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Fターム[5F110HK40]の内容

薄膜トランジスタ (412,022) | ソース、ドレイン−低抵抗層 (42,553) | 低抵抗層の製法 (10,751) | シリサイド化 (743)

Fターム[5F110HK40]に分類される特許

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【課題】専有面積が小さく、高集積化、大記憶容量化が可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】書き込み用トランジスタと読み出し用トランジスタで、共通のビット線を使用することで、単位メモリセル当たりの配線数を削減する。情報の書き込みは、書き込み用トランジスタをオン状態とすることにより、書き込み用トランジスタのソース電極またはドレイン電極の一方と、読み出し用トランジスタのゲート電極が電気的に接続されたノードに、ビット線の電位を供給し、その後、書き込み用トランジスタをオフ状態とすることにより、ノードに所定量の電荷を保持させる。情報の読み出しは、容量素子に接続された信号線を読み出し信号線とするか、もしくは、読み出し用のトランジスタのソース電極またはドレイン電極の一方と接続された信号線を読み出し信号線として、読み出し信号線に読み出し用の電位を供給し、その後、ビット線の電位を検知することで行う。 (もっと読む)


【課題】専有面積が小さく、高集積化、大記憶容量化が可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】書き込み用トランジスタと読み出し用トランジスタで、共通のビット線を使用することで、単位メモリセル当たりの配線数を削減する。情報の書き込みは、書き込み用トランジスタをオン状態とすることにより、書き込み用トランジスタのソース電極またはドレイン電極の一方と、読み出し用トランジスタのゲート電極が電気的に接続されたノードにビット線の電位を供給し、その後、書き込み用トランジスタをオフ状態とすることにより、ノードに所定量の電荷を保持させる。情報の読み出しは、読み出し用トランジスタのソース電極またはドレイン電極の一方と接続された読み出し信号線に、所定の読み出し用の電位を供給し、その後、ビット線の電位を検知することで行う。 (もっと読む)


【課題】 ソース・ドレイン電極と半導体膜との接触抵抗を低減し、移動度特性を向上した薄膜トランジスタを提供する。さらに、それを用いた高性能の表示装置を提供する。
【解決手段】 板上に形成されたゲート電極と、前記ゲート電極を覆うようにして前記基板上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成された半導体膜と、少なくとも各々の一部が前記半導体膜上に形成され、ソース電極及びドレイン電極として機能する一対の電極と、を具備する薄膜トランジスタであって、前記半導体膜は、GeあるいはSi及びGeを含有し、前記一対の電極の各々は、ボロンあるいはV族元素を含有する金属膜で形成され、前記一対の電極の各々と前記半導体膜との間に、ジャーマノシリサイドあるいは金属−Ge間化合物が形成されている。 (もっと読む)


【課題】高速動作が可能な絶縁ゲート型FETによる駆動回路で表示装置を形成し、さらに、単位画素当たりの画素電極の面積を小さくしても十分な保持容量が得られるアクティブマトリクス型表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】単結晶半導体を活性層とした絶縁ゲート型電界効果トランジスタによるアクティブマトリクス回路を備えた半導体装置において、前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタ上に有機樹脂絶縁層を形成し、該有機樹脂絶縁層上に形成された遮光層と、該遮光層に密接して形成された誘電体層と、前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタに接続された光反射性電極とから保持容量を形成する。 (もっと読む)


【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】第1のトランジスタと第2のトランジスタと容量素子とを各々含む複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、メモリセルの一と他のメモリセルとを接続する配線(ビット線とも呼ぶ)と、第1のトランジスタにおけるソース電極またはドレイン電極と、が、第2のトランジスタにおけるソース電極またはドレイン電極を介して電気的に接続した構成とした半導体装置を提供する。これにより、第1のトランジスタにおけるソース電極またはドレイン電極と、第2のトランジスタにおけるソース電極またはドレイン電極と、を異なる配線に接続する場合と比較して配線の数を削減することができるため、半導体装置の集積度を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】半導体装置の信頼性を向上する。
【解決手段】メモリセルMCは、半導体基板1の主面上のゲート絶縁膜5を介して設けられたコントロールゲート電極CGと、コントロールゲート電極CGの側面および半導体基板1の主面に沿って設けられたONO膜9と、ONO膜9を介してコントロールゲート電極CGの側面および半導体基板1の主面上に設けられたメモリゲート電極MGとを有する。コントロールゲート電極CGおよびメモリゲート電極MGの上部には、シリサイド膜15およびシリサイド膜15の表面の酸化によって形成された絶縁膜51が設けられている。 (もっと読む)


