【課題】酸化物をチャネル及びゲート絶縁層に適用した薄膜トランジスタの高性能化、又はそのような薄膜トランジスタの製造プロセスの簡素化と省エネルギー化を実現する。
【解決手段】本発明の１つの薄膜トランジスタ１００は、ゲート電極２２０とチャネル４０との間に、ゲート電極２０に接する、ビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる第１酸化物（不可避不純物を含み得る）の層３２と、チャネル４０に接する、ランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）とからなる酸化物、ランタン（Ｌａ）とジルコニウム（Ｚｒ）とからなる酸化物、及びストロンチウム（Ｓｒ）とタンタル（Ｔａ）とからなる酸化物の群から選択される１種の第２酸化物（不可避不純物を含み得る）の層３４との積層酸化物３０を備え、チャネル４０が、インジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなるチャネル用酸化物（不可避不純物を含み得る）である。 （もっと読む）

【課題】
形状に限定されることなく、柔軟性ないし可撓性を有し、任意の形状の各種装置を作成することが可能な素子を用いた集積装置を提供すること。
【解決手段】
回路素子が長手方向に連続的又は間欠的に形成されている素子、回路を形成する複数の領域を有する断面が長手方向に連続的又は間欠的に形成されている素子を複数複数束ね、撚り合せ、織り込み又は編み込み、接合し、組み合わせて成形加工し又は不織状に成形したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】例えば、チタン酸ストロンチウムを活性層とした電界効果トランジスタのゲート絶縁体としても使用することのできる、新規な絶縁体を提供することを目的とする。
【解決手段】絶縁性を示す材質中に直径５〜１００ｎｍである空孔を複数有し、全体の体積に対する前記空孔の占める体積の割合である空孔率が２０体積％以上であり、前記空孔には水分が含まれ、前記空孔の体積に対する前記水分の占める体積の割合である水分占有率が２３〜１００体積％である多孔性絶縁体を使用する。 （もっと読む）

【課題】縦型のトランジスタにおいてゲートからシリサイドの位置を精度よく制御できるようにする。
【解決手段】柱状半導体１４の中央部には、その周囲を囲むように、ゲート絶縁膜９が形成され、さらに、ゲート絶縁膜９の周囲を囲むように、ゲート層６が形成されている。この柱状半導体１４の中央部、ゲート絶縁膜９、ゲート層６により、ＭＩＳ構造が形成されている。ゲート層６の上下には、第１絶縁膜４が形成されている。第１絶縁膜４は、柱状半導体１４にも接している。柱状半導体１４の側面には、シリサイド１８及びｎ型拡散層（不純物領域）１９が形成されている。シリサイド１８は、第１絶縁膜４によってセルフ・アラインされた位置に形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイス製造する方法を提供すること。
【解決手段】１つの実施形態において、半導体デバイスを作製する方法は、ａ）有機半導体層を提供する工程；ｂ）反応性種を有機半導体層の一部に堆積させる工程；ｃ）反応性種をこの有機層の一部と反応させ、誘電層を形成する工程、を包含する。別の実施形態において、半導体デバイスを作製する方法は、ａ）有機半導体層を提供する工程；ｂ）有機半導体層の表面を放射線に露光し、誘電層を形成する工程、を包含する。別の実施形態において、トランジスタを作製する方法は、：ａ）ゲート電極に隣接して有機半導体層を提供する工程；ｂ）電気化学的セルを提供する工程であって、ゲート電極が、電気化学的セルの１つの電極である、工程；ｃ）ゲート電極に電圧を印加して電気化学反応を起こし、ゲート誘電を、ゲート電極と有機半導体層との間に形成する工程、を包含する。 （もっと読む）

