【課題】新規な方法で出射光の線幅を狭くする。
【解決手段】光源１０は、第１分極反転構造２２に第１入射光を出射する。第１分極反転構造２２は、第１入射光を波長変換して高調波を出射する。ファイバーカプラ３０は、第１分極反転構造２２から出力された高調波を、光源装置からの出射光と、フィードバック光とに分岐する。第２分極反転構造４２は、フィードバック光が入射される。第２分極反転構造４２は、フィードバック光を波長変換して、第２入射光を出射する。第２入射光は、第１入射光と同一波長を有する。第２入射光は、第１波長変換部に入射される。 （もっと読む）

【課題】マスタレーザの波長をスレーブレーザキャビティのモードの近傍に最高の精度で調整し、マスタソースとスレーブキャビティとの間の偏光制限を排除できる、光学装置を実現する。
【解決手段】本発明は、複数の波長で光線を放射する光学ソース(2)と、各々がホログラフィック媒体(MH)を備える少なくとも１つのレーザ(3)と、前記光学ソース(2)から派生した前記光線を前記少なくとも１つのレーザ(3)に注入する手段(FO,MCS,MUX,CO,IO,AV)と、を備え、前記ホログラフィック媒体(MH)は、ホログラムを生成することによって、前記少なくとも１つのレーザが少なくとも１つの発振モードで発振するように適合し、前記少なくとも１つの発振モードは、前記複数の波長の中の少なくとも１つの波長によって決定される光学装置(1)に関する。本発明は、前記光学ソースが、前記複数の波長で同時に放射する光源を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】単列構成で、パルスレーザ光の１パルス当り又は単位時間当りのエネルギーを抑えながら大きな出力を達成できる極端紫外光源用ドライバレーザを提供する。
【解決手段】このドライバレーザは、レーザ光をターゲットに照射することによりターゲットをプラズマ化して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置において用いられるドライバレーザであって、レーザ媒質としてＣＯ_２を用いて、時間と共に強度が増加するパルスレーザ光を生成する発振段レーザ装置と、発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザ光を、時間と共に減少する増幅率で増幅することにより、レーザ光のパルス幅を伸長する少なくとも１つの増幅器を含む増幅段装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 ガスレーザ装置は、レーザチャンバ１１と、レーザチャンバ１１の一方の側とその反対側に設置された光共振器と、レーザチャンバ内部に封入されたレーザガスと、レーザガスを励起する励起部と、レーザチャンバに設けられ、入射平面がフッ化カルシウム結晶の（１１１）結晶面に平行であり、励起されたレーザガスから発生するレーザ光の入射平面への入射角度は、２４．９°から６８．７３°の角度範囲内であり、フッ化カルシウム結晶が［１１１］軸を中心に回転され、真性複屈折が極小となる領域に設置される２つのウィンドウ１２，１３と、を備える ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 所望のパワーの光を出力することができる増幅用光ファイバ、及び、それを用いた光ファイバ増幅器及び共振器を提供する。
【解決手段】 コア５１と、コア５１を被覆するクラッド５２とを有する増幅用光ファイバ５０であって、コア５１は、所定の波長の光を少なくともＬＰ０１モード、及び、ＬＰ０２モード、及び、ＬＰ０３モードで伝播し、コア５１には、ＬＰ０１モード及びＬＰ０２モード及びＬＰ０３モードをパワーで規格化する場合における、ＬＰ０２モード及びＬＰ０３モードの少なくとも一方の強度がＬＰ０１モードの強度よりも強い領域のうち、前記ＬＰ０１モードの強度が前記ＬＰ０２モード及び前記ＬＰ０３モードの強度よりも強い領域よりも外周側の領域の少なくとも一部に、所定の波長の光を誘導放出する活性元素が、ＬＰ０１モードの強度がＬＰ０２モード及びＬＰ０３モードの強度よりも強い領域の少なくとも一部よりも高い濃度で添加される。 （もっと読む）

