前記第１の導体層および前記パッシブ回路から絶縁されて設けられ、前記主面に平行な少なくとも１方向に流れる電流を遮断する間隙５５を有し、前記パッシブ回路から見た前記第１の導体層の間隙を覆う第２の導体層５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上に形成するインダクタのインダクタンスを大きくすること。
【解決手段】半導体基板上に形成された少なくとも１層からなるコイル配線のコイル中央孔に別基板に形成されたコアを挿入する。コアをコイル中央孔に固定した後、別基板は分離する。コアは別基板に接合材を介してコア材（磁性体）の薄板を付着させて、パターニングする。半導体基板上に形成されたコイル中央孔は流動性接着剤が入っていて、コアを挿入した後に流動性接着剤が硬化してコアが固定される。コアが固定された後に接合剤の接着力を低下させて別基板を分離する。コア材はバルクと同じ高透磁率を有するので、非常に大きなインダクタンスを持つインダクタを形成できる。 （もっと読む）

【課題】送信機の変調器のキャリアリークを従来よりも高精度に抑制する。
【解決手段】半導体装置１０において、信号分配部３７は、発振器２６によって生成されて入力部ＩＮ１に入力された高周波信号を第１および第２の信号に分配し、第１および第２の出力部ＯＡ１，ＯＢ１からそれぞれ出力する。変調器３０は、ベースバンド信号を第１の信号で変調して出力する。オフセット調整部９０は、第２の信号と変調器３０の出力から漏洩した第１の信号とを比較することによってベースバンド信号のオフセットを調整する。上記の信号分配部３７は、入力部ＩＮ１と第１の出力部ＯＡ１との間に設けられた第１の容量素子Ｃｃａｐと、第１の出力部ＯＡ１と第２の出力部ＯＢ１との間に設けられた第２の容量素子Ｃｐとを含む。第１の容量素子Ｃｃａｐの静電容量は、第２の容量素子Ｃｐの静電容量よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】微細化されても高精度を維持できるキャパシタを提供する。
【解決手段】キャパシタは、平面上に交互に配列した、直線状で第１の長さを有し第１の方向に延在する第１の電極パターンと、直線状で前記第１の長さより短い第２の長さを有し、前記第１の方向に延在する第２の電極パタ―ンと、前記第１の電極パターンに第１の電圧を、第１のビアプラグを介して供給する第１の配線パタ―ンと、前記第２の電極パターンに第２の電圧を、第２のビアプラグを介して供給する第２の配線パタ―ンと、を備え、前記第１および第２の電極パターンをそれぞれの前記第１の方向で比較した場合、前記第１の電極パターンの第１の端部が、前記第１の端部に対応する前記第２の電極パターンの第２の端部よりも突出しており、前記第１の電極パターンの前記第１の端部に対向する第３の端部が、前記第３の端部に対応する前記第２の電極パターンの第４の端部よりも突出している。 （もっと読む）

【課題】大規模な半導体集積回路であってもノイズ耐性評価が短時間で可能なノイズ耐性評価方法を提供する。
【解決手段】回路ネットリストを作成する第１のステップＳ１１と、能動素子を受動素子回路に置き換えて置換回路ネットリストを作成する第２のステップＳ１２と、トランジスタの制御端子に該当する制御ノードを抽出する第３のステップＳ１３と、ノイズ注入ノードを設定する第４のステップＳ１４と、所定周波数のノイズを設定し、互いに異なる制御ノードとノイズ注入ノード間の経路のインピーダンスを計算する第５のステップＳ１５と、制御ノード、ノイズ注入ノードおよび経路の各組み合わせにおけるインピーダンスのリストを作成する第６のステップＳ１６と、インピーダンスの最小値から半導体集積回路のノイズ耐性を判定する第７のステップＳ１７とを有してなるノイズ耐性評価方法１００とする。 （もっと読む）