【課題】任意の方向に傾斜した開口部を形成可能な基板の製造方法、半導体装置の製造方法、およびこれを適用した半導体装置を備えた電気光学装置を提供すること。
【解決手段】本適用例の素子基板１０１の製造方法は、素子基板１０１上に設けられた半導体装置としてのＴＦＴ１１０を覆うと共に第１開口部としての孔１０４ａが設けられた第２絶縁膜としての層間絶縁膜１０４をマスクとして、素子基板１０１の面法線１０１ａと交差する一の方向からドライエッチングを第１絶縁膜としてのゲート絶縁膜１０３に施して、孔１０４ａに連通すると共にＴＦＴ１１０のドレイン電極１１０ｄに開口する第２開口部としての孔１０３ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴの工程を複雑化させることなくシステムオンパネル化を実現し、なおかつコストを抑えることができる液晶表示装置の提案を課題とする。
【解決手段】画素部に液晶素子と、液晶素子に印加される電圧を制御するＴＦＴとを有する画素が設けられており、駆動回路が有するＴＦＴと、液晶素子に印加される電圧を制御するＴＦＴとは、ゲート電極とゲート電極上に形成されたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜を間に挟んでゲート電極と重なっている第１の半導体膜と、第１の半導体膜上に形成された一対の第２の半導体膜とを有し、一対の第２の半導体膜には一導電型を付与する不純物が添加されており、第１の半導体膜はセミアモルファス半導体で形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】少なくとも２種類以上の同じ有機化合物を用いてp型、n型両方の有機薄膜トランジスタを作り分けることができ、かつ、有機電極も同時に作製可能となるプロセスアビリティーの高い有機半導体素子およびそれを使った電気回路を提供することにある。さらに、有機電導体、有機超電導体、有機磁性体、有機熱電素子、有機エレクトロクロミック素子、有機エレクトロルミネセンス素子等への応用が可能であること。
【解決手段】少なくとも２種類以上の有機化合物からなる有機電極と、少なくとも１種類以上の有機電極構成成分から選ばれた有機化合物を主成分とする有機半導体活性層から構成された有機半導体素子膜を有する有機薄膜トランジスタ。 （もっと読む）

【課題】電気特性が良好で信頼性の高い薄膜トランジスタ及び当該薄膜トランジスタをスイッチング素子として用いた表示装置を提供することを課題とする。
【解決手段】チャネル形成領域に酸化物半導体を用いたチャネル保護型の薄膜トランジスタであって、加熱処理により脱水化または脱水素化された酸化物半導体層を活性層に用い、チャネル形成領域の表層部にはナノクリスタルで構成された結晶領域を有し、その他の部分は非晶質、または非晶質領域中に微結晶が点在した非晶質と微結晶の混合物で形成されている。この様な構成をした酸化物半導体層を用いることにより、表層部からの水分の再侵入や酸素の脱離によるＮ型化や寄生チャネル発生の抑制、及びソース電極及びドレイン電極との接触抵抗を下げることができる。 （もっと読む）

【課題】トランジスタを比較的低温で製造する。
【解決手段】下部ゲート絶縁膜４４をコントロールゲート４２を構成する金属（アルミニウム）の酸化物により形成された下部酸化物層４４ａと自己組織化単分子膜により形成された下部ＳＡＭ層４４ｂとにより構成し、上部ゲート絶縁膜４８をフローティングゲート４６を構成する金属（アルミニウム）の酸化物により形成された上部酸化物層４８ａと自己組織化単分子膜により形成された上部ＳＡＭ層４８ｂとにより構成した。これにより、メモリセル４０を比較的低温で製造することができる。 （もっと読む）

【課題】絶縁層上の半導体層に形成されたトランジスターの閾値電圧のバラツキを低減できるようにした半導体装置を提供する。
【解決手段】絶縁層上に半導体層が形成された基板と、前記半導体層に形成されたトランジスターと、を備え、前記トランジスターは、前記半導体層上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記ゲート電極の両側下の前記半導体層に形成されたソース又はドレインと、前記ゲート電極直下の前記半導体層において前記トランジスターのゲート幅方向に沿って電流を流すための入力側端子及び出力側端子と、を有する。 （もっと読む）

【課題】大面積の検出器を安価に製造することができる光または放射線検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の検出器の製造方法によれば、絶縁基板に直接ではなく、第１凸版１１の表面に成膜してからこれを絶縁基板に転写することで検出器が生成される。これにより、絶縁基板１に対する工程は全て大気中で行うことが可能である。そうすれば、大型の成膜装置が必要でなくなり、絶縁基板を自由に大型化することができるうえ、検出器の製造コストを抑制することができるのである。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも一層の誘電体層を有する電子装置であって、該誘電体層が少なくとも一種のラジカル架橋可能な化合物に基づく架橋有機化合物を含むもの、及び該電子装置の製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 非対称型半導体デバイス、及びその製造の際にスペーサ・スキームを用いる方法を提供する
【解決手段】 高ｋゲート誘電体の表面上に配置された非対称型ゲート・スタックを含む半構造体が提供される。非対称型ゲート・スタックは、第１の部分と第２の部分とを含み、第１の部分は、第２の部分とは異なる閾値電圧を有する。本発明の非対称型ゲート・スタックの第１の部分は、下から上に、閾値電圧調整材料及び少なくとも第１の導電性スペーサを含み、本発明の非対称型ゲート・スタックの第２の部分は、ゲート誘電体の上の少なくとも第２の導電性スペーサを含む。幾つかの実施形態において、第２の導電性スペーサは、下にある高ｋゲート誘電体と直接接触しており、他の実施形態においては、第１及び第２の導電性スペーサは、前記閾値電圧調整材料と直接接触している。 （もっと読む）

