【解決手段】 レーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、レーザガスを放電管３内と連通路４ｂとの間で循環させるガス循環通路４と、上記連通路４ｂ内に設けられてレーザガスを循環させるクロスフローファン９とを備えている。上記クロスフローファン９は連通路４ｂ内に斜めに配置されている。これにより連通路４ｂ内はクロスフローファン９によって上流側の流入部４ｂ−ｉと下流側の流出部４ｂ−ｏとに区画され、レーザガスはクロスフローファン内を介して流入部から流出部へ流通されるようになる。
【効果】 クロスフローファン９を連通路４ｂ内に斜めに配置することにより、大きなスペースを必要とすることなくクロスフローファン９を循環通路４内に設けることができる。 （もっと読む）

【課題】稼動時の消費電力を正確かつ容易に測定できるガスレーザ装置を実現する。
【解決手段】入力された交流を直流に変換するＤＣ電源部２１およびＤＣ電源部２１から出力された直流を放電管２４内のレーザガスを放電励起する高周波電圧に変換するＲＦ電源部２２を有するレーザ電源装置２０と、入力された交流を放電管２４にレーザガスを送るブロワ２５を駆動する交流に変換する駆動装置２５とを備えるガスレーザ装置１は、ＤＣ電源部２１の出力電流値および出力電圧値とＤＣ電源部２１による入力電力から出力電力への変換効率とを用いてレーザ電源装置２０への入力電力の推定値を算出する第１の推計手段１１と、駆動装置２３の出力電流値を用いて駆動装置２３への入力電力の推定値を算出する第２の推計手段１２と、レーザ電源装置２０および駆動装置２３への各入力電力の推定値に基づいてガスレーザ装置１の消費電力値を算出する電力計算手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の電源がある場合にベース放電および最大注入電力を短時間で調整する。
【解決手段】複数の放電管（２１、２２）と対応する複数の電極（２３、２４）とを有するガスレーザ発振器における複数のレーザ電源（１１、１２）の指令装置（１０）は、複数のレーザ電源の指令を作成する指令作成部（５）と、作成された指令をバイアス指令、出力指令、オフセット指令およびゲイン指令とに分離する分離部（３６）とを具備し、バイアス指令および出力指令は複数のレーザ電源に対して共通であり、オフセット指令およびゲイン指令は複数のレーザ電源のそれぞれの放電管に少なくとも応じて定まり、さらに、複数のレーザ電源に対して共通のバイアス指令および出力指令を複数のレーザ電源に送信すると共に、複数のレーザ電源の放電管に少なくとも応じて定まるオフセット指令およびゲイン指令を複数のレーザ電源に対応してシリアルで送信する送信部（３７）とを含む。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置において、長期使用時における発振装置の部品劣化による出力低下抑制が大きな課題となっていた。
【解決手段】ガスレーザ発振器のレーザガス供給排出量を検出するレーザガス供給排出量検出器と、放電入力を検出する放電入力検出器と、レーザ出力を検出するレーザ出力検出器と、検出された放電入力とレーザ出力を入力してガスレーザ発振器の入出力特性を演算し、あらかじめ設定した基準特性と比較する比較装置と、比較装置の出力に応じてレーザガス供給装置および排気装置を制御して最適なレーザガス供給排出量を得ることができる制御装置を設けた。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を安定させる。
【解決手段】レーザ装置は、外部装置と共に用いられるレーザ装置であって、パルスレーザ光を出力するマスターオシレータと、前記マスターオシレータに接続される第１の電源と、前記マスターオシレータから出力される前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも１つの増幅器と、前記少なくとも１つの増幅器に高周波電圧を印加する少なくとも１つの第２の電源と、前記マスターオシレータと前記少なくとも１つの増幅器との間の光路上に配置される少なくとも１つの光シャッタと、前記外部装置からの信号に基づいて、前記レーザ装置を制御するレーザコントローラと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置の送風手段のグリス不足による軸受消耗を防止して、送風手段のメンテナンスフリー化を図る
【解決手段】送風手段の軸受近傍にグリス補給手段を設け、軸受に封入されたグリス量を直接もしくは間接的に検出するグリス量検出手段を備え、グリス量検出手段により検出した信号に応じて、あるいは予め運転時間に応じて決めた量に応じて、送風手段外部と内部の圧力差による真空力等を利用して適宜グリスの自動補給を行う事が可能とする （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）