【課題】アナログオプション回路を備えた半導体集積回路（Ａ／Ｄ変換）を構成する抵抗を、簡便かつ大面積を専有されることなく作成する製造方法、及びその製造方法により作成されるＡＤ変換回路を提供する。
【解決手段】高電源の電圧と低電源の電圧との間に直列に接続された複数個の抵抗からなるストリング抵抗を備えた基準電圧発生部と、入力アナログ電圧値と前記抵抗間の接続点の分圧電圧値とを比較する電圧比較部とを含むＡ／Ｄ変換回路において、
前記抵抗が有機材料で形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超高周波帯におけるシリコン基板による損失を低減すると共に、貫通配線のインダクタンス成分の影響を小さくした半導体装置を実現できるようにする。
【解決手段】半導体装置は、回路素子１０５が形成された半導体基板１００と、半導体基板１００の主面の上に形成された第１の誘電体層１２１と、第１の誘電体層１２１の上に形成された第２の誘電体層１３１と、第１の誘電体層１２１を貫通し、回路素子１０５と接続された第１の貫通配線１２２と、第２の誘電体層１３１を貫通し、第１の貫通配線１２２と接続された第２の貫通配線１３２とを備えている。第２の貫通配線１３２は、第１の貫通配線１３２よりもインダクタンスが小さい。 （もっと読む）

【課題】半導体装置において、抵抗が増大して変換効率が低下してしまうのを防止する。
【解決手段】半導体装置を、基板２上に形成されたＧａＮ系半導体積層構造３を有する第１トランジスタＱ１と、ＧａＮ系半導体積層構造を有する第２トランジスタＱ２とを備え、第１トランジスタが、複数の第１フィンガ８ＡＸを有する第１ゲート電極８Ａと、複数の第１ドレイン電極９Ａと、複数の第１ソース電極１０Ａとを備え、第２トランジスタが、複数の第２フィンガ８ＢＸを有する第２ゲート電極８Ｂと、複数の第２ドレイン電極９Ｂと、複数の第２ソース電極１０Ｂとを備え、複数の第１ドレイン電極の上方又は下方に接続されたドレインパッド１５と、複数の第２ソース電極の上方又は下方に接続されたソースパッド２５と、複数の第１ソース電極及び複数の第２ドレイン電極に接続された共通パッド３５とを備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの高信頼実装技術を提供。
【解決手段】半導体チップ４は、基板１００と、前記基板の一方の面に形成されたデバイス層８０と、電磁波の輻射により発熱するヒータ配線３０２と、前記デバイス層と電気的に接続される電極１０３とを備えることを特徴とする。半導体チップ４を実装基板に実装する際には、ヒータとしての金属配線膜３０２を発熱させることにより、固着材料を溶かして半導体チップを実装基板と接続させる。 （もっと読む）

【課題】半導体記憶装置の面積を縮小する技術を提供する。
【解決手段】高抵抗付加型ラッチ回路（１２）と、その高抵抗付加型ラッチ回路（１２）に保持されるデータの読み出しと書込みとを制御する選択回路（１３）とを具備する半導体記憶装置（１１）を構成する。その高抵抗付加型ラッチ回路（１２）は、第１駆動トランジスタ（２２）と、第２駆動トランジスタ（２４）と、第１抵抗（１２１）と、第２抵抗（１２３）とを備えることが好ましい。また、その選択回路（１３）は、第１選択トランジスタ（３１）と、第２選択トランジスタ（３２）とを備えることが好ましい。ここにおいて、その第１抵抗（１２１）と第２抵抗（１２３）とは、サイドウォール状の導電性材料（２１）（２３）で形成されるものである。 （もっと読む）

【課題】信号線の上面に微小な凹凸が形成されても、伝送線路の伝送特性が劣化することを抑制できるようにする。
【解決手段】信号線５２２は、多層配線層４００及び再配線層５００の第ａ層（ａ≧２）に形成されている。プレーン配線４４４は多層配線層４００及び再配線層５００の第ｂ層（ｂ＜ａ）に形成されており、平面視で信号線５２２と重なっている。２つのコプレーナ配線５２４は多層配線層４００及び再配線層５００の第ｃ層（ｂ≦ｃ≦ａ）に形成されており、平面視で信号線５２２と平行に延伸しており、かつ信号線５２２を挟んでいる。信号線５２２からプレーン配線４４４までの距離ｈは、信号線５２２からコプレーナ配線５２４までの距離ｗより短い。信号線５２２の上方のうち、信号線５２２からｗと同じ高さの範囲内には、電源線、グランド線、及び他の信号線が位置していない。 （もっと読む）