【課題】複雑な作製工程を必要とせず、消費電力を抑えることができる記憶装置、当該記憶装置を用いた信号処理回路の提供を目的の一つとする。
【解決手段】インバータまたはクロックドインバータなどの、入力された信号の位相を反転させて出力する位相反転素子を用いた記憶素子内に、データを保持するための容量素子と、当該容量素子における電荷の蓄積及び放出を制御するスイッチング素子とを設ける。上記スイッチング素子には、酸化物半導体をチャネル形成領域に含むトランジスタを用いる。そして、上記記憶素子を、信号処理回路が有する、レジスタやキャッシュメモリなどの記憶装置に用いる。 (もっと読む)


【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い半導体装置を提供する。
【解決手段】第1の配線と、第2の配線と、第3の配線と、第4の配線と、第1のトランジスタ160と、第2のトランジスタ162と、を有し、第1のトランジスタ160は、半導体材料を含む基板に設けられ、第2のトランジスタ162は酸化物半導体層を含んで構成され、第1のトランジスタ160のゲート電極と、第2のトランジスタ162のソース・ドレイン電極とは、電気的に接続され、第1の配線と、第1のトランジスタ160のソース電極とは、電気的に接続され、第2の配線と、第1のトランジスタ160のドレイン電極とは、電気的に接続され、第3の配線と、第2のトランジスタ162のソース・ドレイン電極の他方とは、電気的に接続され、第4の配線と、第2のトランジスタ162のゲート電極とは、電気的に接続される。 (もっと読む)


【課題】不揮発性記憶装置と揮発性記憶装置の双方のメリットを享受する記憶装置を提供する。
【解決手段】基板または基板上に設けられた第1のトランジスタと、第1のトランジスタよりも上に設けられた第2のトランジスタを有する半導体装置において、第1のトランジスタと第2のトランジスタの少なくとも一部を重畳させ、第1のトランジスタのゲート電極と、第2のトランジスタのソース電極またはドレイン電極を電気的に接続させる。第1のトランジスタとしてはシリコン単結晶により設けられたものが好ましく、第2のトランジスタとしてはオフ電流が極端に小さい酸化物半導体により設けられたものが好ましい。 (もっと読む)


【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】酸化物半導体を用い、オフ状態でのソースとドレイン間のリーク電流(オフ電流)が少ない書き込み用トランジスタ、該書き込み用トランジスタと異なる半導体材料を用いた読み出し用トランジスタ及び容量素子を含む不揮発性のメモリセルを有する半導体装置を提供する。該メモリセルへの情報の書き込み及び書き換えは、書き込み用トランジスタをオン状態とすることにより、書き込み用トランジスタのソース電極またはドレイン電極の一方と、容量素子の電極の一方と、読み出し用トランジスタのゲート電極とが電気的に接続されたノードに電位を供給し、その後、書き込み用トランジスタをオフ状態とすることにより、ノードに所定量の電荷を保持させることで行う。 (もっと読む)


【課題】異なる特性の半導体素子を一体に有しつつ、高集積化が実現可能な、新たな構成の半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】第1の半導体材料が用いられた第1のチャネル形成領域と、第1のゲート電極と、を含む第1のトランジスタと、第1のゲート電極と一体に設けられた第2のソース電極および第2のドレイン電極の一方と、第2の半導体材料が用いられ、第2のソース電極および第2のドレイン電極と電気的に接続された第2のチャネル形成領域と、を含む第2のトランジスタと、を備えた半導体装置である。 (もっと読む)


【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供する。
【解決手段】酸化物半導体OSを用い、オフ状態でのソースとドレイン間のリーク電流(オフ電流)が少ない書き込み用トランジスタ162、書き込み用トランジスタ162と異なる半導体材料を用いた読み出し用トランジスタ160及び容量素子164を含む不揮発性のメモリセルを有する半導体装置において、メモリセルへの情報の書き込みは、書き込み用トランジスタ162のソース電極またはドレイン電極の一方と、容量素子164の電極の一方と、読み出し用トランジスタ160のゲート電極とが電気的に接続されたノードFGに電位を供給し、ノードFGに所定量の電荷を保持させることで行う。書き込みを1×10回行う前後において、メモリセルのメモリウィンドウ幅の変化量は2%以内である。 (もっと読む)


【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】ソース線と、ビット線と、第1の信号線と、第2の信号線と、ワード線と、ソース線とビット線との間に、接続されたメモリセルと、ビット線と電気的に接続された第1の駆動回路と、第1の信号線と電気的に接続された第2の駆動回路と、第2の信号線と電気的に接続された第3の駆動回路と、ワード線及びソース線と電気的に接続された第4の駆動回路と、を有し、第1のトランジスタは、酸化物半導体以外の半導体材料を用いて構成され、第2のトランジスタは、酸化物半導体材料を含んで構成される。 (もっと読む)


