【課題】一方の振動が他方に伝わらないように２つの物体を結合する装置を提供する。
【解決手段】この露光装置は、投影光学系（ＰＬ）と基板（Ｐ）との間を液体（５０）で満たし、投影光学系（ＰＬ）と液体（５０）とを介して基板（Ｐ）上にパターン像を投影することによって基板（Ｐ）を露光する露光装置であって、投影光学系（ＰＬ）は、液体（５０）と接する光学部材（６０）を含む第１群（６０）と、その第１群（６０）とは異なる第２群（ＭＰＬ）とを含み、第１群（６０）は第１支持部材に支持され、第２群（ＭＰＬ）は第１支持部材とは異なる第２支持部材に分離して支持されている。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスの対象物に容易にアクセスすることができるメンテナンス装置を提供すること。
【解決手段】基板を露光する露光装置のメンテナンス装置であって、前記露光装置の所定部分にアクセス可能に設けられ、前記所定部分の清浄化を行うクリーニング機構を備える。 （もっと読む）

【課題】投影システムの最終要素と基板間の空間を液体で充填するリソグラフィ投影装置を開示する。
【解決手段】縁密封部材１７が、基板テーブルＷＴ上の基板Ｗまたは他のオブジェクトを少なくとも部分的に囲み、基板の縁部分を撮像または照明する場合の破局的液体損を防止する。 （もっと読む）

【課題】高精度なパターンを形成可能な露光方法を提供する。
【解決手段】本発明の露光方法は、原版のパターンを基板に投影する投影光学系と該基板との間に供給された液体を介して該基板を露光する露光方法であって、前記基板の走査露光を行う工程と、露光光の照射により生成された前記液体の光照射領域を液体回収手段に近づけるように基板ステージを移動させる工程と、前記液体回収手段を用いて前記光照射領域における前記液体を除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 光学素子や原版の表面への付着物を低減することができる露光装置を提供する。
【解決手段】 露光装置の一部を構成する露光装置本体などのユニット（２）が配置された空間に供給口（３）を介して循環された気体を供給する露光装置であって、活性酸素、フリーラジカルなどの酸化促進物質を前記気体に導入する導入手段（２０）が、前記ユニット（２）よりも下流側であって、かつ、前記供給口（３）よりも上流側に配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体の残留等を抑制して、露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、露光光を射出する射出面を有する光学系と、射出面から射出される露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置された第１回収口と、光学系の光軸に対する放射方向において第１回収口の外側に配置され、第１液体を供給する第１液体供給口と、光学系の光軸に対する放射方向において第１液体供給口の外側に配置され、気体を供給する第１給気口とを備え、基板の露光の少なくとも一部において、第１回収口、第１液体供給口、及び第１給気口に基板の表面が対向し、射出面と基板の表面との間の第２液体を介して射出面からの露光光で基板を露光する。 （もっと読む）

【課題】液浸露光装置において、基板ステージ上の段差を可能な限り低減し、液浸領域の分断を抑止する露光装置を提供する。
【解決手段】基板７上に液浸領域２３を形成し、該液浸領域２３を介して基板７の表面に露光光を照射する露光装置１であって、基板７の外周に位置し、着脱可能な撥水部材１３と、該撥水部材１３の外周に位置し、平坦面を有する固定部材２１とを備え、撥水部材１３は、基板７の表面と、固定部材２１の平坦面との高さ差を補正するように、表面が傾斜している。 （もっと読む）

【課題】
投影光学系の光学素子に吸着した有機物を効率的に剥離させる露光装置を提供する。
【解決手段】
光源からの光で原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを透過した光を基板に投影する投影光学系とを備える露光装置において、前記投影光学系の瞳透過率分布を測定する測定手段を有し、前記測定手段により測定された瞳透過率分布に応じて前記照明光学系の有効光源を設定し、該設定された有効光源で前記投影光学系を照射することを特徴とする。
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【課題】リソグラフィ投影装置において、機械的振動による不必要な外乱をもたらすことなく、液体の圧力変動および／または温度変化を最小限に抑えた液体供給システムを提供する。
【解決手段】投影システムＰＳの最終要素と基板との間のリザーバ１０に、入口２１から液体が供給される。オーバーフローが、所与の高さよりも上で液体を除去する。オーバーフローは、入口よりも上に構成され、それによって液体は常に新規補給され、液体の圧力は実質的に一定に保たれる。 （もっと読む）

【課題】移動体が移動する空間の環境を容易に維持可能な環境調整装置を提供する。
【解決手段】移動体２が移動する空間の環境を調整する。移動体の移動に伴って移動し、移動体の表面側に環境調整用気体ＫＡを供給する気体供給部８Ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】基板の近くから液体を効果的に除去し、振動および他の外乱を起こさない装置を提供すること。
【解決手段】不均一な流れを均一にするために、浸漬リソグラフィ投影装置の液体除去システムで、多孔性部材を使用する。多孔性部材の両端の圧力差は、多孔性部材の泡立ち点以下に維持することができ、そのため一相の液体の流れを得ることができる。これに代えて、多孔性部材を、二相流内の不均一を低減するために使用することもできる。 （もっと読む）

