【課題】能動素子または受動素子が一つの半導体基板に複数個形成されてなる半導体装置およびその製造方法であって、両面電極素子についても絶縁分離と集積化が可能であり、安価に製造することのできる半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板２０が、当該半導体基板２０を貫通する絶縁分離トレンチＴに取り囲まれて、複数のフィールド領域Ｆ１〜Ｆ８に分割されてなり、複数個の能動素子３１〜３３，４１〜４３または受動素子５１，５２が、それぞれ異なるフィールド領域Ｆ１〜Ｆ８に分散して配置されてなり、二個以上の素子が、当該素子に通電するための一組の電極ｄｒ１，ｄｒ２が半導体基板２０の両側の表面Ｓ１，Ｓ２に分散して配置されてなる、両面電極素子４１〜４３，５１，５２である半導体装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】バラスト抵抗の幅を広げることなく、バラスト抵抗の許容電流量を大きくする
【解決手段】バラスト抵抗２００を構成する抵抗２１０の少なくとも一つは、第１抵抗２１２及び第２抵抗２１４を有している。第１抵抗２１２は、保護素子１００内で電流が流れる方向である第１の方向（図１ではＸ方向）に延伸している。第２抵抗２１４は、第１抵抗２１２に並列に接続され、第１の方向に延伸している。そして第２抵抗２１４は、第１抵抗２１２と同一直線上に位置している。 （もっと読む）

【課題】ノイズおよび抵抗バラツキが小さな拡散抵抗の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体基板の表面付近にｐ型拡散層１１４を形成する工程と、拡散抵抗体となるｐ型拡散層１１４の第１領域の表面上に、層間絶縁膜とは異なる絶縁膜であって当該第１領域の表面を保護するカバー膜１２５を形成する工程と、カバー膜１２５を形成する工程の後、カバー膜１２５の前記第１領域に接する第２領域に前記第１領域よりも高い濃度で拡散抵抗体のコンタクト部となるｐ型拡散層１１６を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ＢｉＣＭＯＳプロセスにより製造される半導体装置において、Ｖ−ＮＰＮトランジスタの製造工程を合理化する。また、そのトランジスタのｈＦＥを大きな値に調整する。
【解決手段】Ｎ＋型エミッタ領域１４Ｅの下のＰ型ベース領域７の底部に接触してＮ型ベース幅制御層９が形成されている。Ｎ型ベース幅制御層９が形成されることで、Ｎ＋型エミッタ領域１４Ｅの下のＰ型ベース領域７が局所的に浅くなっている。また、Ｐ型ベース領域７は、Ｐ型ウエル領域６の形成工程を用いて形成し、Ｎ型ベース幅制御層９は、Ｎ型ウエル領域８の形成工程を用いて形成することにより、工程合理化を図ることができる。 （もっと読む）

高保持電圧（ＨＶＯ静電放電（ＥＳＤ）保護回路が、シリコン制御整流器（ＳＣＥ）デバイスと、ＳＣＲデバイスの保持電圧を高める、ＳＣＲデバイスのアノードとカソードとの間の長さ（ＬＡＣ）内に設置された補償領域とを備える。補償領域は、負のフィードバック機構をＳＣＲデバイスに導入することで、ＳＣＲのループゲインに影響を及ぼし、高保持電圧で回生フィードバックに達しうる。
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【課題】ＣＭＯＳ回路側の仕様で不純物領域の深さや濃度が制約を受けるような場合でもｈＦＥの向上を可能とする。
【解決手段】１つのバイポーラトランジスタが、横型の主トランジスタ部と、縦型の補助トランジスタ部とから形成されている。横型の主トランジスタ部は、エミッタ領域３１と、ベース領域１４Ｂの表面側部分とコレクタ側部領域１３Ｂとを電流チャネルとして動作する。縦型の補助トランジスタ部は、エミッタ領域３１と、その底面に接するベース領域１４Ｂの深部側部と、コレクタ深部領域１２Ｂとを電流チャネルとして動作する。 （もっと読む）

【課題】 電源電圧依存性および温度依存性の低い参照電圧発生回路を提供し、もって受信感度の良好な受信回路を実現する。
【解決手段】 受信回路は、ＡＭＩ符号化された一対の信号を増幅する差動増幅回路（１１）と、差動増幅回路の出力と所定の参照電圧とを比較して入力信号の論理レベルを判別する受信データ判定回路（１２）と、前記参照電圧を発生する参照電圧発生回路（１３）とを備え、参照電圧発生回路は電源電圧を基準にした温度依存性の低い参照電圧を発生するように構成した。 （もっと読む）