【課題】一時停止解除指令後に、レーザ発振可能な状態に短時間で復帰させる。
【解決手段】ガス流路１０１に沿ってレーザガスを循環させる送風機３０と、レーザガスのガス圧Ｐを検出する圧力検出手段３３と、ガス流路１０１にレーザガスを供排するガス給排手段５１，６１，６２と、レーザ発振の一時停止を指令する指令手段７５と、指令手段７５からの指令に応じて送風機３０およびガス給排手段５１，６１，６２を制御する制御手段７０とを備える。制御手段７０は、一時停止指令前は、送風機３０を所定回転数Ｎ１で回転させるとともに、検出ガス圧Ｐが第１の目標ガス圧Ｐ１となるようにガス給排手段５１，６１，６２を制御し、一時停止指令後は、送風機３０の回転数を低減または回転を停止させるとともに、検出ガス圧Ｐが第１の目標ガス圧Ｐ１に対応した第２の目標ガス圧Ｐ２となるようにガス給排手段５１，６１，６２を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザ発振装置に関するもので、送風機の軸受潤滑不良が発生した場合でも、軸受やガスレーザ発振装置全体が損傷しにくくすることを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、送風機４に設置され振動センサ９と、この振動センサ９が検出した振動信号値が、予め設定された振動基準値以上であるか否かを判断し、前記振動基準値以上であれば基準値超過信号を出力する比較器１１とを備え、前記比較器１１から前記基準値超過信号が出力されると、ガス圧力制御器１７により、ガス供給器１３とガス排出器１４の少なくとも一方を制御して、光共振器１内のレーザ媒質ガスのガス圧力を所定運転ガス圧力よりも低くなるように制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】送風機によるガス循環冷却を行わないガスレーザ発振装置において、スラブ方式でなく、安定型共振器によるレーザビーム生成実現のためのガス冷却手段の開発が大きな課題となっていた。
【解決手段】レーザガスを励起する放電手段と、レーザガスを内部に配置して放電を行う放電管１と、放電管１を光軸方向に配置し対向する全反射鏡６、部分反射鏡７によって挟むことで形成された光共振器と、放電管１の円周上に複数個の電磁石１２を備え、放電管１に接する冷媒手段をもち、光軸と一致した回転軸を中心として回転可能な構造とし、電磁石１２と、冷媒を回転させる駆動手段を設け、この複数個の電磁石１２を順番にＯＮ・ＯＦＦすることにより放電管１内部のガス分子が移動し、冷媒により冷却される。 （もっと読む）

【課題】 小型軽量かつ安価で気密構造を必要とせず、また放電電極容器が破損しにくく取り扱いが容易であり、放電電極容器内部での水漏れや結露を防止した放電電極を備えたレーザ発振器を得る。
【解決手段】 放電箱１２は、放電電極２が設けられた面だけに破損しやすい無機絶縁物を配置し、その他の面は破損しにくい無機金属で構成されているため、組立の際には放電電極２の面だけを注意すればよく、取り扱いが容易となる。また、絶縁物１６を放電箱１２の内部に充填することで、放電箱１２の内部と外部に大きな圧力差が生じないため、容器１１には厚みの薄い無期金属の板材を用いても強度を確保できる。 （もっと読む）

【課題】 レーザガスの圧力を高くすることにより、レーザ出力を高めることができるが、レーザガスの圧力を高くすると、放電開始電圧が上昇するため、出力電圧の高い電源を用いなければならない。
【解決手段】 誘電体からなるレーザ容器が、レーザガスを収容する放電空間を画定する。レーザ容器の放電空間に面する表面に沿って沿面放電を生じさせる電極が配置されている。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置においてレーザガスを循環させる従来の送風手段では、運転による温度上昇により、軸受けに外力が掛かり、軸受けの磨耗、割れ、クラックの原因になり、寿命が短い課題があった。
【解決手段】送風手段は先端に翼車部を設けた回転部と、前記回転部を回転させる駆動部とを備え、当該送風手段の上部軸受けを自動調心軸受けとし、下部軸受けを軸方向に摺動可能なアンギュラ玉軸受けとすることにより、外力および偏心の影響を緩和した。 （もっと読む）

