【課題】複数の電源がある場合にベース放電および最大注入電力を短時間で調整する。
【解決手段】複数の放電管（２１、２２）と対応する複数の電極（２３、２４）とを有するガスレーザ発振器における複数のレーザ電源（１１、１２）の指令装置（１０）は、複数のレーザ電源の指令を作成する指令作成部（５）と、作成された指令をバイアス指令、出力指令、オフセット指令およびゲイン指令とに分離する分離部（３６）とを具備し、バイアス指令および出力指令は複数のレーザ電源に対して共通であり、オフセット指令およびゲイン指令は複数のレーザ電源のそれぞれの放電管に少なくとも応じて定まり、さらに、複数のレーザ電源に対して共通のバイアス指令および出力指令を複数のレーザ電源に送信すると共に、複数のレーザ電源の放電管に少なくとも応じて定まるオフセット指令およびゲイン指令を複数のレーザ電源に対応してシリアルで送信する送信部（３７）とを含む。 （もっと読む）

【課題】ガス排気系にある絞りの経時的な詰まりを防止することにより、装置全体の寿命延長を図り、長期に渡って高い信頼性を確保する。
【解決手段】本装置の運転停止前に、真空容器中に大気圧近傍までレーザガスの供給を行った後、真空ポンプを駆動させ、主排出弁を閉じ、副排出機構と直列に設けられた絞りを介してのみ、一定時間ガスを排出し、その後主排出弁を開け、通常排気弁を開くことで、通常排気弁と直列に設けられた絞りを介して、一定時間ガスを排出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置の送風手段のグリス不足による軸受消耗を防止して、送風手段のメンテナンスフリー化を図る
【解決手段】送風手段の軸受近傍にグリス補給手段を設け、軸受に封入されたグリス量を直接もしくは間接的に検出するグリス量検出手段を備え、グリス量検出手段により検出した信号に応じて、あるいは予め運転時間に応じて決めた量に応じて、送風手段外部と内部の圧力差による真空力等を利用して適宜グリスの自動補給を行う事が可能とする （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置において、送風手段に用いられる軸受の消耗の低減が大きな課題となっていた。
【解決手段】レーザガスを送風する送風手段を備えたガスレーザ発振装置において、送風手段は軸駆動手段によって回転を行なう回転部と、回転を行なわない非回転部から成り、前記回転部は先端に翼車部を設けた回転軸と、前記回転軸を回転させる駆動部と、前記回転軸に結合された上部軸受および下部軸受とを備え、前記上部軸受および前記下部軸受の一部にフッ素樹脂含有の複合メッキ被膜層を設けた。 （もっと読む）

本発明は、レーザービームを発生するためのレーザー発振器（１）、レーザービームを通すレーザーヘッド（３）、レーザー発振器（１）とレーザーヘッド（３）との間でレーザービームを伝えるための光学路（２）、およびメインガスパイプ（８）を介して流体を流通可能にレーザーヘッド（３）へ接続されたガス供給源（９）を有するレーザー機械設備に関する。さらに、第２パイプ（１８）が上記ガス供給源（９）をレーザー発振器（１）へ流体を流通可能に接続する。それゆえに、上記設備は、レーザー発振器（１）およびヘッド（３）に共通のガス供給源を有する。ガスは、好ましくは、窒素である。
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【課題】冷却液の漏洩を防ぐことができるガスレーザ発振装置を得る。
【解決手段】内部にレーザガスが封入される風洞容器５０と、風洞容器５０内に対向して設けられ、一部に電極がそれぞれ形成された一対の誘電体電極１ａ，１ｂを有する放電電極１００と、誘電体電極１ａ，１ｂ内部に埋設された冷却路８とを備え、一対の誘電体電極１ａ，１ｂの電極に電圧を印加してそれぞれの電極形成部間の空間に放電を発生させると共に、冷却路８内に冷却液を通し誘電体電極１ａ，１ｂを冷却するように構成し、誘電体電極１ａ，１ｂの冷却路８は、電極形成部の誘電体部と、電極形成部間の放電空間よりレーザガスの下流側に対応する誘電体電極の誘電体部とに、それぞれ埋設すると共に、冷却路８を樹脂又は金属で形成したものである。 （もっと読む）