【課題】偏光モード結合の量と偏光モード分散とを減らすと共に偏光保持能を増加させたファイバを提供すること、及び大きな外側クラッドがファイバコア内モード結合の減少を確実にしながらポンプ光が内側クラッド内を導波されるような偏光保持ファイバ、システム及びファイバレーザを提供する。
【解決手段】偏光保持ファイバが、希土類ドープ材料でドープされた、マルチモードファイバコアと、マルチモードファイバコアを囲む第１クラッドと、第１クラッド内に設けられた応力生成領域であって、ファイバの特定の長さの範囲において波形歪みを生じさせることなく、マルチモードファイバコアにシングルモードの光を伝搬させる大きさの複屈折を、マルチモードファイバコアに生成する応力生成領域とを備える。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ出力値のレーザパルスを出力する固体レーザ発振器を得ること。
【解決手段】共振器１内に配置されて共振器１内でレーザビームＬ１の偏光方向Ｄ２１を規定するブリュースタウインドウ１６と、共振器１内に配置されるとともに所定量の入力パワーによって超音波を進行させ、これにより共振器１内のレーザビームＬ１を入力パワーに応じた量だけ回折させてレーザパルス毎にレーザ出力値を制御するＱスイッチ１０と、を備え、ブリュースタウインドウ１６で規定される偏光方向Ｄ２１と、超音波の進行方向Ｄ２２と、が平行方向となるよう、Ｑスイッチ１０が共振器１内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザで励起された固体レーザ素子の光出力を緑色レーザ光源装置の光出力として有効に使われることができるレーザ光源装置を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体レーザ３１から励起用レーザ光が入力される面に設けられ基本波長のレーザ光と波長変換素子３５で変換され出力されたレーザ光とを反射する第１の反射部材４２と波長変換素子３５で変換され出力されたレーザ光を透過してかつ基本波長のレーザ光を反射する第２の反射部材４６とを備え、基本波長を有するレーザ光路内で、第１の反射部材４２と第２の反射部材４６との間にレーザ光位相差発生手段５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、大きなコア寸法をもつシングルモード及びマルチモード穴あきファイバと、レーザ及び増幅器としてそのようなファイバを使用するデバイス及びシステムとを提供することを目的とする。
【解決手段】 様々なタイプの穴あきファイバは、光伝播をもたらす。様々な実施例において、例えば、大きなコアの穴あきファイバは、少数の層に配置された大きな穴で形成されたクラッド領域を有する。コアの周りの穴の層或いは列の数は、信号の基本モードと高次モードの漏れ損失を荒く調整するために使用され、それによって、与えられた長さのファイバに渡っての漏れで非基本モードが実質上除去されることを可能にする。基本モードの望ましい漏れ損失での望ましい動作をもたらすために、漏れ損失の細かい調整が穴寸法及び或いは穴間隔を調節することで行われる。 （もっと読む）

【課題】高安定出力の半導体レーザ励起共振器内波長変換レーザ光を得る。
【解決手段】基本波レーザ光（Ｌ２）を出射する固体レーザ媒質（４）として端面（４ａ，４ｂ）を非平行にした複屈折性レーザ結晶を用いて基本波レーザ光（Ｌ２）の異なる偏波（Ｌ２１，Ｌ２２）は異なる角度で出射させる。半導体レーザ（１）からの励起レーザ光（Ｌ１）を固体レーザ媒質（４）に入射させると共に角度選択性により基本波レーザ光の一つの偏波（Ｌ２１）のみに対して共振器（２０）を構成する体積型ホログラフィック・グレーティング（３）を備える。共振器（２０）内に波長変換素子（９）を置く。
【効果】励起波長と発振波長とが近接している場合でも誘電体多層膜ミラーのような問題を生じない。波長変換素子（９）における波長変換効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】励起光の偏波を管理する必要がない偏波保持型光ファイバ増幅器、偏波保持型光ファイバレーザ及び信号光の増幅方法を提供する。
【解決手段】偏波保持型光ファイバカプラ１０は、２本の偏波保持光ファイバ４，４が並列されて、長さ方向の中央部に形成された融着延伸部からなる光結合部５と、第１の偏波保持光ファイバ４の一端に設けられた信号光の入射ポート１０Ａと、第２の偏波保持光ファイバ４の一端に設けられた励起光の入射ポート１０Ｂと、第２の偏波保持光ファイバ４の光結合部５を介して前記一端と対向する他端に設けられた合成光の出射ポート１０Ｃとを備え、信号光は、Ｙ偏波のみからなり、かつ、信号光の波長が、光結合部５においてＹ偏波の９０％以上が結合する波長であり、励起光の波長は、信号光の波長よりも短波長であって、かつ、光結合部５においてＸ偏波及びＹ偏波のいずれとも結合が１０％以下となる波長である。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも入射平面と射出平面のどちらか一方の平面がＣａＦ₂ 結晶の（１１１）結晶面に平行であり、入射平面から入射したレーザ光が［１１１］軸と［００１］軸を含む面内で、［１１１］軸と［００１］軸との間、［１１１］軸と［０１０］軸を含む面内で、［１１１］軸と［０１０］軸との間、又は、［１１１］軸と［１００］軸を含む面内で、［１１１］軸と［１００］軸との間、を通過し、射出平面から射出されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】優れた偏光消光比を持つラジアル偏光のレーザ光を低コストで発生できるレーザ発振器を提供する。
【解決手段】レーザ発振器は、リアミラー４および出力ミラー１を有する往復型の光共振器と、光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、光共振器内に設けられ、アジマス偏光の反射率がラジアル偏光の反射率を上回る反射型回折光学素子と、光共振器の内部または外部に設けられ、光の偏光をラジアル偏光からアジマス偏光へまたはアジマス偏光からラジアル偏光へ変換する２つの反射型λ／２板８，９とを備え、ラジアル偏光のレーザ光を発生することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】優れた偏光消光比を持つ軸対称偏光ビームを発生できるレーザ発振器を提供する。
【解決手段】レーザ発振器は、リアミラー４および出力ミラー１を有する往復型の光共振器と、光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、光共振器の光軸を折り返すための１つまたは複数の折り返しミラー２，３とを備え、折り返しミラー３は、ラジアル偏光の反射率とアジマス偏光の反射率が互いに異なる反射型回折光学素子で構成される。 （もっと読む）