【課題】回収した液体から受ける影響を抑えられた液体回収機構を備える液浸露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置ＥＸは、液体を回収する液体回収機構２０を備え、液体回収機構２０のうち、回収された液体に接触する液体接触面の少なくとも一部は、液体に対して耐腐食性を有している。 （もっと読む）

【課題】マスクの帯電の程度をより確実に低減する露光装置を提供する。
【解決手段】本発明の露光装置は、印加される電圧に応じて原版を保持する保持手段を有し、前記保持手段に保持された原版を介して基板を露光する露光装置であって、前記保持手段に対して前記原版を昇降させる昇降手段と、前記保持手段および前記昇降手段の少なくとも一方に設けられ、前記原版の少なくとも一部を接地する接地手段と、前記原版が接地されたことを検出する検出手段と、前記検出手段の出力に応じて前記保持手段に印加される電圧を制御する制御手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】回収した液体から受ける影響を抑えられた液体回収機構を備える液浸露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置ＥＸは、液体を回収する液体回収機構２０を備え、液体回収機構２０のうち、回収された液体に接触する液体接触面の少なくとも一部は、液体に対して耐腐食性を有している。 （もっと読む）

【課題】液浸リソグラフィ装置の屈折率が高い炭化水素を含む液浸流体に適した、流体ハンドリングデバイスを提供する。
【解決手段】流体ハンドリングデバイスは、流体用の空間を囲む表面がある少なくとも１つの本体１２と、流体が自身を通って流れるために表面内に画定された複数の開口１４０と、複数の開口１４０のうち選択された開口１４０を通る流体の流れを選択的に許可又は防止するために複数の開口１４０に対して移動可能な少なくとも１つのバリア１７０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】良好な不純物除去効果を長時間持続させ、高スループットが得られる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置本体３を収容するチャンバ２と、該チャンバ２内の空気を浄化する浄化手段５とを備える露光装置において、チャンバ２内に空気を導入する外気導入口２６の位置を垂直方向で変更可能な可動機構２１を有する外気導入ユニット２０を備える。 （もっと読む）

【課題】液体保持板が着脱可能な同面板を有し、露光品質を維持する液浸露光装置を提供する。
【解決手段】液浸露光装置は、基板４の周りに配置され、凹部９ａと凹部９ａに接続された吸引路１９を有する同面板９と、吸引路１９に接続された減圧手段２１と、基板４の周りにおいて液体１６を保持し、減圧手段２１が吸引路１９を減圧にすると同面板９の凹部９ａに収納及び吸着され、減圧手段２１が吸引路１９の減圧を解除すると凹部９ａから分離可能である液体保持板８と、液体保持板８と凹部９ａの表面９ｃとの間に配置され、減圧手段２１が吸引路１９を減圧にした場合に変形して液体保持板８と表面９ｃとの間の密閉性を高める弾性部材２０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液体回収能力の低下を抑制できる液体回収システムを提供する。
【解決手段】液体回収システムは、液体を介して露光光で基板を露光する液浸露光に用いられる。液体回収システムは、液体を回収するための回収流路と、回収流路に面する第１面、第１面と反対側の第２面、及び第１面と第２面とを連通する複数の孔を有する第１多孔部材と、第２面に面し、第２面の少なくとも一部と接触する第３面、第３面と反対側の第４面、及び複数の開気孔を有する第２多孔部材とを備える。第２多孔部材の平均孔径は、第１多孔部材の平均孔径より小さく、第１多孔部材を介して物体上の液体を回収する。 （もっと読む）

【課題】露光特性の変化を低減させつつ、装置本体内の圧力値を計測できる光源装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】露光装置１１は、内部が真空雰囲気に設定される第１チャンバ１３と、第１チャンバ１３内に配置され、且つ光源装置１２から出力される露光光ＥＬでレチクルＲを照明する照明光学系１５と、第１チャンバ１３内に配置され、且つ所定のパターンの像をウエハＷに投影する投影光学系１７と、第１チャンバ１３内のガスを外部に排気させる真空排気装置１４と、真空排気装置１４の駆動に基づくガスの流動方向における下流側に配置される検出部４４を有し、該検出部４４によって検出される検出情報に基づき第１チャンバ１３内の圧力値を計測する計測装置４３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】
撥液性部材の劣化を抑制して信頼性の高い露光装置を提供する。
【解決手段】
露光装置ＥＸは、マスクＭのパターンを基板Ｐに投影する投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に液体を満たした状態で、マスクＭ及び投影光学系ＰＬを介して基板Ｐを露光する露光装置であって、露光画角を変更する遮光部材ＭＢを備えた照明光学系ＩＬと、基板Ｐを支持するように構成され、基板Ｐの支持領域の周囲に撥液性部材が設けられた基板ステージＰＳＴと、露光画角の周囲のオフセット領域を調整するように遮光部材ＭＢを制御する制御装置ＭＡＩＮＤとを有し、制御装置ＭＡＩＮＤは、同面板Ｄに形成されるオフセット領域を基板Ｐに形成されるオフセット領域よりも小さくする。 （もっと読む）