【課題】 寄生ダイオードの逆回復時間を短縮でき、スイッチング損失の低減が図れるＬＤＭＯＳトランジスタを低コストで提供する。
【解決手段】 ＬＤＭＯＳトランジスタＴ１が、ｐ型半導体基板１内にｐ型ボディ領域２とｐ型埋め込み拡散領域３とｎ型ドリフト領域６を、ボディ領域２内にｎ型ソースコンタクト領域４とｐ型ボディコンタクト領域５を、ドリフト領域６内にｎ型ドレインコンタクト領域７を、ソースコンタクト領域７とドリフト領域６間のボディ領域２の上方にゲート絶縁膜８を、ゲート絶縁膜８上にゲート電極９を夫々備えて形成され、ドリフト領域６とボディ領域２は相互に接触し、埋め込み拡散領域３が、ボディ領域２の底面と接触するボディ領域２よりも深い位置に、半導体基板１の表面に平行な方向に、少なくともボディ領域２からドレインコンタクト領域７のボディ領域２から最も離間した遠方端の下方まで延在している。 （もっと読む）

【課題】ソース電極とドレイン電極間の容量を低減し、スイッチングロスを減らすことができるスイッチング素子、及び該スイッチング素子を搭載した効率が向上した電源装置の提供。
【解決手段】Ｓｉ基板１と、該Ｓｉ基板１上に形成されたソース電極８及びドレイン電極９を有してなり、ソース電極８及びドレイン電極９の配置方向と直交する方向の層中であって、ソース電極８及びドレイン電極９のいずれか一方のみと接している領域に、ｐ型領域とｎ型領域が接している部分２４であるｐｎ接合を少なくとも１つ有するスイッチング素子である。 （もっと読む）

【課題】 デバイスのゲートとソースとの間の低い直列抵抗を維持し、同時に、ゲートからドレインへの過剰なオーバーラップによって形成される悪影響を最小限にするＦＥＴデバイスの製造を可能にする。
【解決手段】半導体基板の上に少なくとも１対の隣接して離間配置された、オフセット・スペーサ１１４を備えるゲート構造体１０２の上にスペーサ層１３２を形成するステップであって、ゲート構造体は、スペーサ層がゲート構造体間の領域で第１の厚さで形成され、その他の場所で第２の厚さで形成されるように離間配置され、第２の厚さは第１の厚さより厚い、ステップと、１対の隣接して離間配置されたゲート構造体のオフセット・スペーサに隣接して非対称スペーサ構造体１２４ａ、ｂを形成するようにスペーサ層をエッチングするステップとを含み、非対称スペーサ構造体は、ソース及びドレイン領域の画定において用いられる。 （もっと読む）

【課題】ＩＧＢＴのＥＳＤ耐性を高くしつつ、ＩＧＢＴのバイポーラトランジスタを確実に動作させる。
【解決手段】シンカー層１１５は第１導電型ウェル１０２に接しており、かつ第１導電型コレクタ層１０８及び第２導電型ドリフト層１０４から離れている。シンカー層１１５の表層には、第２導電型拡散層（第２の第２導電型高濃度拡散層）１１６が形成されている。第２導電型拡散層１１６はシンカー層１１５より不純物濃度が高い。第２導電型拡散層１１６と第１導電型コレクタ層１０８は、素子分離絶縁膜１６を介して互いに分離している。 （もっと読む）

