【課題】ヒューズ開口部からの水分侵入による電特異常及び配線腐食を防止する半導体装置を提供する。
【解決手段】シリコン基板１上に絶縁膜２とゲート酸化膜３を設け、ゲート酸化膜２上の一部にヒューズ配線４の両端にヒューズ端子１５を有するヒューズを設ける。ヒューズを構成するヒューズ配線４の上方には酸化膜５を介して窒化膜１４が形成された凸領域があり、ヒューズ端子１５は第１金属配線７と電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】ＥＭＩ低減に有効な半導体集積回路システムを提供する。
【解決手段】バスライン８上に配置された中央演算処理装置１と、演算論理装置６と、デカップリングキャパシタ形成領域１００・合成論理形成領域２００・インピーダンス形成領域３００を有する半導体集積回路４００と、論理ライブラリ情報格納部２２・デカップリングキャパシタ配置配線情報格納部２４・インピーダンス配置配線情報格納部２６・電源配線配置配線情報格納部２８を有する記憶装置２とを備え、論理ライブラリ情報格納部２２・デカップリングキャパシタ配置配線情報格納部２４・インピーダンス配置配線情報格納部２６のそれぞれの格納データに基づいて、それぞれ合成論理形成領域２００・デカップリングキャパシタ形成領域１００・インピーダンス形成領域３００における配置配線を実行する半導体集積回路システム１０。 （もっと読む）

【課題】 より簡易な設計手法で作製可能なテスト回路を提供する。
【解決手段】 テスト回路１００は、基板と、基板上に形成された配線部及び被試験デバイス部１０とを備える構成とする。テスト回路１００では、被試験デバイス本体のパターン形成面内における回転中心位置Ｏと複数の接続電極１３ａ〜１３ｄのそれぞれとを結ぶ直線Ｌ１の延在方向が、配線２１の延在方向に対して所定の角度で傾いている。さらに、被試験デバイス本体及び複数の接続電極１３ａ〜１３ｄをパターン形成面内で９０度回転させた際にも、複数の接続電極１３ａ〜１３ｄ及び複数の配線２１〜２４間の接続が維持されるような位置に複数の接続電極１３ａ〜１３ｄが配置される。 （もっと読む）

【課題】スタンダードセル回路のレイアウト面積を削減する。
【解決手段】配線導体Ｌａは電源電圧ＶＤＤａを出力する電源に接続される。レギュレータ６ａは、配線導体Ｌａからの電源電圧ＶＤＤａを電源電圧ＶＤＤａより低い電源電圧ＶＤＤｂに変換し、配線導体Ｌｂを介してレベルシフタ２−１〜２−３，３，及びスタンダードセル４に出力する。レベルシフタ２−１は、入力されるデータの電圧レベルを電源電圧ＶＤＤａの電圧レベルから電源電圧ＶＤＤｂの電圧レベルに電圧シフトしてスタンダードセル４に出力する。レベルシフタ３は、スタンダードセル４からの出力信号の電圧レベルを電源電圧ＶＤＤｂの電圧レベルから電源電圧ＶＤＤａの電圧レベルに電圧シフトし、出力端子Ｔｑを介して出力する。 （もっと読む）