【課題】トリミング素子からのトリミング時の気化ガスの圧力によりトリミング素子の下部の層間絶縁膜にクラックが入るのを防止する。
【解決手段】層間絶縁膜２上にトリミング素子Ｔを形成する。トリミング素子Ｔの上を層間絶縁膜３ａで被覆する。トリミング素子Ｔの斜め上方領域の層間絶縁膜３ａ上にクラック誘導体Ｇを形成する。トリミング素子Ｔ及びクラック誘導体Ｇはレーザー光の照射領域に配置される。レーザー光を照射すると、トリミング素子Ｔの周辺及びクラック誘導体Ｇの周辺の層間絶縁膜３ａ等に重畳して広く延在する高温領域６が形成され、該高温化した層間絶縁膜３ａ等の剛性が低下する。その結果、トリミング素子Ｔの上辺のコーナー部に気化ガスの圧力がかかりやすくなり、トリミング素子Ｔの下辺のコーナー部にかかる気化ガスの圧力が小さくなるので、トリミング素子Ｔの下側の層間絶縁膜２のクラック５発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】不良箇所を容易に特定し得る半導体装置及びその形成方法並びにその設計方法を提供する。
【解決手段】配線パターン３２ａと、ダミーパターン３２ｂと、一方の端部が配線パターンに電気的に接続され、他方の端部がダミーパターンに電気的に接続されたヒューズ３２ｃとを有している。 （もっと読む）

【課題】素子チップの厚み方向に素子チップを押圧しても曲げ応力が加わり難い構造の素子チップを提供する。
【解決手段】回路基板１３に接着剤１２を介して実装される素子チップ１にかかわる。基板２上にスパイラルインダクターを構成するインダクター配線５と、インダクター配線５に沿ってインダクター配線５の一部を覆う第１樹脂膜６と、第１樹脂膜６に覆われていないインダクター配線５の他の一部と基板２との間に位置する第２樹脂膜７を有する。 （もっと読む）

【課題】低消費電力かつ低占有面積で、パッケージ実装後においてもプログラムを行なうことができるヒューズ素子を備えるヒューズプログラム回路を実現する。
【解決手段】ヒューズプログラム回路（ＦＰＫ１−ＦＰＫｎ）において、ヒューズ素子ＦＳを、多層メタル配線の第３層以上のメタル配線（Ｍ（ｉ））を用いて実現する。各ヒューズプログラム回路において、スキャンフリップフロップ（ＦＳＳＲおよびＰＳＲ）を用いてプログラム情報およびヒューズ選択情報を順次転送して、選択的に、１本ずつヒューズを電気的に切断する。 （もっと読む）

【課題】電源配線と接地配線とを有する半導体装置において、配線の一部における電圧ドロップや、電圧ドロップに伴うマイグレーションの発生を抑制することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】主表面を有する半導体基板ＳＵＢと、主表面に沿うように層状に広がる電源シート状配線ＰＰＷＲと、主表面に沿うように、主表面に交差する方向に関して電源シート状配線と一定の距離を隔てて層状に広がる接地シート状配線ＰＧＮＤと、上記主表面上に形成され、主表面内の一の方向に延在する電源配線ＰＷＲと、主表面上に形成され、一の方向に沿う方向に延在し、電源配線ＰＰＷＲと一定の距離を隔てて形成された接地配線ＧＮＤとを備える。上記電源シート状配線ＰＰＷＲは、電源配線ＰＷＲと電気的に接続されており、接地シート状配線ＰＧＮＤは、接地配線ＧＮＤと電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】容量素子の配置による容量値の差を抑制すること。
【解決手段】第１の方向に延伸する第１配線１２ａと、前記第１配線と絶縁体を介し対向し設けられた第２配線１４ａと、を備える第１容量素子２２と、前記第１配線と電気的に接続され前記第１方向に垂直な第２方向に延伸し設けられた第３配線１６ａと、前記第２配線と電気的に接続され前記第３配線と絶縁体を介し対向し設けられた第４配線１８ａと、を備える第２容量素子２４と、を具備し、前記第１配線、前記第２配線、前記第３配線および前記第４配線は同じ配線層に設けられ、前記第１配線と前記第２配線とが対向する長さと、前記第３配線と前記第４配線とが対向する長さとは等しい半導体装置。 （もっと読む）