【課題】半導体ダイ上に相互接続部又はボンドパッドなどのフィーチャ構造を電気めっきする方法を提供する。
【解決手段】方法は半導体基板の上方に複数のヒューズ（２０８）を形成する工程と、半導体基板の上方の複数の相互接続層（４００〜４０８）と、該複数の相互接続層の上面の複数の相互接続パッド（５０２）とを形成する工程と、を含む。シールリング（２０２）が、半導体基板（３０２）と、前記複数の相互接続パッド（５０２）と、前記複数のヒューズ（２０８，３２０）とに形成された能動回路を包囲する。各ヒューズ（２０８，３２０）は、対応する相互接続パッド（５０２）とシールリング（２０２）とに電気的に接続される。各ヒューズ（２０８）が導通状態にあるとき、該ヒューズは対応する相互接続パッド（５０２）をシールリング（２０２）に電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】 微細なパターンを精度よく形成する原版のデータを生成する生成方法を提供する。
【解決手段】 光源からの光を用いて原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系とを備える露光装置に用いられる原版のデータをコンピュータによって生成する生成方法であって、近似空中像に基づいて主パターンを決定し、補助パターンを挿入することで原版のデータを生成する生成方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ダブルパターニングによるトランジスタの特性ばらつきを抑える。
【解決手段】並列に配置される複数のゲート電極パターン１０〜１５を交互に、ダブルパターニングの第１の露光工程で形成する第１のパターン及び第２の露光工程で形成する第２のパターンとして設定し（ステップＳ１）、第１のパターンと第２のパターンとを並列に接続したトランジスタ対を含む回路をレイアウトすることで（ステップＳ２）、ダブルパターニングによるトランジスタの特性ばらつきが抑えられる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板においてダミーパターンの配置密度を高める。
【解決手段】半導体基板１０４には、配線パターン１０２とダミーパターン１０６がレイアウトされる。配線パターン１０２の周囲にはマージン領域がレイアウトされ、マージン領域の周囲にダミー領域がレイアウトされる。このダミー領域に、複数のダミーパターン１０６がレイアウトされる。ダミーパターン１０６は、ダミー領域の延伸方向に配列される。マージン領域とダミー領域は、配線パターン１０２を基準として交互にレイアウトされる。 （もっと読む）

【課題】レイアウトデータからＣｕ残が発生しやすい品種やレイヤであるか否かを判定することのできる偏在率算出方法を提供する。
【解決手段】ＣＰＵは、検証レイヤにおいて所定サイズの検証エリア毎にパターン密度を算出するステップＳ１３と、算出されたパターン密度を複数の密度範囲に分別し、各々の密度範囲に属するパターン密度の分布を示す複数の密度マップＭＡＰ０〜ＭＡＰ７を生成するステップＳ１４とを実行する。また、ＣＰＵは、各密度マップＭＡＰ０〜ＭＡＰ７に所定量のプラスシフトを加えるステップＳ１５と、パターン密度の密度差が第１基準値以上となる組み合わせの密度マップＭＡＰ０〜ＭＡＰ７を重ね合わせ、両密度マップで重複した領域を抽出するステップＳ１６とを実行する。ＣＰＵは、その抽出した領域の総面積を算出するステップＳ１７と、算出した総面積と第２基準値とを比較するステップＳ１８とを実行する。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路の設計ＴＡＴを短縮する。
【解決手段】本発明による半導体集積回路の設計方法は、コンピュータ装置１０によって実行される半導体集積回路の設計方法であって、論理セル５００と配線セル４００をチップ上に配置するステップと、論理セル５００内のゲート５０５に対するアンテナルール１２２を配線セル４００の第１アンテナ用ライブラリ１０１に追加することで、第１アンテナ用ライブラリ１０１を第２アンテナ用ライブラリ２０１に変更するステップと、配線セル４００と他の論理セル５１０を第１配線５５０で接続するステップと、第２アンテナ用ライブラリ２０１に規定されたアンテナルール１２２に従い、ゲート５０５の面積に対する前記第１配線５５０の面積の比を検証する第１検証ステップとを具備する。 （もっと読む）

【課題】高歩留まり且つ低コストで半導体装置を製造することができるパターン作成方法を提供すること。
【解決手段】実施形態によれば、パターン作成方法が提供される。パターン作成方法では、設計パターンに応じた基板上パターンを形成できるよう前記基板上パターンに応じたマスクパターンを作成する際に、前記設計パターン間が満たす必要のある相対関係に基づいて、前記設計パターン間に対応するマスクパターン間が前記相対関係を満たすよう前記マスクパターンを作成する。 （もっと読む）

