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Fターム[5F053BB08]の内容

半導体装置を構成する物質の液相成長 (5,002) | 成長装置 (493) | 成長容器(S) (251) | 形態(S) (202) | 回転機構を有するもの (34)

Fターム[5F053BB08]に分類される特許

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【課題】所望の体積抵抗率を有する金属酸化物薄膜を、簡便かつ大面積に作製でき、更に所望の形状の金属酸化物を形成する精度が高い金属酸化物薄膜形成用塗布液などの提供。
【解決手段】無機インジウム化合物と、無機カルシウム化合物及び無機ストロンチウム化合物の少なくともいずれかと、有機溶媒とを含有する金属酸化物薄膜形成用塗布液である。 (もっと読む)


【課題】フラックス法を用いた結晶成長装置において、実用的な大きさの結晶の均一性その他の品質を確保しつつ、結晶成長装置を小型化・簡略化する。
【解決手段】結晶の原料原子を含む液体を収容する容器と、前記液体と接する液体接触面に、弾性波を進行波として伝搬させる弾性波伝搬手段と、を有する結晶成長装置を提供する。前記液体接触面として、前記容器の内面が例示できる。前記弾性波伝搬手段が、前記容器に接して配置された圧電体を有してもよく、前記圧電体に交番電界を印加することにより、前記液体接触面に前記弾性波を伝搬させることができる。前記圧電体を複数有してもよく、前記複数の圧電体のそれぞれに印加する交番電界の位相を調整することで、前記弾性波を進行波として伝搬させることができる。 (もっと読む)


【課題】電荷輸送性や移動度が高く、安定性に優れた有機半導体層、及びOn/Off比が高い有機電子デバイスを得る。また、この有機電子デバイスを低コストに製造する。
【解決手段】特定構造の有機半導体化合物と特定の有機化合物とを含有する有機電子デバイス用組成物を用いる。具体的には、有機半導体化合物として、アヌレン構造を有する有機化合物を用い、特定の有機化合物として、下記一般式(1)若しくは(2)で表わされる部分構造を有する有機化合物、又は、ウレア結合、チオウレア結合、ホスフィンオキシド結合、ホスフィンスルフィド結合、スルフォキシド結合若しくはスルホン結合を有する有機化合物を用いる。


(式(1)〜(2)中、Xは、酸素原子又は硫黄原子を示し、Zは硫黄原子又はリン原子を示す。nは、1又は2を示し、nが2である場合の2つのXは酸素原子を示す。X及びZがどちらも硫黄原子であることはない。) (もっと読む)


【課題】より簡便な、かつ高温の焼成を必要としない条件で、基板の所望の位置に複合酸化物の薄膜を形成させることのできる塗布液及びそれを使用した方法を提供すること。
【解決手段】インジウム(In)のキレート化合物(I)、亜鉛(Zn)のキレート化合物又は酢酸塩(Z)、及び有機溶媒(A)を含む複合酸化物膜形成用の塗布液を塗布して基材の表面に塗膜を形成し、次いでこの塗膜を焼成することにより複合酸化物膜に転換させる。 (もっと読む)


【課題】III族窒化物単結晶の基板からの剥離の成功率を高め、クラックの発生を抑制することである。
【解決手段】基板1上にIII 族金属窒化物単結晶の複数の帯状の種結晶膜3を形成し、この際基板に非育成面1bを形成する。複数の種結晶膜3上にフラックス法によってIII 族金属窒化物単結晶を育成する。複数の種結晶膜3が互いに非育成面1bによって分けられており、複数の種結晶膜3が、それぞれ、一方の端部3a、他方の端部3bおよび一方の端部と他方の端部との間の本体部3cを備えている。種結晶膜3の一方の端部3aの幅Waが他方の端部3bの幅Wbよりも小さく、前記複数の種結晶膜において一方の端部が各種結晶膜の長手方向に見て同じ側に設けられている。 (もっと読む)