【課題】チップ面積を増加させることなく、効率良くリーク電流を抑制することができる半導体集積回路装置を提供する。
【解決手段】半導体集積回路装置は論理が同一のセルＡ−１，Ｂ−１，Ｃ−１を備えている。セルＢ−１はセルＡ−１よりセル幅Ｗ２が大きいが、ＭＯＳトランジスタのゲート長Ｌ１はセルＡ−１と等しい。セルＣ−１は、セルＢ−１とセル幅Ｗ２が等しいが、ゲート長Ｌ２が大きいＭＯＳトランジスタを有しており、セルＡ−１，Ｂ−１と比べて回路遅延は遅くなるがリーク電流は小さくなる。このため例えば、空き領域に隣接したセルＡ−１をセルＢ−１に置き換え、タイミングに余裕があるパスにおけるセルＢ−１をセルＣ−１に置き換えることによって、チップ面積を増加させることなく、リーク電流を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】より小さな単位に切り離しも可能なマルチコア半導装置において、前記より小さな単位に切り離した場合に相互接続配線を伝って生じる可能性のある水の侵入を阻止する。
【解決手段】半導体装置は、素子領域を有する半導体基板と、前記素子領域に形成され、第１の開口部を有する内側シールリングと、前記素子領域に形成され、第２の開口部を有する外側シールリングと、前記半導体基板上に形成された、各々配線層を含む複数の層間絶縁膜を積層した積層体よりなる多層配線構造と、前記多層配線構造に含まれる第１の層間絶縁膜とその上の第２の層間絶縁膜の間に形成された耐湿膜と、前記耐湿膜の下側および上側のいずれか一方である第１の側を延在し、前記第１の開口部を通過する第１の部分と、前記耐湿膜の下側および上側の他方である第２の側を延在し、前記第２の開口部を通過する第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分とを、前記耐湿膜を貫通して接続するビアプラグとを含む配線パターンと、を有する。 （もっと読む）

【課題】チップ内の温度差が小さい高信頼性の半導体集積回路を提供できるようにする。
【解決手段】熱解析部１１は、設計する半導体集積回路のデータから熱解析を行い、温度分布を算出し、ベクトル生成部１２は、算出された温度分布の温度勾配に応じたベクトルを生成し、ダミーパターン生成部１３は、生成されたベクトルにしたがってダミーパターンを生成し、半導体集積回路のレイアウトデータに追加する。このようなダミーパターンを生成することで、温度分布が平均化され、チップ内の温度差が小さい高信頼性の半導体集積回路を提供できるようになる。 （もっと読む）

【課題】複数の回路ブロックの特性を正確に一致させる。
【解決手段】例えば、端子３１Ａ，３１Ｂと、これら端子間に設けられた回路１１０Ａ，１１０Ｂを備える。回路１１０Ａは端子３１Ａに接続され、端子３１Ａから端子３１Ｂへ向かって配置されたセル１２０Ａ，１３０Ａ，１４０Ａを含む。回路１１０Ｂは端子３１Ｂに接続され、端子３１Ｂから端子３１Ａへ向かって配置されたセル１２０Ｂ，１３０Ｂ，１４０Ｂを含む。セル１２０Ａ，１２０Ｂのレイアウトは、形状、サイズ及び向きがトランジスタレベルで同一である。セル１３０Ａ，１３０Ｂ及びセル１４０Ａ，１４０Ｂのレイアウトは、形状及びサイズが同一であり、トランジスタの向きが１８０°相違している。これにより各セルを対称配置しつつ、センシティブなセル１２０Ａ，１２０Ｂにおいては電流方向の違いによる特性差が生じない。 （もっと読む）

【課題】ダブルパターニングによるトランジスタの特性ばらつきを抑える。
【解決手段】並列に配置される複数のゲート電極パターン１０〜１５を交互に、ダブルパターニングの第１の露光工程で形成する第１のパターン及び第２の露光工程で形成する第２のパターンとして設定し（ステップＳ１）、第１のパターンと第２のパターンとを並列に接続したトランジスタ対を含む回路をレイアウトすることで（ステップＳ２）、ダブルパターニングによるトランジスタの特性ばらつきが抑えられる。 （もっと読む）

【課題】従来の入出力セルよりも回路面積の大きな入出力セルを面積効率良く配置する。
【解決手段】半導体装置において、複数の第１バッファセル３１〜３４は、基板の一辺に沿って１列に設けられる。複数の第２バッファセル２１，２２は、複数の第１バッファセルよりも基板の中央寄りの位置に、複数の第１バッファセルの配列方向に沿って１列に設けられる。複数の第１パッド８１〜８８は、複数の第１バッファセルの上部に上記配列方向に沿って１列に設けられる。複数の第２パッド６１〜６６は、複数の第１パッドよりも基板の中央寄りの位置に、上記配列方向に沿って１列に設けられる。複数の第２パッド６１〜６６は、各々が、複数の第１バッファセルのいずれか１つと個別に接続される複数の第３のパッド６１，６３，６５，６６と、各々が、複数の第２バッファセルのいずれか１つと個別に接続される複数の第４パッド６２，６４とを含む。 （もっと読む）