【課題】２個のビアを用いた配線接続構造を、ホットスポットが生じにくい構造によって実現する。
【解決手段】第１配線層において第１方向に延びる第１配線１１と、第１配線層の上層または下層の配線層に形成された接続対象配線３０とを電気的に接続するために、第１および第２のビア２１，２２が設けられている。そして、第１配線１１の第２端部１１ｂから、第１方向と直交する第２方向に第３配線１３が延びており、さらに第３配線１３から、第１方向において第１配線１１と反対の向きに第４配線１４が延びている。すなわち、第１、第３、第４配線１１，１３，１４によってクランク状の配線が形成されている。そして、第３配線１３の配線幅Ｗ３は、第１配線１１における端部１１ａ，１１ｂ間の部分の配線幅Ｗ１以上である。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ（ＦＵＳＥ）を備えた半導体装置の信頼性を向上する。
【解決手段】半導体基板１１の主面上に形成にされた多層配線を構成する層Ｍ１〜Ｍ６のうちの層Ｍ４に設けられた電気溶断型の救済用のヒューズ４ａおよび試験用のヒューズ４ｂと、ヒューズ４ａの近傍であって層Ｍ２および層Ｍ６に設けられた一対の導電板１０ａと、ヒューズ４ｂの近傍であって層Ｍ３および層Ｍ５に設けられた一対の導電板１０ｂとから構成する。ヒューズ４ｂと導電板１０ｂとの間が、ヒューズ４ａと導電板１０ａとの間より近いものとする。 （もっと読む）

【課題】裏面ＦＩＢ加工における場所特定を容易にする。
【解決手段】半導体装置は、第１方向および前記第１方向に直交する第２方向の平面内に広がる第１導電型の半導体基板６０の表面上に形成された回路部６５と、前記半導体基板内の表面側に形成され、前記回路部を構成し、素子として機能する、前記第１導電型と異なる第２導電型の複数のウェル６１と、前記半導体基板内の表面側に形成され、前記回路部を構成せず、素子として機能しない、前記第２導電型の複数のダミーウェル６２と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】微細化されても高精度を維持できるキャパシタを提供する。
【解決手段】キャパシタは、平面上に交互に配列した、直線状で第１の長さを有し第１の方向に延在する第１の電極パターンと、直線状で前記第１の長さより短い第２の長さを有し、前記第１の方向に延在する第２の電極パタ―ンと、前記第１の電極パターンに第１の電圧を、第１のビアプラグを介して供給する第１の配線パタ―ンと、前記第２の電極パターンに第２の電圧を、第２のビアプラグを介して供給する第２の配線パタ―ンと、を備え、前記第１および第２の電極パターンをそれぞれの前記第１の方向で比較した場合、前記第１の電極パターンの第１の端部が、前記第１の端部に対応する前記第２の電極パターンの第２の端部よりも突出しており、前記第１の電極パターンの前記第１の端部に対向する第３の端部が、前記第３の端部に対応する前記第２の電極パターンの第４の端部よりも突出している。 （もっと読む）

【課題】コンタクトパッドを含む所定領域内に形成できる配線数を増加させることができ、設計レイアウトの自由度を向上させることができるパターンレイアウトを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】第１方向に所定ピッチでラインとスペースが交互に配列された第１配線パターンと、第１配線パターンのライン間に配置され、所定ピッチの３倍の幅を有するコンタクトパッド３０Ｂとを有する。第１配線パターンのラインとコンタクトパッドとの間隔は所定ピッチであり、所定ピッチは１００ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 高集積化に有効な複数の配線パターンを含む配線パターン群を備えた半導体装置を提供すること。
【解決手段】 同一の配線用途のＮ（Ｎ≧３）本の配線パターンを含む配線パターン群を含む。Ｎ本の配線パターンの各々は別の層の配線郡内の配線パターンと電気的に接続するための接続領域を含む。Ｎ本の配線パターンは、配線パターンＮ１と、配線パターンＮ１の長手方向と異なる一方向に配置された二つ以上の配線パターンＮｉ（ｉ≧２）を含む。二つ以上の配線パターンＮｉはｉの値が大きいほど配線パターンＮ１から離れた位置に配置され、二つ以上の配線パターンＮｉは少なくとも一つ以上のパターンＮｐ（２≦ｐ＜Ｎ）と少なくとも一つ以上の配線パターンＮｑ（ｐ＜ｑ≦Ｎ）を含む。少なくとも一つ以上の配線パターンＮｐはｐの値が大きいほど長手方向の寸法が長く、少なくとも一つ以上の配線パターンＮｑは、ｑの値が大きいほど、長手方向の寸法が短い。 （もっと読む）