【課題】 製造工程が容易であるとともに光電変換効率の高い光電変換装置を提供すること。
【解決手段】 光電変換装置10の製造方法は、多価アルコールを含む第1の有機溶媒に第1の金属元素を含む金属化合物を溶解して原料溶液を作製し、原料溶液を加熱して第1の金属元素を含む金属微粒子を作製する工程と、金属微粒子を第1の有機溶媒から取り出し、第1の有機溶媒の沸点以上の温度で熱処理する工程と、熱処理した金属微粒子を第2の有機溶媒に分散して半導体層形成用溶液を作製し、半導体層形成用溶液を電極上に被着し、乾燥して金属微粒子を含む皮膜を作製する工程と、カルコゲン元素を含む雰囲気下で皮膜を加熱して、金属微粒子とカルコゲン元素とを反応させて成る、光電変換層としての半導体層3を作製する工程とを具備する。 (もっと読む)


【課題】ノズルの動作を簡単に教示することができる基板処理装置およびティーチング方法を提供する。
【解決手段】記録開始指令が制御部4に入力されると、CPU23は、記録開始指令が入力されてからの経過時間をタイマー25によって計測させる。さらに、CPU23は、ノズルの位置を検出するエンコーダ22の出力と経過時間とをメモリー24に記憶させる。そして、記録終了指令が制御部4に入力されると、CPU23は、エンコーダ22の出力と経過時間の記憶を終了させる。記録開始指令の発生から記録終了指令の発生までのエンコーダ22の出力は、経過時間と関連付けられて1つの動作データとしてメモリー24に記憶される。 (もっと読む)


【課題】 大型化しても、比較的簡単な構成で、坩堝内の融液を均一に撹拌することができる結晶育成用坩堝を提供する。
【解決手段】 結晶育成用坩堝(5)は、結晶を育成する融液を収容するための坩堝本体(20)と、該坩堝本体(20)に取り付けられて、融液を撹拌する撹拌部材(21)とを有する。撹拌部材(21)は、坩堝本体(20)の内壁から該坩堝本体の内側に向かって突出する突出部(23)を有する。突出部(23)は、表面全体が融液に接触するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】カーボンナノチューブが分散媒体中に均一に分散されており、成膜性および成形性に優れ、かつ、簡便な方法で基板に塗工することができる組成物、ならびに該組成物から形成されたカーボンナノチューブ含有膜を提供する。
【解決手段】本発明に係る組成物は(A)カーボンナノチューブと、(B)金属塩およびオニウム塩から選ばれる少なくとも一種と、を含有する組成物であって、前記組成物中の前記(A)成分の濃度M(質量%)および前記(B)成分の濃度M(質量%)がM/M=2.0×10−4〜4.0×10−2である。 (もっと読む)


【課題】種結晶上での結晶成長速度を大幅に向上させることができ、かつ長時間継続して結晶成長を行うことができる第13族金属窒化物結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】原料101を溶媒102に溶解して溶液102または融液を作成する工程、溶液102または融液を攪拌する工程、及び溶液102または融液中で第13族金属窒化物結晶の成長を行なう工程、を備える第13族金属窒化物結晶の製造方法であって、溶液102または融液を攪拌する工程において、攪拌により溶液102または融液に投入される動力が0.02W/m以上である。 (もっと読む)


【課題】安定性および電気的特性に優れて、製造が容易な酸化物半導体層を含む薄膜トランジスタ基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜トランジスタ基板は、絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成されて、酸化亜鉛、酸化錫、および酸化ハフニウムからなる群より選択した少なくとも1つの金属酸化物を含む酸化物半導体層と、酸化物半導体層と重畳したゲート電極と、酸化物半導体層とゲート電極との間に介されたゲート絶縁膜と、酸化物半導体層と少なくとも一部が重畳し、互いに離隔して形成されたソース電極およびドレイン電極とを有する。 (もっと読む)


【課題】製作誤差や熱変形があっても、容易に組立でき、駆動軸の円滑な回転を可能とする結晶成長装置の提供。
【解決手段】複数の容器に囲まれ、加熱加圧雰囲気下で窒素ガスとNa/Ga混合融液3とを反応させて該混合融液3に浸漬された種基板2上にGaN結晶を成長させる反応容器10と、複数の容器を挿通して設けられた駆動軸41を軸周りに回転させて混合融液3を攪拌する攪拌装置40と、を有する窒化ガリウム製造装置1であって、圧力容器30と断熱容器20との間において、第1駆動軸41Aと第2駆動軸41Bとを偏心可能に、且つ、一体回転可能に軸方向で接続する軸継手60を有するという構成を採用する。 (もっと読む)


