説明

Fターム[5F172NS02]の内容

レーザ (22,729) | 温度調節・冷却・温度制御 (959) | 気体によるもの (52)

Fターム[5F172NS02]の下位に属するFターム

Fターム[5F172NS02]に分類される特許

1 - 20 / 36


【課題】 種光をレーザ媒質部において効率良く増幅することができるレーザ増幅装置を提供する。
【解決手段】 レーザ増幅装置は、種光L1を出力する種光源と、励起光L2を出力する励起光源と、励起光L2が入力された状態で種光L1が入力されることにより、種光L1を増幅して出力するレーザ媒質部5と、種光L1が入力されたときに光透過率が高くなる可飽和吸収体6と、を備えている。可飽和吸収体6は、種光L1の光路に沿ってレーザ媒質部5に並設されている。 (もっと読む)


【課題】禁水が必要な場所で使用可能であるYAGレーザー発振装置を提供する。
【解決手段】 筐体と、前記筐体の内部に設置されたレーザー本体と、前記筐体の内部の空気の温度を略一定に調整する温度調整機構と、前記筐体の内部の空気を前記レーザー本体の前記カバーによって囲まれた内部に送り込む第1送風機構と、前記筐体の外部に設置され、前記筐体の内部の空気を前記レーザーポンプチャンバーの内部に送り込む第2送風機構と、を備えたことを特徴とするYAGレーザー発振装置。 (もっと読む)


【課題】レーザービームを放射するための軸方向冷却を伴う反横断レーザー発振装置を提供する。
【解決手段】本発明は2つの面S1とS2をつなぐ表面積Σにより範囲を定められ、そして利得媒体となるためにその面の両方、又はその内の1つを通じてポンピングされることを目的とする、蛍光波長λを持つ円筒形の固体増幅媒体(1)を含む、レーザービームを放射するための装置に関する。装置は面のうちの1つにわたり増幅媒体(1)と接触する熱伝導率Crの冷却液(31)と、その表面積Σにわたり増幅媒体(1)と接触する熱伝導率Ci<0.3Crの、蛍光波長を吸収し又は散乱させる屈折率整合液(21)とを含む。 (もっと読む)


【課題】禁水が必要な場所で使用可能であるYAGレーザー発振装置を提供する。
【解決手段】 レーザー媒質であるYAGロッドと、励起源であるフラッシュランプと、前記フラッシュランプからのフラッシュランプ光を前記YAGロッドに集光して照射するための楕円形反射光学系と、前記YAGロッド、前記フラッシュランプ、及び、前記楕円形反射光学系を囲むとともに冷却用空気導入口及び冷却用空気排出口が形成されたジャケットと、を含むレーザーポンプチャンバーと、前記ジャケットの前記冷却用空気導入口から前記レーザーポンプチャンバー内に空気を送り込むベローズ式ポンプと、を備えたことを特徴とするYAGレーザー発振装置。 (もっと読む)


【課題】ガス冷却式のYAGレーザ発振装置において、チャンバー内の温度を制御して、レーザ発振装置の光学特性を向上させる。
【解決手段】YAGレーザ発振装置は、レーザ発振器10、ガス給排装置62、温度制御手段70、および、応力吸収手段80を備えている。レーザ発振器10は、筐体12内に、YAGロッド30等を収納したチャンバー36、および、出力ミラー40等を有している。応力吸収手段80は、筐体12に設けられた開閉部16が閉じられた状態で開閉部16の内面とチャンバー36の外面とに接触するように配置されて開閉部16から受ける力を吸収する。温度制御手段70は、チャンバー36の温度を測定する温度センサ72、開閉部16に取り付けられていて発熱または吸熱するペルチェユニット74、および、ペルチェユニット74の発熱または吸熱を制御する温度制御部76を有している。 (もっと読む)


多目的筐体を有する電磁放射線の高出力源が開示される。多目的筐体は、少なくとも光源を形成する材料で満たされた内部を含み、レーザーロッドに光励起を提供するために光源によって囲まれるレーザーロッドを包むことができる反射器をさらに含む。光源の外表面を定義する材料は、反射器の外表面にまで伸張するとともに該外表面を定義する。高反射率コーティングは、保護コーティングとして反射器の外表面にわたって配される。同様に、随意のヒートシンクを反射器の外表面に配することもでき、ヒートシンク全体を移動する強制空気の随意の配置によって冷却が行われる。光源は光源ランプであってもよく、高反射率コーティングは反射器を包むように形成されてもよい。 (もっと読む)


【課題】ガス冷却式のYAGレーザ発振器において、光学系調整を使用時におけるYAGレーザ発振器の光学特性に反映させる。
【解決手段】YAGレーザ発振器10は、筐体20、YAGロッド41、ランプ42、出力ミラー50、全反射ミラー51、Qスイッチ60、隔壁30、および、ガス冷却装置70を有する。筐体20の内部は、透過孔31が形成された隔壁30により、第1収納空間23と第2収納空間24とに仕切られている。第1収納空間23には、YAGロッド41、ランプ42、および出力ミラー50が設置され、第2収納空間24には、Qスイッチ60および全反射ミラー51が設置されている。ガス冷却装置70は、YAGロッド41およびランプ42を冷却するために第1収納空間23にガスを送り込む。 (もっと読む)