【課題】MOSトランジスタとバイポーラトランジスタとが混載された半導体装置とその製造方法において、半導体装置の信頼性を高めること。
【解決手段】シリコン基板２０素子分離絶縁膜２４を形成する工程と、シリコン基板２０に低電圧p型MOSトランジスタTR_LVP用のLDD領域４５を形成する工程と、シリコン基板２０に高電圧p型MOSトランジスタTR_HVP用のLDD領域５５をLDD領域４５よりも深く形成するのと同時に、シリコン基板２０にバイポーラトランジスタTR_BIP用の第１のエミッタ領域４６を形成する工程と、各領域４５、４６、５５におけるシリコン基板２０の表層に高融点金属シリサイド層７０を形成する工程とを有する半導体装置の製造方法による。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて更に保護能力を高めた保護素子を含む半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｐ型ウェル２内にはＰ型領域４，Ｎ型領域５ａが、Ｎ型ウェル３内にはＰ型領域７ａ，Ｎ型領域８がそれぞれ形成され、両ウェル２及び３にまたがってＮ型領域６が形成されている。Ｎ型領域５ａはＮ型ウェル３より不純物濃度が高く、Ｎ型領域６，８はそれよりも更に高い。Ｐ型領域７ａはＰ型ウェル２より不純物濃度が高く、Ｐ型領域４はそれよりも更に高い。Ｎ型領域５ａの上層には、不純物濃度がＮ型領域５ａより高く、Ｎ型領域６，８と同程度のＮ型ドープトポリシリコン膜１１がＮ型領域５ａに接触して形成されている。Ｐ型領域７ａの上層には、不純物濃度はＰ型領域７ａより高く、Ｐ型領域４と同程度のＰ型ドープトポリシリコン膜１２がＰ型領域７ａに接触して形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造後に電流増幅率ｈＦＥ特性を変化させることができるバイポーラトランジスタを備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｐ型半導体層１に、Ｎ型拡散層からなるコレクタ３、Ｐ型拡散層からなるベース５、Ｎ電型拡散層からなるエミッタ７が形成されてバイポーラトランジスタが形成されている。そのバイポーラトランジスタはベース５上及びコレクタ３にゲート絶縁膜９を介してゲート電極１１を備えている。コレクタ３にはコレクタ配線１３が接続されている。ベース５にはベース配線１５が接続されている。エミッタ７にはエミッタ配線１７が接続されている。ゲート電極１１にはゲート電極配線１９が接続されている。配線１３，１５，１７，１９は互いに電気的に絶縁されている。 （もっと読む）

【課題】モジュール化された、相互作用しないやり方で、単一の半導体ウェハにともに接近して実装され、十分に分離された、最適化されたトランジスタまたは他のデバイスの任意の集合の作製を可能にする。
【解決手段】
一群の半導体デバイスが、エピタキシャル層を含まない基板に形成される。一実施例では、この一群は、５ＶのＣＭＯＳペア、１２ＶのＣＭＯＳペア、５ＶのＮＰＮ、５ＶのＰＮＰ、いくつかの形状の横型トレンチＭＯＳＦＥＴ、および３０Ｖ横型Ｎ−チャネルＤＭＯＳを含む。これらのデバイスの各々は、横方向かつ縦方向の双方において極めて小型であり、基板の他のすべてのデバイスから十分に分離され得る。 （もっと読む）

【課題】ＥＳＤ耐量の高い半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板表面に設けられた半導体基板よりも不純物濃度が高いＰＷ層２４と、半導体基板表面にＰＷ層２４と接して設けられた半導体基板よりも不純物濃度が高いＮＷ層２３と、ＰＷ層２４内の半導体基板表面に設けられたＰＷ層２４よりも不純物濃度が高いｐ＋ベース層５と、ＮＷ層２３内の半導体基板表面に設けられたＮＷ層よりも不純物濃度が高いｎ＋コレクタ２層と、ｐ＋ベース層５とｎ＋コレクタ層２の間に位置しＰＷ層２４内の半導体基板表面に設けられたＰＷ層２４よりも不純物濃度が高いｎ＋エミッタ層６と、ｎ＋コレクタ層２とＰＷ層２４の間にｎ＋コレクタ層２と接して設けられたｎ＋コレクタ層２より不純物濃度が低くＮＷ層２３より不純物濃度が高いｎ±層１０を有する半導体装置とした。 （もっと読む）

【課題】電流利得のばらつきを低減することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】第１導電型の半導体基体１と、この半導体基体１の表面の一部に形成された、バイポーラトランジスタの第２導電型のコレクタ層２と、このコレクタ層２の一部に形成された、バイポーラトランジスタの第１導電型のベース層６と、このベース層６の一部に形成された、バイポーラトランジスタの第２導電型のエミッタ層７と、このエミッタ層７の直下の領域を除いた部分の半導体基体１に形成された、第１導電型の半導体層９とを含む半導体装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】現在、半導体集積回路で使用されているバイポーラトランジスタとＭＯＳトランジスタは最初に発明された時よりその構造は変わっておりません。構造と原理を根本的に見直し、高速化・低消費電力化・微細化を進展させる。
【解決手段】サブミクロンスケールの微細加工技術を用い、新しい原理と構造のトランジスタによる半導体集積回路を形成する。 （もっと読む）