ＲＦ駆動のＣＯ_２ガス放電レーザは、複数の放電電極および電極間のレーザ用ガス混合物を含む。レーザ用ガス混合物は、ＲＦパワーが電極に印加されるとイオン化され、レーザ用ガス混合物中で放電を着火することに十分なほどの持続時間の間、ＲＦパワーが印加されるとレーザ作用が開始される。ガス混合物は、放電の着火が生じることが予測されない所定期間の間、電極にＲＦパワーを周期的に印加することによって、事前にイオン化される。電極から後方反射されるＲＦパワーが監視される。監視されるパワーが、所定の持続時間が経過する前に、レーザ作用の差し迫った発現を示す所定のレベルを下回ると、電極へのＲＦパワーの印加は、レーザ作用が生じないように終了される。
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【解決手段】 ガスレーザ発振器１は、レーザガスが封入されたハウジング２と、ハウジング２内部に設けた筒状の外側電極４と、該外側電極４の内側に設けられて上記外側電極４との間に筒状の放電空間を形成する内側電極５と、上記外側電極４および内側電極５を冷却する冷却手段７と、上記放電空間の軸方向に離隔するとともに異なる磁極が相互に向き合うように配置された永久磁石６ａ、６ｂからなる磁界発生手段６とを備えている。
上記外側電極４と内側電極５との間で放電するとともに、上記磁界発生手段６が磁界を発生させることで、ローレンツ力により上記放電空間のレーザガスを周回させ、さらに上記永久磁石を外側電極４または内側電極５に隣接した位置に設けて、上記電極とともに上記冷却手段７によって冷却する。
【効果】 放電空間内のレーザガスを高速に周回させて効率的にレーザ光Ｌを発振することができる。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置においてレーザガスを循環させる従来の送風手段では、運転による温度上昇により、軸受けに外力が掛かり、軸受けの磨耗、割れ、クラックの原因になり、寿命が短い課題があった。
【解決手段】送風手段は先端に翼車部を設けた回転部と、前記回転部を回転させる駆動部とを備え、当該送風手段の上部軸受けを自動調心軸受けとし、下部軸受けを軸方向に摺動可能なアンギュラ玉軸受けとすることにより、外力および偏心の影響を緩和した。 （もっと読む）

【課題】放電時のノイズで過電流と誤判断し、高電圧電源４を構成するスイッチング素子のゲート信号などを誤って停止させ、レーザ発振装置およびレーザ加工機の継続使用を阻害するという課題を有していた。
【解決手段】放電電流比較器１１の比較結果において放電電流検出器９の検出値Ｃが放電電流下限設定器１０の設定値Ｄ以下の場合で、かつ出力電流比較器７の比較結果において出力電流検出器５の検出値Ａが出力電流上限値設定器６の設定値Ｂ以上の場合に、高電圧電源の出力を停止する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加工性能を向上でき、かつ安価で信頼性の高いレーザ発振装置およびレーザ加工機装置を提供することを目的とする。
【解決手段】高電圧電源４を構成するスイッチング素子５を放熱用構造物７に固定し、放熱用構造物７は高電圧電源４の雰囲気温度よりも低温の冷却媒質８を内部に循環させる冷却部を有し、かつスイッチング素子５は電気回路９と接続するリード端子６が同一面に設けられ、スイッチング素子５のリード端子６の引き出し方向が鉛直、あるいは、水平に対して角度４５度から９０度未満となるように放熱用構造物７に取付けたものである。 （もっと読む）

【課題】外気温によらず運転開始直後よりミラー角度を一定に保つことで、常に高品質のレーザビームを生成し、安定したレーザ加工を実現する。
【解決手段】調整板の冷却部材取り付け部の厚みをそれ以外の部分の該２倍以上の寸法とし、支点および角度調整ネジ取り付け部の厚みおよび長さは同一とし、前記支点および角度調整ネジの材質は、調整板材質の熱膨張率よりも小さくする。また調整板に備えられた温度センサと、冷媒量制御手段とを備え、温度センサの検出信号に応じて、冷媒量を制御、または放電開始後一定時間の間は冷媒量を絞った状態で流し、一定時間後に通常流量の冷媒を流す制御を行なう事を特徴とするガスレーザ発振装置またはガスレーザ加工機である。 （もっと読む）

【課題】長期間に渡って安定したレーザ出力およびレーザ加工性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】電極６と、前記電極６へ接続した電源７と、前記電源７と前記電極６により形成される放電空間にレーザガス４を循環供給させる送風機１を備え、前記送風機１には、レーザガス４を移動させる回転体２１と、前記回転体２１を駆動する駆動部２２と、前記回転体２１と前記駆動部２２を連結する駆動軸２３と、前記駆動軸２３を貫通させるとともに前記回転体２１と前記駆動部２２を隔離する隔壁２５と、前記隔壁２５と前記駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、前記軸受け２６と前記回転体２１の間にシール材２７とを配置し、前記駆動軸２３と隔壁２５間の空間に圧力変動低減部２８を設けた。 （もっと読む）