【課題】シリコン層の表面をケミカル酸化膜で保護した状態で低酸素分圧酸化を行うことにより、膜厚の面内均一性が高くて且つ欠陥の少ない極めて薄い界面酸化膜を得ることが可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】被処理体Ｗのシリコン層の表面に、ゲート絶縁膜との間に介在される界面酸化層を形成する成膜方法において、シリコン層をケミカル洗浄処理することによってケミカル酸化膜を形成するケミカル酸化膜形成工程と、ケミカル酸化膜の形成された被処理体に対して酸素分圧が０．２〜２Ｐａの範囲内の雰囲気中で熱処理を施すことにより界面酸化膜を形成する熱処理工程とを有する。これにより、シリコン層の表面をケミカル酸化膜で保護した状態で低酸素分圧酸化を行うことで、膜厚の面内均一性が高くて且つ欠陥の少ない極めて薄い界面酸化膜を得る。 （もっと読む）

【課題】アゾール−金属錯化合物をゲート絶縁層として使用される有機薄膜トランジスタの製造方法を提供する。
【解決手段】自己組織化ゲート絶縁層を作成する方法は、水性溶液中でパターン化ゲート電極上にアゾール−金属錯化合物が自己形成され且つゲート絶縁層の役割を果たすことを可能とする水性処理法。有機薄膜トランジスタ（ＯＴＦＴ）は上記ゲート絶縁層に使用される上記アゾール−金属錯化合物を含むことから、簡素で迅速かつ容易な様式で低コストにて大量に製造される。 （もっと読む）

【課題】高い電流駆動力を有するｎ型半導体素子を提供する。
【解決手段】第１の主面を有し、ＩＩＩ族の不純物を含み、１．２＜Ｎ＜１０を満たすＮを用いて（１１Ｎ）面と表される、ないしはそれと結晶学的に等価な第１の面方位のみを前記第１の主面に有する、シリコンとゲルマニウムとの混晶層と、前記第１の主面上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、前記混晶層の［１１０］方向ないしそれと結晶学的に等価な方向に、前記ゲート電極を挟む様に形成され、Ｖ族の不純物を含む半導体よりなるソース・ドレイン領域と、を有し、前記混晶層は面内方向に圧縮歪みが印加されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プログラマブルＭＯＳＦＥＴ（１０５）とロジックＭＯＳＦＥＴ（１１０）とを含むメモリデバイスを同一チップ上に形成する。
【解決手段】半導体基板を被う層状ゲート積層体の成形から始まり、層状ゲート積層体の高ｋゲート電極層上で停止するよう金属ゲート電極層にパターンを形成して、半導体基板上に第１、第２ゲート金属ゲート電極（１６、２１）を形成するメモリデバイスの製法が提供される。次のプロセスで、高ｋゲート誘電体層の一部を被う少なくとも１つのスペーサ（５５）を第１ゲート電極（１６）に形成する。高ｋゲート誘電体層の露出された残存部分をエッチングし、第１金属ゲート電極のサイドウォールを越えて延びる部分を有する第１高ｋゲート誘電体（１７）及び第２金属ゲート電極（２１）のサイドウォールに整合されたエッジを有する第２高ｋゲート誘電体（２２）を形成する。 （もっと読む）

【課題】向上したインクジェットドロップ・キャストプリント技術を用いて有機ＯＦＥＴのような、プリントされた、有機的もしくはプラスチック電子素子又はポリマー半導体素子のアクティブ領域又はチャネルが得られる。
【解決手段】チャネルのアクティブチャネル領域に配向性の良好な有機結晶の直接成長を達成するために二液体システムを使用する。結晶化の結果として形成された結晶は、最も高い移動性方向に適した分子配向を有し、粒界がないこと、及び低いトラップ密度により高いキャリア移動性及び低い閾値電圧を有する高性能電気的特性を得ることができる。溶液間の疎水性−親水性相互作用を利用してフレキシブルディスプレイ、電子信号系、光起電性パネル、メンブレンキーボード、ＲＦＩＤ（radio frequency identification tag）、電子センサ、及び集積電子回路に適用可能な安価型量産可能なプリントできる電子装置の製造に使用される。 （もっと読む）

【課題】熱的および化学的に安定な酸化ゲルマニウムの製造方法を提供する。
【解決手段】ｐ型Ｇｅからなる基板１は、純水および０．１％ＨＦによって洗浄され、その後、超純水によってリンスされる（工程（ａ）参照）。その後、基板１は、３３％の過酸化水素水３に、６０秒間、浸漬される（工程（ｂ）参照）。これによって、酸化ゲルマニウム膜４が基板１の一主面に形成される。 （もっと読む）