【課題】寄生容量が小さく、かつ、信号波形の歪み発生を防止または抑制した保護素子をＩＣ内に実現する。
【解決手段】内部回路２と、その保護素子３とを同一半導体基板に有する。保護素子３は、アノード同士が共通接続されて浮遊ノードを形成した２つのダイオードＤ１,Ｄ２を有し、これがウェル・イン・ウェル構造に形成されている。このウェル・イン・ウェル構造は、浮遊ゲートを形成するＰ型ウェルと、Ｐ型ウェルを包含し、一方のダイオードのカソードと同電位のＮ型ウェルと、Ｐ型ウェル内に形成された、他方のダイオードのカソードと同電位の第１のＮ型領域と、を有して構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ＣＭＯＳデバイスのプロセスで、副産物的に作成できる縦型ＰＮＰトランジスタ等のバイポーラトランジスタに有効利用する。
【解決手段】 Ｎ―ＭＯＳトランジスタは、Ｐ型ウエル３２−１にドレイン領域３７、ソース領域３８、及びチャネルストッパー３９として形成される。Ｐ−ＭＯＳトランジスタは、半導体基板３１−１の表面に、ドレイン領域４０、ソース領域４１、及びチャネルストッパー４２として形成される。チャネルストッパー４２と同時に、すなわち同じ工程で、ｐ型ウェル３２−２にはバイポーラトランジスタを形成するベース領域４３が形成される。また、Ｐ−ＭＯＳトランジスタのドレイン／ソース領域４０，４１と同時に、バイポーラトランジスタのエミッタ領域４９及びコレクタ領域の電極取り出し部４８が形成される。 （もっと読む）

【課題】制御電極層のない素子のレイアウトサイズを増加させることなく、ＣＭＰによる平坦化での過研磨を防ぐことができる半導体装置を提供すること。
【解決手段】半導体基板上に配されるとともに拡散層で構成された拡散層抵抗７と、拡散層抵抗７の外周を囲むように配されるとともに拡散層で構成されたＰウェルコンタクト６と、Ｐウェルコンタクト６の外周を囲むように配されるとともに拡散層で構成されたＮウェルコンタクト４と、を備えた抵抗セルを有する半導体装置であって、Ｐウェルコンタクト６及びＮウェルコンタクト４は、それぞれ複数に分断されており、隣り合うＰウェルコンタクト６間の領域に制御電極層９ｂが配されてＰウェルコンタクト６と制御電極層９ｂが交互に配置され、隣り合うＮウェルコンタクト４間の領域に制御電極層９ａが配されてＮウェルコンタクト４と制御電極層９ａが交互に配置されている。 （もっと読む）

【課題】保護素子のターンオン電圧を決める制約を少なくする。
【解決手段】半導体基板１、Ｐウェル２、ゲート電極４、ソース領域５、ドレイン領域６および抵抗性降伏領域８を有する。抵抗性降伏領域８はドレイン領域６に接し、ゲート電極４直下のウェル部分と所定の距離だけ離れたＮ型半導体領域からなる。ドレイン領域６または抵抗性降伏領域８に接合降伏が発生するドレインバイアスの印加時に抵抗性降伏領域８に電気的中性領域(８ｉ)が残るように、抵抗性降伏領域８の冶金学的接合形状と濃度プロファイルが決められている。 （もっと読む）

【課題】特殊な工程や、保護抵抗の挿入なしに被保護回路を保護できる静電気保護素子を提供する。
【解決手段】Ｐ型の半導体基板１と、半導体基板１に形成された、Ｎ型の第１不純物層３を備える。第１不純物層３内には、ゲートとして動作するＰ型の第２不純物層５を備える。第２不純物層５には、カソードとして動作するＮ型の第３不純物層６を備える。また、第２不純物層５から一定距離離間した第１不純物層３内には、Ｎ型の第４不純物層４を備える。第４不純物層４内には、アノードとして動作するＰ型の第５不純物層８と、Ｎ型の第６不純物層９とを備える。そして、本静電気保護素子は、第４不純物層４の不純物濃度が第１不純物層３の不純物濃度よりも高く、かつ第４不純物層４の底部が第２不純物層５の底部より深くなっている。 （もっと読む）

【課題】 エミッタ注入効率が大きく、差動増幅回路の入力トランジスタとして利用可能で、かつＢｉ−ＣＭＯＳプロセスにおいてＭＯＳトランジスタと同一基板上に搭載することが可能なバイポーラトランジスタの構造とその製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体基板１上に第二導電型の深いウェル層２が形成され、深いウェル層２よりは浅い所定の深さで第一導電型の埋め込み層３が形成され、バイポーラトランジスタのエミッタ領域が、第一導電型の埋め込み層３の上に、第二導電型のウェル層４、及びＭＯＳトランジスタのソース・ドレイン領域と同時形成される高濃度の第二導電型の不純物層１５の２層構造として形成されている。 （もっと読む）