【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】ソース−ビット線と、第1の信号線と、第2の信号線と、ワード線と、ソース−ビット線の間に接続されたメモリセルと、を有し、メモリセルは、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、容量素子と、を有し、第2のトランジスタは、酸化物半導体材料を含んで構成され、第1のトランジスタのゲート電極と、第2のトランジスタのソース電極またはドレイン電極の一方と、容量素子の電極の一方とは、電気的に接続され、ソース−ビット線と、第1のトランジスタのソース電極とは、電気的に接続され、該ソース−ビット線と隣り合うソース−ビット線と、第1のトランジスタのドレイン電極とは、電気的に接続された半導体装置。 (もっと読む)


【課題】IGBTを構成するバイポーラトランジスタのターンオフ時間を短くし、かつIGBTを構成するバイポーラトランジスタを動作しやすくする。
【解決手段】シンカー層115は第1導電型ウェル102及び第2導電型ドリフト層104それぞれに接しており、かつ第1導電型コレクタ層108から離れている。シンカー層115の表層には、第2導電型拡散層(第2の第2導電型高濃度拡散層)116が形成されている。第2導電型拡散層116はシンカー層115より不純物濃度が高い。第2導電型拡散層116と第1導電型コレクタ層108は、素子分離絶縁膜16を介して互いに分離している。 (もっと読む)


【課題】記憶保持期間において、電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供する。
【解決手段】酸化物半導体以外の半導体材料が用いられた第1のチャネル形成領域を有する第1のトランジスタ160と、第1のトランジスタ160の上方の、酸化物半導体材料が用いられた第2のチャネル形成領域を有する第2のトランジスタ162と、容量素子164と、を有し、第2のトランジスタ162の第2のソース電極または第2のドレイン電極の一方と、容量素子164の電極の一方とは、電気的に接続される。 (もっと読む)


【課題】簡易なプロセスで、高い埋め込み性を確保する必要のない半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体装置の製造方法では、まず支持基板SSと、埋め込み絶縁膜BOXと半導体層SLとがこの順で積層された構成を有する半導体基板SUBが準備される。半導体層SLの主表面に、導電部分を有する素子が完成される。上記素子を平面視において取り囲む溝DTRが、半導体層SLの主表面から埋め込み絶縁膜BOXに達するように形成される。上記素子上を覆うように、かつ溝DTR内に中空を形成するように素子上および溝DTR内に第1の絶縁膜(層間絶縁膜II)が形成される。上記第1の絶縁膜に素子の導電部分に達する孔であるコンタクトホールCHが形成される。 (もっと読む)


【課題】複雑な作製工程を必要とせず、消費電力を抑えることができる記憶装置、当該記憶装置を用いた半導体装置の提供を目的の一つとする。
【解決手段】インバータまたはクロックドインバータなどの、入力された信号の位相を反転させて出力する位相反転素子を用いた記憶素子内に、データを保持するための容量素子と、当該容量素子における電荷の蓄積及び放出を制御するスイッチング素子とを設ける。上記スイッチング素子には、酸化物半導体をチャネル形成領域に含むトランジスタを用いる。位相反転素子への電源電圧の印加を停止する場合、データを容量素子に記憶させることで、位相反転素子への電源電圧の供給を停止しても、容量素子においてデータを保持させる。 (もっと読む)


【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】チャネル形成領域と、第1のゲート絶縁層と、第1のゲート電極と、第1のソース電極及び第1のドレイン電極と、を有する第1のトランジスタと、酸化物半導体層と、第2のソース電極及び第2のドレイン電極と、第2のゲート絶縁層と、第2のゲート電極と、を有する第2のトランジスタと、第2のソース電極または第2のドレイン電極の一方と、第2のゲート絶縁層と、第2のゲート絶縁層上に第2のソース電極または第2のドレイン電極の一方と重畳するように設けられた電極と、を有する容量素子と、を有し、第1のゲート電極と、第2のソース電極又は第2のドレイン電極の一方とは電気的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】新規な不揮発性のラッチ回路及びそれを用いた半導体装置を提供する。
【解決手段】第1の素子の出力は第2の素子の入力に電気的に接続され、第2の素子の出力は第2のトランジスタを介して第1の素子の入力に電気的に接続されるループ構造を有するラッチ回路であって、チャネル形成領域を構成する半導体材料として酸化物半導体を用いたトランジスタをスイッチング素子として用い、またこのトランジスタのソース電極又はドレイン電極に電気的に接続された容量を有することで、ラッチ回路のデータを保持することができる。これにより不揮発性のラッチ回路を構成することができる。 (もっと読む)


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