【課題】高パワーファイバ増幅器システムを制御し保護するための装置を提供すること。
【解決手段】パルス光源と高パワーファイバ増幅器とからなるレーザシステムを制御する電子回路が開示される。発振器のパルス幅と繰り返し率とが変えられるとき、増幅された出力パルスが所定のパルスエネルギーを持つように、高パワーファイバ増幅器システムの利得を制御するために、回路は使用される。これは、パルス列が出射しているときパルスエネルギーを一定に保つことを含んでいる。ダイオード電流が変えられるときポンプダイオードの波長がファイバ増幅器の最適吸収波長に保持されるように、高パワーファイバ増幅器のポンプダイオードの温度を制御するためにも、この回路は使用される。パルス光源からの信号の損失による損傷から、或いは不十分な注入エネルギーのパルス光源信号から高パワーファイバ増幅器を保護する手段もこの回路は提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体露光装置の２ステージシステムの紫外ガスレーザにおいて、出力エネルギーを減少させることなくレーザ光の偏光純度を高くすること。
【解決手段】レーザ光を出力する発振段レーザと、前段のレーザから出力されたレーザ光を増幅して出力する一以上の増幅段レーザと、少なくとも一つの前記増幅段レーザのレーザ光軸上に設けられ、レーザ光に含まれ互いに直交する二つの直線偏波状態の成分のうちの一方を高反射率で反射し、他方を高透過率で透過する偏光子と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】モードサイズを有意に増加し、実質的に単一モードのコアによって広モード域ファイバーとなるファイバー構造を提供する。
【解決手段】螺旋結合コア（ＨＣＣ）ファイバー２０は、広モード域の中心コア２２と、螺旋側面コア２４とを含む。中心コアはほぼ直線状であり、螺旋側面コアは螺旋結合コア（ＨＣＣ）ファイバーの周縁部の周りに螺旋状に巻かれている。中心コアの全ての高次モードは大きな損失を有し、一方中心コアの基本モードは無視できる損失を有する。中心コアの高次モードは螺旋側面コアと効率よく結合する。螺旋側面コアを伝搬するモードに対して大きな損失を与え、中心コアの結合された高次モードに大きな損失を与える。したがって、螺旋結合コア（ＨＣＣ）ファイバーの中心コアは実質的に単一モードである。 （もっと読む）

【課題】 理論値に近いレーザ出力が得られるようにした光共振器を提供する。
【解決手段】 光共振器１０は、レーザ媒質３の片側にトリプルアクシコンミラー１を配設するとともに他方の側にハーフミラーによる出力ミラー２を配設し、出力ミラー２とトリプルアクシコンミラー１との間の光路をＺ形状に形成するための第一及び第二の２つの中継ミラー４，５が上記光路の折り返し位置に配設されている。トリプルアクシコンミラー１は、どの方向から来た入射光も正確に同じ方向に反射させる構造を有するレトロリフレクタである。そして、第一の中継ミラー４が凸面鏡の場合は第二の中継ミラー５は凹面鏡であり、第一の中継ミラー４が凹面鏡の場合は第二の中継ミラー５は凸面鏡であり、第一の中継ミラー４の反射面と第二の中継ミラー５の反射面絶対値が同じで符号が逆の曲率半径を有している。 （もっと読む）

【課題】従来のパルス発振ファイバレーザ光源の構成ではパルス発振を得るための部材が効率低下の要因となっていた。また、高効率な波長変換素子を使用した場合出力が飽和したり波長変換素子が劣化したりする等の問題があった。
【解決手段】Ｙｂファイバレーザ共振器部分のＹｂファイバに励起が弱くなる部分をもうけ、ポンプ用ＬＤに印加する電流をパルス状にすることによりファイバレーザを安定的にパルス発振させ、高効率な波長変換を実現する。 （もっと読む）