【課題】より多くのＩ／Ｏセルを配置することができるようにする。
【解決手段】多層配線層には、電位供給用接続配線２３０が設けられている。電位供給用接続配線２３０は、平面視で外周セル列２０を構成するＩ／Ｏセル２００のいずれか、および内周セル列３０を構成するＩ／Ｏセル２００のいずれかと重なっている。そして電位供給用接続配線２３０は、外周セル列２０の下方に位置する電源電位供給配線２２２を、内周セル列３０の下方に位置する電源電位供給配線２２２に接続するとともに、外周セル列２０の下方に位置する接地電位供給配線２２４を、内周セル列３０の下方に位置する接地電位供給配線２２４に接続している。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路装置において、レイアウトの面積効率の低下を抑制可能となる、マルチハイトセルのレイアウト構造を提供する。
【解決手段】標準論理セル１０は、電源配線または接地配線となるメタル配線１２を共有するようにＹ方向に隣接して配置された第１および第２回路領域Ａ１，Ａ２を備えている。Ｘ方向において、第１回路領域Ａ１の両端部の位置ｘ１ａ，ｘ１ｂと第２回路領域Ａ２の両端部の位置ｘ２ａ，ｘ２ｂとは、少なくともいずれか一方が異なっている。すなわち、標準論理セル１０の外形形状ＣＦは、第１および第２回路領域Ａ１，Ａ２の外形形状が矩形であるにもかかわらず、非矩形となっている。 （もっと読む）

【課題】ヒューズメモリを利用したトリミングを行う半導体ウェハにおける各半導体チップの回路面積を小さくする。
【解決手段】半導体ウェハ１０におけるシリコン基板上は、複数個のチップ領域ＴＡＲとこの領域ＴＡＲを囲むスクライブ領域ＳＡＲとに区画されている。チップ領域ＴＡＲには、トリミング対象回路１１と、ヒューズ素子Ｆｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）と、ヒューズ素子Ｆｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）が断線状態であるか否かを検出する検出回路としての役割を果たす定電流源ＩＰｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）及びインバータＩＮｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）とが形成されている。スクライブ領域ＳＡＲには、制御信号に応じてＯＮ／ＯＦＦが切り換わり、ＯＮとなることによりヒューズ素子Ｆｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）を断線させる電流を発生するＮチャネル電界効果トランジスタＴＳｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）がある。 （もっと読む）

【課題】ダミーゲートパターンを形成するためのレジストパターンが倒れることを抑制する。
【解決手段】ダミーゲートパターン２２０は、複数の第１のダミーゲート電極２２２と、第２のダミーゲート電極２２４を備えている。第１のダミーゲート電極２２２は、ゲート電極１１２と同一方向を向いている。第２のダミーゲート電極２２４は、第１のダミーゲート電極２２２とは異なる方向、例えば直交する方向を向いており、第１のダミーゲート電極２２２を他の第１のダミーゲート電極２２２に接続している。本実施形態において全ての第１のダミーゲート電極２２２は、第２のダミーゲート電極２２４によって、他の第１のダミーゲート電極２２２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】結晶化半導体薄膜に対して適正かつ効率的なフォトマスクの作成を可能にする。
【解決手段】１実施形態に係る設計ライブラリデータベースは、２次元的に区画して各々薄膜トランジスタのチャネル領域のサイズを超える複数の結晶粒規定領域が配置された結晶化半導体薄膜を用いる薄膜トランジスタ回路の設計ライブラリデータベースであって、各々のチャネル領域が単一の前記結晶粒規定領域内の固定位置に配置される２個以上の薄膜トランジスタおよび前記２個以上の薄膜トランジスタを相互接続する配線を含む様々な論理ゲート回路をそれぞれ表す複数のスタンダードセル、並びに前記様々な論理ゲート回路の様々な組み合わせをそれぞれ表す複数のマクロセルの少なくとも一方のセルのライブラリ、および前記複数の結晶粒規定領域が配置された結晶化アレイパターンのスタンダードセルのライブラリを含みハードディスクに登録される。 （もっと読む）