【課題】 本発明の課題は、小型化を達成しつつ、高効率のレーザ光を発振することのできる受動Qスイッチ固体レーザ発振装置及びレーザ着火装置を提供することである。
【解決手段】 本発明に係る受動Qスイッチ固体レーザ発振装置は、増幅媒体を保持する第1冷却ホルダと可飽和吸収体を保持する第2冷却ホルダとが一体化された冷却ユニットを備え、前記増幅媒体と前記可飽和吸収体とは、前記増幅媒体を通過する光が前記可飽和吸収体に入射可能に空間を介して配置され、前記冷却ユニットの軸線方向に直交する投影面に前記空間を投影したときに形成される空間投影領域は、前記投影面に増幅媒体を投影したときに形成される増幅媒体投影領域と前記投影面に可飽和吸収体を投影したときに形成される可飽和吸収体投影領域とを含む面積を有することを特徴とする。 (もっと読む)


側面ポンプモノリシック固体レーザー(1)であって、長手軸線(L)を有するレーザー利得媒体(2)を含むレーザー共振器構造体(3)であって、直線状光路の共振キャビティを間に形成する端面(4)を備え、端面(4)の少なくとも一方が、特に端面上に溶着された少なくとも部分反射のレーザーミラー(4a、4b)を備え、レーザー利得媒体(2)が、ポンプ源(5)のポンプ光(5a)を受け取る側面(2a)を備え、ポンプ光(5a)がダイオードレーザー(5)によって発生せしめられる、レーザー共振器構造体(3)と、レーザー利得媒体(2)と接触する接触面(6c)を備える伝導冷却体(6)と、長手軸線(L)に対して側面(2a)の反対側に配置された反射器(7)とを備え、レーザー利得媒体(2)が低利得材料である、側面ポンプモノリシック固体レーザー(1)が提供される。
(もっと読む)


【課題】出力変動を抑制することができる光ファイバ増幅モジュールおよび光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置1は、種光源10、プリアンプ20、プリアンプ30およびブースタアンプ40を備える。ブースタアンプ40は、光アイソレータ41、光コンバイナ42、増幅用光ファイバ43、光ファイバ44、励起光源45〜45および冷却部46を備える。増幅用光ファイバ43は、偏波保持機能を有し、二重クラッド構造のものである。冷却部46は、増幅用光ファイバ43と光ファイバ44との融着接続部を冷却する。 (もっと読む)


【課題】すなわち送風手段を用いずにレーザガスを冷却する事、および良質なレーザビームを取り出せる安定型共振器を両立させる事が大きな課題となっていた。
【解決手段】レーザガスを循環するレーザガス流路1のチャンバー2に、電極5、6と直流の電源7からなる放電手段を設け、この放電手段による直流電流方向13と直行方向に磁界を印加するための磁界発生手段12を設け、チャンバー2内の放電手段によりレーザガスに流れる電流と、この電流に直角方向に磁界を掛けたので、放電によりプラズマ化したレーザガスが電磁力によって移動するので従来のような送風手段を廃止できるものである。 (もっと読む)


【課題】本発明は、真鍮や銅からなる配管の冷媒による腐食を防止し、長期に渡って安定した性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供する事を目的とする。
【解決手段】放電管3と、放電管3にレーザガスを流すための送風手段15と、送風手段15と放電管3の間に位置してレーザガスを冷却する熱交換器13、14を備え、熱交換器13、14へ冷却水を送る配管として、銅または真鍮を用い、配管の接合部分を非アミン系化合物の接着剤で接着したもので、非アミン系化合物の接着剤を配管の接合部分に用いるので、銅や真鍮を腐食せず、長期に渡って水漏れ事故による装置の故障を防止できる。 (もっと読む)


【課題】送風手段より発生するオイルミストのガス経路内混入およびガス消費量の増加を防止し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】送風手段10、11のギアー室の圧力を検出するギアー室圧力検出手段42と、ガス循環経路12のレーザガス2を排気する第1ガス排気通路31と、第1ガス排気通路31にガス排気量調整手段33を設け、ギアー室圧力検出手段42で検出した圧力が所定の圧力より上昇した時に第1ガス排気通路31からのレーザガス2の排気量を減少させるガス排気量調整手段33を設けた。 (もっと読む)