【課題】p型半導体の性能を持つ酸化銅(I)膜の製造方法および該膜作成用の溶液の製造方法を提供する。
【解決手段】アンモニア、アミン化合物から選ばれる1種以上の化合物と銅アミノポリカルボン酸錯体、銅ポリカルボン酸錯体から選ばれる1種以上の銅のキレート錯体が極性溶媒に溶解している酸化銅膜を形成せしめるに適した溶液を基材表面に塗布した後、不活性ガス中にて300℃〜700℃で1分から3時間の熱処理することにより、p型半導体の性能を持つ酸化銅(I)膜を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】その表面だけが配向制御された有機半導体薄膜、プラズマ処理に比べて有機半導体に対する損傷を抑えることが可能な有機半導体の配向制御方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の表面に配向層を有する有機半導体薄膜、及び有機半導体からなる薄膜に中性粒子ビームを照射することにより有機半導体の配向制御を行う有機半導体薄膜の配向制御方法である。 (もっと読む)


【課題】発光デバイスや電子デバイス用基板として好適な平坦性の高い高品質のSiC単結晶基板の製造を安定して行うことを可能にする技術を提供する。
【解決手段】SiまたはSiと他の金属との合金からなる融液にCが溶解している原料溶液5に結晶成長用基板1を浸漬し、少なくとも基板1の近傍の溶液5を過飽和状態とすることによって基板1上にSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法において、(1)融液の材料が少なくとも1種の酸化物を含む、(2)酸素を含む不活性ガス雰囲気下で結晶成長を行う、および(3)酸素を含む不活性ガスを原料溶液に吹き込みながら結晶成長を行う、の少なくとも1つに手法によって、原料溶液5中に酸素を含有させながら、SiC単結晶を成長させる。 (もっと読む)


【課題】高い光電変換効率を有する有機光電変換素子、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板11上に設けられた陽極12、陰極13、p型半導体材料とn型半導体材料を含む光電変換層14を備える有機光電変換素子の製造方法において、p型半導体材料もしくはn型半導体材料のいずれか一方の貧溶媒を含む層を塗布により形成した後、光電変換層14を塗布法により形成することを特徴とする有機光電変換素子の製造方法。 (もっと読む)


共有結合性有機骨格として配列した、複数のセグメントと複数の連結基とを含む、追加機能性を備えた構造化有機薄膜であって、構造化有機薄膜は、複数セグメントの厚さの構造化有機薄膜とすることができる。 (もっと読む)


【課題】ドープシリコン膜中にドープ材料を多く残留させるドープシリコン膜の製造方法を提供する。
【解決手段】ドープシリコン膜110の製造方法は、液体材料108を塗布して塗布膜109を形成する工程と、塗布膜109を熱処理する工程と、を含み、液体材料108がシラン化合物11とドーパント化合物12とを含む溶液に、第1の光源111から射出される第1の光と、第2の光源112から射出される第1の光と波長の異なる第2の光とを照射することで得られるシリコン前駆体組成物を含むものであることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】新規な不純物ドープ窒化ガリウムからなる高抵抗材料を提供する。
【解決手段】少なくともマンガンをドープした窒化ガリウム結晶(MnドープGaN)からなり、ホール測定による比抵抗が100Ω・cm以上の高抵抗材料であって、マンガンのドープ量が1×1017atoms/cm3以上であることが好ましい。また、この高抵抗材料は、いわゆるフラックス法により製造することが好ましい。前記高抵抗材料において、窒化ガリウム結晶は、マンガンに加えて、鉄、クロム、カルシウムのうち、少なくとも1つの元素が共添加されていてもよい。 (もっと読む)


【課題】フラックス法により種結晶基板上に窒化ガリウムの結晶を生成させた窒化ガリウム結晶板であって、高品質なものを提供する。
【解決手段】種結晶基板54を金属ガリウム及び金属ナトリウムを含む混合融液に浸漬した容器50を、700〜1000℃で加圧窒素ガスの雰囲気下、種結晶基板54上での窒化ガリウムの結晶成長速度が10〜20μm/hとなるように回転させる。その後、容器50にエタノールを加えて金属ナトリウムを溶かし、溶け残った窒化ガリウム結晶板を回収する。 (もっと読む)


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