【課題】近年のＣＭＯＳ型ＬＳＩの設計においてはリーク電力の削減が非常に大きな課題となっている。リーク電力を削減する手段としてはトランジスタの閾値電圧を複数使用し、速度の必要な場所には閾値電圧の低いトランジスタを、不要な場所には閾値電圧の高いトランジスタを使用する方法が広く用いられている。しかしながら先端プロセスほど閾値電圧制御だけではリーク電力が十分に抑制できず、様々なリーク電力削減手法が必要となってきている。
【解決手段】本願の一つの発明は、ＣＭＯＳまたはＣＭＩＳ型ＬＳＩにおいて、一部の論理ゲートを構成するＰチャネルＦＥＴおよびＮチャネルＦＥＴの両側のゲート電極形状を近接効果を利用して平面的に湾曲させることによって、実効的なゲート長を長くするものである。 （もっと読む）

【課題】セル内の抵抗成分を考慮して自動配置配線が行われた高密度セルを備えた半導体集積装置及び自動配置配線方法を提供する。
【解決手段】ライブラリ内に蓄積されたセルＸ１及びセルＹ２を含む２種類以上のセルから、所定の条件に基づいて選択されたセルが配列された半導体集積装置であって、ライブラリ内に格納された各々のセルの拡散抵抗値を示す情報に基づいて、隣接する列において自動配線配置における最大値ルールを満たすように選択されたセルＸ１、セルＹ２が配列されている。 （もっと読む）

【課題】 加工処理を行なうための加工位置を精度よく特定することができる半導体チップを提供する。
【解決手段】 複数の半導体回路素子が形成され、それら半導体回路素子上に層間絶縁膜と配線層とが交互に積層されてなる半導体チップ１０において、この半導体チップ１０を構成する最上層の配線層であるダミーメタル１３に、半導体チップ１０上のＸ座標の位置を表わすＸ座標用コードパターン１３＿１およびＹ座標の位置を表わすＹ座標用コードパターン１３＿２を付加した。 （もっと読む）

【課題】パターンレイアウトの周辺環境に対して十分な安定性を検証できる評価パターンを短時間で作成する評価パターン作成方法を得ること。
【解決手段】半導体回路の回路パターンを被評価パターンとして被評価パターンのリソグラフィ性能を評価する際に被評価パターンの周辺に配置される評価パターンを作成する評価パターン作成方法において、被評価パターンの周辺領域を複数のメッシュに分割する分割ステップと、所定のメッシュにマスク関数値を与えて被評価パターンをウエハ上へ転写した場合の回路パターンの像強度を算出する像強度算出ステップと、ウエハへの転写特性に影響を与える光学像特徴量を像強度に設定した場合の像強度のコスト関数が所定の基準をみたすようにメッシュのマスク関数値を算出する関数値算出ステップと、マスク関数値に対応する評価パターンを作成する評価パターン作成ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】適切な密度のダミーパターンを生成することができる半導体装置の設計方法、設計装置及びプログラムを提供することを課題とする。
【解決手段】半導体装置内において実パターンの隙間を埋めるように形成するダミーパターンの設計方法であって、半導体装置の全領域を一定の大きさに分割した領域から、全ての実パターンを一定量だけ拡大した領域を除去して得られる残存領域を求め、その残存領域において前記分割領域の各々を一定量だけ縮小してダミーパターンを生成するダミーパターン生成ステップと、前記ダミーパターンにおいて、密度条件を満たしていないダミーパターンがある場合は、前記ダミーパターン生成ステップにおける前記分割領域のすべて若しくは一部の縮小量、及び／又は前記実パターンの拡大量を変更して前記ダミーパターン生成ステップを繰り返す密度検証ステップとを有する半導体装置の設計方法が提供される。 （もっと読む）