垂直方向に離間し電気的に絶縁され互いに平行な縦長の通電及び接地平板電極を備えるＣＯ_２ガス放電レーザーに関する。各電極はその両縁に沿って設けられたセラミックスペーサストリップで離間されている。補助電極が通電電極の両端部に長手方向に離間して通電電極と同一面内に設けられる。補助電極は接地電極から垂直方向に離間するが、電気的に接地電極に接続される。補助電極は、セラミックストリップの内縁間の離間距離より小さい距離だけ離間した２つの隆起部を有する。補助電極の隆起部は、レーザーを操作している際に共振器内に発生するレーザー光によるセラミックストリップの侵食を防止する。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ共振器において、複数の放電管を互いに連結する放電管連結ホルダ自体の熱変形、及びガスレーザ共振器の移動に伴って放電管連結ホルダに加わる加速度を考慮する。
【解決手段】レーザ共振器１０は、軸線方向へ整列する２つの放電管１ａ、２ａ、１ｂ、２ｂ、１ｃ、２ｃをそれぞれに有する３つの放電管列３Ａ、３Ｂ、３Ｃと、各放電管列の放電管を互いに連結して支持する放電管連結ホルダ５と、放電管１ｃの一端に配置される出力鏡１１を備えるエンドプレート１５と、放電管２ａの一端に配置されるリア鏡１２を備えるエンドプレート１６と、両端がそれぞれエンドプレート１５、１６に固定された４本の支持棒２１〜２４とを備える。放電管連結ホルダ５は、クランプ（剛性部材）２５を介して下側の支持棒２１、２２に固定され、クランプ（弾性部材）２６、２７を介して上側の支持棒２３、２４に連結される。 （もっと読む）

【課題】選択的に切替可能な複数の発振モードを有する露光装置において、安定な露光制御を可能にする。
【解決手段】選択的に切替可能な複数の発振モードを有し、各発振モードに応じた発振条件でレーザ光を発振するレーザ光源において、レーザ光を発振する発振器と、複数の発振モード毎にレーザ光の発振を制御するための制御データを有し、複数の発振モードのうち選択された発振モードに対応する制御データに基づいて発振器からのレーザ光の発振を制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
レーザ出力エネルギーの増加に伴うウィンドウの劣化を、レーザチャンバを複雑にすることなく簡素な構造で抑制する。
【解決手段】
レーザチャンバに取り付けられるウィンドウのレーザチャンバ内部側の面を凹面する。こうした構成によると、レーザチャンバの内部側からウィンドウに入射する光は、チャンバ内部側の面で、レーザ光軸と平行する平行光からレーザ光軸を中心にして発散する発散光に変化する。このためチャンバ外部側の面に達する光は、チャンバ内部側の面に入射したときよりもビーム幅が拡大される。するとチャンバ外部側の面におけるレーザ光のピークエネルギー密度が低くなるため、チャンバ外部側の面の劣化が抑制される。 （もっと読む）

【課題】予備電離開始タイミングを早め、かつ予備電離強度を高くすることで、より効率のよい安定した放電を実現する。
【解決手段】中空状の絶縁管と、前記絶縁管内に配されるワイヤ電極とを備え、前記ワイヤ電極に高電圧パルスを印加することで放電を発生させ、主放電空間に予備電離を発生させる予備電離電極において、前記絶縁管の表面に前記絶縁管の絶縁材料とは異なる誘電率及び電子放出性が高い絶縁材料からなる絶縁層を溶射により形成し、前記絶縁層が形成された絶縁管の軸は、主放電電極の長手方向に沿って延びるように主放電空間の側方に設けることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 必要ガス流速の増大及びファンへの投入電力の増大を抑え、４ｋＨｚ以上のさらなる高繰り返し動作と長時間使用を可能にした放電励起式パルス発振ガスレーザ装置。【解決手段】 細長いアノードとカソードの放電面形状が、電極長手方向に直交する断面において凸面の曲線形状であり、接地電位の電極の幅Ｗｅと放電電極間の最小間隔ｇがｇ／Ｗｅ＞３の関係を有し、放電電極間へ４ＫＨｚ以上のパルス繰り返し数で、５０ｍＪ／ｃｍ³ 以上の密度の電力を供給する電源を備えており、放電面の凸面の曲線形状が、楕円、双曲線、又は、ｘ^N ／（Ｗｅ／２）^N ＋ｙ^N ／ｈ^N ＝１（ｈは電極曲線部高さ、ｘは電極の幅方向の位置座標、ｙは電極の凸面方向の座標、Ｎは３以上の整数）で表現される高次関数の何れかであり、電極幅内において、ΔＥ＝電界強度の差、Ｅave ＝電界強度平均値とし、その割合ΔＥ／Ｅave が３５％以下である。 （もっと読む）

【課題】 送風効率の低下を最低限に抑えた、信頼性の高い、レーザ発振器用のブロワを提供すること。
【解決手段】 レーザ発振器（１００）でレーザ媒質を放電管（１０２）と循環路（１０４）との間で循環させるためのブロワ（１０、２０、１２０）が、吸気ポート（１２ａ）および排気ポート（１２ｂ）を有したケーシング（１２）と、吸気ポートおよび排気ポートを臨むようにケーシング内に回転自在に支持された翼（１６ｂ）とを具備し、翼は、その径の大きさが回転中心線（Ｏ）に垂直な断面の位置により異なる形状をしており、該翼の径が相対的に大きい部分の該翼とケーシングとの隙間（Ｇ_o）が、翼の径が相対的に小さい部分の該翼とケーシングとの隙間（Ｇ_i）より広くなるようにした。 （もっと読む）