【課題】プログラミングの通電を必要最小限とすることができ、ヒューズヴィアの切断不良による論理回路の歩留りの低下も改善することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】ヒューズヴィアの切断の要否が未定の部分にはヴィア切断型電気ヒューズ３が形成されており、切断の必要が確定している部分にはヒューズヴィアが省略されたヴィア切断型電気ヒューズ５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】面積の増加を抑えつつ、ヒューズ構造体のデータの保持量を増加する。
【解決手段】半導体装置１００は、基板（不図示）上に形成されたヒューズ構造体１２０を含む。ヒューズ構造体１２０は、第１の配線（１２２）および第２の配線（１２４）と、これらを接続するビア１２３とから構成された電気ヒューズ１２１と、一端がビア１２３の側方にビア１２３に接続して形成された抵抗配線１２８と、を含む。電気ヒューズ１２１のビア１２３は、基板の積層方向において、第１の配線（１２２）との接続箇所から抵抗配線１２８との接続箇所までの間に、面内方向の断面積が第２の配線（１２４）との接続箇所から抵抗配線１２８との接続箇所までの面内方向の断面積よりも小さい箇所を有する。 （もっと読む）

【課題】Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎラウンディングの影響を防ぐためにトランジスタの特性変動量を定量的に考慮した最適な設計基準に基づく設計の検証を可能とする方法の提供。
【解決手段】拡散層１において第１の辺３と第２の辺４で確定されるコーナー部に形成されるＤｉｆｆｕｓｉｏｎラウンディング５の形状を数式で表現し、コーナー部に隣接するゲート幅ＷのトランジスタＴｒに関して、第２の辺とゲートの間隔をＸ１とし、Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎラウンディングによるゲート幅の誤差をΔＷとし、Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎラウンディングの形状パラメータとΔＷとＸ１の関係と、トランジスタＴｒの特性変動率とゲート幅の変動率の関係とから、第２の辺とゲートの間隔Ｘ１の設計基準値を導出し、レイアウト情報からコーナー部に隣接して配設されるトランジスタのゲートと第２の辺の間隔を抽出し、抽出したゲートと第２の辺の間隔が、基準値を満たすか否か判定する。 （もっと読む）

【課題】設計工数をほとんど掛けないで、ＣＭＰ対策及び短時間光アニール対策の両対策に最適化されたダミーパターンを有する半導体集積回路装置を提供すること。
【解決手段】基板上に、メモリマクロ領域１０及び機能回路領域２０を有する半導体集積回路装置１において、機能回路領域２０間、及び、メモリマクロ領域１０と機能回路領域２０との間に配置されるとともにダミーパターン４１を含むダミーパターン領域４０を備え、ダミーパターン４１は、前記メモリセルアレイ領域におけるメモリセルパターン１１の拡散層１２、１３及びゲート電極１４と同等のパターンであり、ダミーパターン領域４０におけるダミー拡散層４２、４３及びダミーゲート電極４４の面積率は、メモリセルアレイ領域における拡散層１２、１３及びゲート電極１４の面積率と同等以上である。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の検査において、電極パッドの配列、スクライブ領域の幅に影響されることなくプローブカードを共有化し、プローブカードの製作費用を低減する。
【解決手段】基板２０はチップ領域１００、スクライブ領域２００および電極パッド３００を備えている。チップ領域１００は基板２０上の第１の方向に沿って、スクライブ領域２００により互いに分離されるように並んでいる。電極パッド３００は第１の方向に沿って周期性をもって配列している。接続用電極パッド３２０はチップ領域１００に形成され、ダミー電極パッド３４０は少なくともスクライブ領域２００に形成されている。電極パッド３００の間隔はスクライブ領域２００の幅よりも狭い。電極パッド３００の配列と平行な方向における、チップ領域１００とスクライブ領域２００を合わせた幅は、電極パッド３００間隔の整数倍である。 （もっと読む）

【課題】コヒーレンスマップ法を使用して補助パターンを作成する場合に、その配置精度を向上させることが可能なマスクレイアウト作成方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ工程で危険点となる可能性の高い設計レイアウトを設定し、設定した設計レイアウトに対して、マスクレイアウトを生成するコヒーレンスマップカーネルを設定し、設定されたコヒーレンスマップカーネルと設計レイアウトとに基づいて、コヒーレンスマップを作成し、コヒーレンスマップから補助パターンを抽出・整形してマスクレイアウトを生成し、マスクレイアウトの最適度を評価するコスト関数ＣＯＳＴを定義し、当該コスト関数を使用して、生成したマスクレイアウトを評価し、コスト関数で評価されるマスクレイアウトが最適となるまで、コヒーレンスマップカーネルのパラメータおよびコヒーレンスマップから補助パターンを抽出・整形する際のパラメータの少なくとも一方を変更する。 （もっと読む）

【課題】低い印加電圧（３Ｖ以下）で導通状態を変更可能なアンチヒューズ素子（アンチヒューズ構造）を提供する。
【解決手段】本発明のアンチヒューズ構造１００は、第一配線３と、前記第一配線３上に順次積層された、不純物を含有した第一の多結晶シリコン膜６、第一のタングステンシリサイド膜７、第一の窒化タングステン膜８からなる第一のアンチヒューズ部２０ａと、前記第一のアンチヒューズ部２０ａ上に接続された第二配線１０と、を具備してなることを特徴とする。 （もっと読む）