【課題】外気温によらず運転開始直後よりミラー角度を一定に保つことで、常に高品質のレーザビームを生成し、安定したレーザ加工を実現する。
【解決手段】レーザガスを励起する放電手段と、前記放電手段で励起されたレーザガスを挟むように対向配置した部分反射鏡と全反射鏡と、前記部分反射鏡または全反射鏡を保持する調整板と、前記調整板を保持するフランジと、前記調整板に設けて前記調整板と前記フランジの距離を保つ支点と、前記調整板と前記フランジの間に配置して互いに引き合う方向に付勢するバネと、前記調整板に係合して前記調整板と前記フランジの距離を調整可能な角度調整ネジを備え、前記角度調整ネジの先端部分を内部に嵌入する穴を有した角度調整ネジ受けを前記角度調整ネジの先端と対応する前記フランジの箇所に設けたものである。 (もっと読む)


【課題】送風手段より発生するオイルミストの影響を排除し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】レーザ媒体を励起する放電手段と、レーザガスを送風する送風手段と、前記放電手段と送風手段との間にレーザガスを冷却する熱交換器と、前記放電手段と前記送風手段と前記熱交換器とを接続してレーザガスの循環経路を形成するレーザガス循環経路と、前記熱交換器の吐出側ガス循環経路より分岐して前記送風手段の駆動部に冷却ガスを供給する冷却ガス経路を備え、駆動部のロータおよびステータ間を流れるガスとの接触によって冷却させる構造とする。 (もっと読む)


【課題】本発明のEUV光源装置は、高い熱負荷状態において、可飽和吸収体を安定して連続的に使用することができる。
【解決手段】可飽和吸収体(SA)装置33は、自励発振光や寄生発振光あるいは戻り光のような微弱な光を吸収するために、レーザビームライン中に設けられる。SAガスボンベ334(1)からのSAガスとバッファガスボンベ334(2)からのバッファガスとは混合されて、混合ガスとなる。混合ガスは、供給管路333(1)を介して、SAガスセル330に供給され、レーザ光L1に含まれる微弱光を吸収する。混合ガスは、排出管路333(2)を介して排出され、熱交換器332に送られる。熱交換器332で冷却された混合ガスは、循環ポンプ331(1)により、再びSAガスセル330に送られる。 (もっと読む)


【課題】ガスレーザ共振器において、複数の放電管を互いに連結する放電管連結ホルダ自体の熱変形、及びガスレーザ共振器の移動に伴って放電管連結ホルダに加わる加速度を考慮する。
【解決手段】レーザ共振器10は、軸線方向へ整列する2つの放電管1a、2a、1b、2b、1c、2cをそれぞれに有する3つの放電管列3A、3B、3Cと、各放電管列の放電管を互いに連結して支持する放電管連結ホルダ5と、放電管1cの一端に配置される出力鏡11を備えるエンドプレート15と、放電管2aの一端に配置されるリア鏡12を備えるエンドプレート16と、両端がそれぞれエンドプレート15、16に固定された4本の支持棒21〜24とを備える。放電管連結ホルダ5は、クランプ(剛性部材)25を介して下側の支持棒21、22に固定され、クランプ(弾性部材)26、27を介して上側の支持棒23、24に連結される。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ガス流方向の温度分布に伴う光軸の曲がりを抑制しつつ、鏡の角度調整を容易に精度良く行うことを目的とするものである。
【解決手段】第1の筐体内確認用窓2とそれに対向する第2のアパーチャ部材18との間に位置する第2のダクト12の光軸方向の端部には、第1の開口が設けられており、この第1の開口には第1の透明部材21が設けられている。第2の筐体内確認用窓3とそれに対向する第1のアパーチャ部材17との間に位置する第1のダクト8の光軸方向の端部には、第2の開口が設けられており、この第2の開口には第2の透明部材22が設けられている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、雰囲気温度が変化しても半導体レーザから常に設定された一定の波長のレーザ光が発光されるように半導体レーザを制御し、吸収スペクトルに基づく排ガスの温度とその中に含まれるガス成分の濃度を安定して計測できるガス分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のガス分析装置は、計測対象ガス成分が吸収する波長を含む波長帯のレーザ光を発光するレーザ光発光部20と、レーザ光発光部20で発光されたレーザ光を排気ガス中に照射する照射部15と、排ガス中を透過したレーザ光を受光して電気信号に変換する受光部24と、前記受光部24からの電気信号に基づいて排ガスに吸収された吸収スペクトルを解析する解析装置19とを備えている。前記レーザ光は既知濃度の計測対象ガス成分が封入された参照セル22を透過して用受光部24で受光されるように構成されており、前記解析装置19で得られた吸収スペクトルのピーク値が波長帯における所定の位置になるように半導体レーザ10の波長掃引制御を行う。 (もっと読む)


【課題】レーザ共振器を構成する誘電体多層膜の損傷を抑制する。
【解決手段】ファイバレーザ装置Aは、希土類元素がドープされたコアと、コアの外側に設けられた第1クラッドと、第1クラッドの外側に設けられた第2クラッドと、を備えたダブルクラッドファイバ11を含み、一端がビーム出射端に構成されると共に他端に共振器を構成する誘電体多層膜が設けられたファイバレーザ本体10と、ファイバレーザ本体10の一端側に設けられた励起光源20と、を備える。 (もっと読む)


1 - 20 / 36