基板（１１）上に形成されたフィン型半導体領域（１３）の両側部にエクステンション領域（１７）が設けられている。フィン型半導体領域（１３）を跨ぐと共にエクステンション領域（１７）と隣り合うようにゲート電極（１５）が形成されている。ゲート電極（１５）と隣り合う領域のフィン型半導体領域（１３）の上部に、エクステンション領域（１７）よりも高い抵抗率を有する抵抗領域（３７）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】超短チャネル長化でき、Ｓｉ層厚一定によって閾値を変化させずにＯＮ電流を増加でき、さらにバックゲートにより閾値も動的に変更できる縦型トランジスタ構造を備えた半導体装置および半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板２上に、中心軸Ｍが基板２面と垂直方向に形成されてなる筒型の基柱３と、基柱３の上部と下部に、中心軸Ｍを中心とする同心形状に形成された第１導電型からなるソース・ドレイン拡散層４ａ，４ｂと、ソース・ドレイン拡散層４ａ，４ｂに挟まれた基柱３の中間部に形成された第１導電型からなるボディ層と、基柱３の側面にゲート絶縁膜６を介して形成されたフロントゲート電極７とを備えたことを特徴とする。また、第２導電型からなるバックゲート電極８が、基柱３の内側に上部から下部まで貫通する柱状に形成されてなることとする。 （もっと読む）

横型トレンチＭＯＳＦＥＴは、装置セグメントとゲートバスセグメントとを含むトレンチを備える。トレンチのゲートバスセグメントは、基板を覆って存在する誘電体層に形成される導電性プラグによってコンタクトされ、これにより従来の表面ポリシリコンブリッジ層が不要となる。導電性プラグは、誘電体層にある実質的に垂直な穴に形成される。ゲートバスセグメントは、トレンチの装置セグメントよりも幅が広くてもよい。この方法は、トレンチ中の導電性材料がエッチングされる間にシャロートレンチアイソレーション（ＳＴＩ）を形成するステップを含む。
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【課題】好適な特性を有するゲート絶縁膜及びゲート電極からなるＰ型ＦＥＴ及びＮ型ＦＥＴを備える半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｐ型ＦＥＴ形成予定領域とＮ型ＦＥＴ形成予定領域とにわたって、基板上にゲート絶縁膜を形成し、ゲート絶縁膜上にＰ型ＦＥＴ用のゲート電極層を形成し、Ｐ型ＦＥＴ形成予定領域とＮ型ＦＥＴ形成予定領域とにおいて、Ｐ型ＦＥＴ用のゲート電極層を加工することにより、Ｐ型ＦＥＴ形成予定領域にＰ型ＦＥＴ用のゲート電極を形成すると共に、Ｎ型ＦＥＴ形成予定領域にダミーゲート電極を形成し、Ｎ型ＦＥＴ形成予定領域において、ゲート絶縁膜上からダミーゲート電極を除去することにより、溝を形成し、溝にゲート電極材料を埋め込むことにより、ゲート絶縁膜上にＮ型ＦＥＴ用のゲート電極を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の特性ばらつきを抑えることが可能な半導体装置の製造方法及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ上にトランジスタ電極を形成する工程と、前記トランジスタ電極の加工形状を測定する工程と、測定された前記加工形状に基づき、不純物導入領域を予測する工程と、前記予測された不純物導入領域に対して、設計基準特性を得るための不純物導入条件を算出する工程と、前記算出された不純物導入条件で、前記半導体ウェハに不純物を導入する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 基板のフェルミ準位の影響を低減することができる半導体素子を提供する。
【解決手段】 半導体基板１の一方の面上に、この半導体基板１と同じ半導体材料を使用しドーパントの種類又は濃度を変えて緩衝層２を形成する。そして、緩衝層２上に夫々局所的に半導体層３ａ及び３ｂを形成し、この半導体層３ａ及び３ｂの対向する端部上及びこれらの間に、半導体基板１と同じ半導体材料を使用し、半導体層３ａ及び３ｂよりもドーパント濃度が低いチャネル層４を形成する。その際、緩衝層２の厚さＤ（ｎｍ）を、半導体基板１のフェルミ準位とチャネル層４のフェルミ準位との差Ｖ（ｅＶ）、半導体基板１の有効ドナーの濃度又は有効アクセプタの濃度Ｎ_Ｓ（ｍ^−３）、緩衝層２の有効ドナーの濃度又は有効アクセプタの濃度Ｎ_Ｂ（ｍ^−３）、チャネル長Ｌ（ｍ）、素電荷ｅ、緩衝層２の比誘電率ε_Ｂ、真空の誘電率をε_０から求められる下記数式の範囲内とする。
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