【課題】送風機、熱交換器、ガス配管は、ガスレーザ発振装置を構成する部品の多くを占めていて体積の小型化ならびに材料費の低コスト化の大きな障害になっていた。
【解決手段】内部にレーザガスを配置した筐体１９と、前記筐体１９の内部に対向配置した放電電極２３、２４と、前記放電電極２３、２４よりも筐体１９の外側でレーザの光軸２０方向に対向配置した部分反射鏡２６と反射鏡２５を備え、前記筐体１９は、その内部に前記放電電極２３、２４によるレーザガスへの放電空間２１よりも大なる直径の空間を有し、前記放電空間２１の方向に延びる冷却フィン２７を前記レーザの光軸２０方向に間隔を開けて複数設け、かつ冷却媒体の通路を設けたことにより、放電によるガス温度上昇ならびに冷却による温度降下でガスの対流を発生させ、レーザガスの循環を可能にした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真鍮や銅からなる配管の冷媒による腐食を防止し、長期に渡って安定した性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供する事を目的とする。
【解決手段】放電管３と、放電管３にレーザガスを流すための送風手段１５と、送風手段１５と放電管３の間に位置してレーザガスを冷却する熱交換器１３、１４を備え、熱交換器１３、１４へ冷却水を送る配管として、銅または真鍮を用い、配管の接合部分を非アミン系化合物の接着剤で接着したもので、非アミン系化合物の接着剤を配管の接合部分に用いるので、銅や真鍮を腐食せず、長期に渡って水漏れ事故による装置の故障を防止できる。 （もっと読む）

【課題】長期停止時のガス循環部分への大気及び水分の侵入、大気中へのレーザガスの侵出などによるレーザガス組成変化による放電乱れを抑制する大出力に適したガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザガスを用い、起動中にレーザガスを給気するボンベ１４と、レーザガスを排気する真空ポンプ１５と、ボンベ１４から給気するレーザガス量および真空ポンプ１５で排気するレーザガス量を制御する制御部１６を備え、制御部１６は、起動時にレーザガスを真空ポンプ１５で排出後、ボンベ１４から大気圧近傍まで給気した後、再度レーザガスを真空ポンプ１５で排出後、動作ガス圧までボンベ１４から給気するシーケンスとして、起動時の真空ポンプ１５で排出するガス圧を、起動時のガス圧より低く、かつ、再度真空ポンプ１５で排出するガス圧よりも高くするものである。 （もっと読む）

【課題】ビームモードに対応したレーザ出力の設定値を変更することなく安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】出力ビームモードを切り替えるビームモード切替手段２１を備え、ビームモード切替手段２１へのビームモード切替信号を出力する制御装置３０を設け、レーザ出力設定部２２からの信号と制御装置３０からの信号を入力し、ビームモード切替に同期してレーザ出力設定部２２からの出力信号を各ビームモードに対応した電圧値以上にならないように保持する出力指令演算手段２３をレーザ出力設定部２２と比較器２４の間に設け、制御装置３０からの信号を入力し、ビームモード切替に同期して比較器２４の出力信号を各ビームモードに対応した電圧値以上にならないように保持する電源指令演算手段２６を比較器２４と高電圧電源８の間に設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、装置のコストダウンを図れ、長期に渡って安定した性能を維持することができるレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザガスの流路を構成するひとつ以上の放電管４と、放電管４に接続されたガス循環経路１２と、ガス循環経路１２中に設けた複数の送風手段１０ａ、１０ｂ、１０ｃを備え、送風手段１０ａ、１０ｂ、１０ｃを設けたガス循環経路１２の部分を複数の並列経路にて構成し、ひとつの放電管４に対して複数の送風手段１０ａ、１０ｂ、１０ｃからのレーザガスを供給するものである。この構成により、放電管４ひとつ当りの送風手段１０ａ、１０ｂ、１０ｃの数を増やすことでレーザガスの流量を増やすことが出来、安価にレーザ発振装置の高出力化を図る事ができる。 （もっと読む）

【課題】効率的にガスレーザ発振装置を構成する部品の共用化と最適化を実現することにより、無駄な過剰設計の省略、個別最適によるマスメリット減少の防止の両立を実現し、安価なガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】内部でレーザガス４を放電する放電管５と、放電管５へレーザガス４を送風する送風手段となる送風機１と、レーザガス４を冷却するための熱交換器２ａ，２ｂと、放電管５と送風手段となる送風機１と熱交換器２ａ，２ｂを接続する配管３を備え、熱交換器２ａ，２ｂを迂回するバイパス１５ａ，１５ｂを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】拡散吸収体の内部状態、およびレーザ光のエネルギー強度分布変化により部分的に不均一な状態が発生した場合でも、長期に渡って安定したレーザ出力の制御を行う。
【解決手段】レーザ光を減光される拡散吸収体２２と、減光されたレーザ光を検出するレーザ出力検出器２３と、レーザ出力検出器２３に入射するレーザ光の受光量を制限するチャンバー型の入射光量制限手段３１設けることにより、レーザ出力検出器２３の測定精度を向上し、安定したレーザ出力の制御を行うことが出来る。 （もっと読む）