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Fターム[5F172NS07]の内容

レーザ (22,729) | 温度調節・冷却・温度制御 (959) | 熱交換機S (25)

Fターム[5F172NS07]に分類される特許

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【課題】温度変化による補正を容易に行うことができるファイバレーザ発振器を提供する。
【解決手段】発熱部品である励起用レーザダイオード11aを当接配置するベース部31aと該ベース部31aから延設されて筐体17外部に取り出される放熱部31bとを備えて筐体17よりも熱伝導率の高い材質からなる熱交換部31と、熱交換部31に取り付けられる温度センサと、温度センサからの温度情報に基づいて励起用レーザダイオード11aの駆動電流を補正する温度出力補正部とを備える。 (もっと読む)


【課題】発光素子を最も発光効率のよい温度に制御するとともに、省電力性に優れた発光素子の温度制御装置及びこれを用いたディスプレイ装置を提供することを目的としている。
【解決手段】固体レーザ1の温度を計測する温度センサ8と、固体レーザ1が載置されるベースプレート2と、このベースプレート2の固体レーザ1が載置された面と同一面に取り付けられ、固体レーザ1を加熱するヒータ7と、放熱フィン4が取り付けられたU字状ヒートパイプ5と、放熱フィン4に冷却風を送る冷却ファン6と、温度センサ8により固体レーザ1の温度が所定の温度範囲に収まるように、冷却ファン6の回転数あるいはヒータ7の出力を制御する制御ユニット10とから構成され、発光素子を最も発光効率のよい温度で制御することができる。 (もっと読む)


【課題】放熱性が高く、光ファイバレーザを低光損失で保持、収納できる光ファイバレーザモジュールを提供すること。
【解決手段】励起光源1と、励起光源1から出力された励起光を導波する増幅光ファイバ6、6Aと、増幅光ファイバ6、6Aを巻いた状態で保持し、かつ増幅光ファイバ6、6Aの放熱を行う保持部9、9Aと、を備えた光ファイバレーザ50と、複数の増幅光ファイバ6、6Aを備える、単数または複数の光ファイバレーザ50を、収納する筐体101と、を備え、増幅光ファイバ6、6Aが互いに離間した状態で配置されている。 (もっと読む)


【課題】冷却機構の異常が発生した際に、レーザ発振部が故障することを可及的に抑えることができ、且つ、仮に前記レーザ発振部内で漏水が発生した場合であっても該漏水を可及的に抑えることができるレーザ装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】レーザ装置10Aは、レーザ光を発振するレーザ発振部18と、レーザ発振部18を冷却する冷却機構14を備える。冷却機構14は、レーザ発振部18内に設けられた発振部冷却流路42と、発振部冷却流路42に冷却水を導く冷却水供給流路38と、発振部冷却流路42から導かれた前記冷却水が流通する冷却水排出流路40を有しており、冷却水供給流路38には、開閉弁46が設けられる。そして、冷却水供給流路38の圧力を圧力検出部48にて検出し、検出された圧力が所定範囲外にあると圧力判定部62にて判定された場合に、開閉弁46を閉じ、且つ、レーザ光の発振を停止する。 (もっと読む)


【課題】 冷却水温度が上昇し続けることによるレーザ発振器の出力低下アラームによるレーザ発振停止や、負荷過大に伴う冷却装置異常停止等が回避され、加工を継続することが可能となるレーザ加工機システムを得る。
【解決手段】 レーザ加工機システムの有する冷却能力が、レーザ発振器を含むレーザ加工機を構成する機器を冷却するために必要な熱量と同程度あるいは少ない場合において、冷却能力を超える負荷により冷却水温度が上昇する時には、加工条件設定を高い負荷のかかる高出力加工条件から低出力加工条件へ変更する。 (もっと読む)


【課題】送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を実現し、且つ高品質なレーザビームを得る。
【解決手段】励起用放電空間に対して重力方向の上部に配置されたレーザ媒体加熱部と、前記レーザ媒体加熱部に対して重力方向の上部に配置された熱交換器と、前記熱交換器と励起用放電空間とレーザ媒体加熱部とを環状に接続したレーザガス経路と、前記レーザガス経路中に配置され、前記熱交換器と励起用放電空間との間に設けられたレーザガス過冷却部とを備えた事を特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、真鍮や銅からなる配管の冷媒による腐食を防止し、長期に渡って安定した性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供する事を目的とする。
【解決手段】放電管3と、放電管3にレーザガスを流すための送風手段15と、送風手段15と放電管3の間に位置してレーザガスを冷却する熱交換器13、14を備え、熱交換器13、14へ冷却水を送る配管として、銅または真鍮を用い、配管の接合部分を非アミン系化合物の接着剤で接着したもので、非アミン系化合物の接着剤を配管の接合部分に用いるので、銅や真鍮を腐食せず、長期に渡って水漏れ事故による装置の故障を防止できる。 (もっと読む)


【課題】本発明のEUV光源装置は、高い熱負荷状態において、可飽和吸収体を安定して連続的に使用することができる。
【解決手段】可飽和吸収体(SA)装置33は、自励発振光や寄生発振光あるいは戻り光のような微弱な光を吸収するために、レーザビームライン中に設けられる。SAガスボンベ334(1)からのSAガスとバッファガスボンベ334(2)からのバッファガスとは混合されて、混合ガスとなる。混合ガスは、供給管路333(1)を介して、SAガスセル330に供給され、レーザ光L1に含まれる微弱光を吸収する。混合ガスは、排出管路333(2)を介して排出され、熱交換器332に送られる。熱交換器332で冷却された混合ガスは、循環ポンプ331(1)により、再びSAガスセル330に送られる。 (もっと読む)


【課題】異種材料の使用や部品点数が増加することなく、筐体内部への埃の侵入を軽減させることができるレーザ光源装置を提供すること。
【解決手段】レーザ光源1と、複数枚の冷却フィン2aを有しレーザ光源1を冷却する熱交換器2と、レーザ光源1を駆動する駆動回路3aと、吸気穴4a及び排気穴4bが形成された筐体4と、筐体4に取り付けられ、吸気穴4aから吸い込んだ空気を排気穴4bから吐き出す空冷ファン5とを備え、複数枚の冷却フィン2aは、吸気穴4aと対向する位置に、互いに所定の間隔を空けながら重なるようにして配設され、重ねられた冷却フィン2aのピッチが、吸気穴4aの最小幅寸法以下である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ガス流方向の温度分布に伴う光軸の曲がりを抑制しつつ、鏡の角度調整を容易に精度良く行うことを目的とするものである。
【解決手段】第1の筐体内確認用窓2とそれに対向する第2のアパーチャ部材18との間に位置する第2のダクト12の光軸方向の端部には、第1の開口が設けられており、この第1の開口には第1の透明部材21が設けられている。第2の筐体内確認用窓3とそれに対向する第1のアパーチャ部材17との間に位置する第1のダクト8の光軸方向の端部には、第2の開口が設けられており、この第2の開口には第2の透明部材22が設けられている。 (もっと読む)


【課題】
エラーが発生したレーザ装置を早急に復旧し、またモジュール交換の労力及びコストを低減する。
【解決手段】
故障診断時に所定のレーザ発振を行うことでエラー状態を再現し、そのレーザ発振の動作結果を用いることによって被検査モジュールの故障診断をする。 (もっと読む)


【課題】 レーザー核融合炉用ドライバーとして好適なレーザー装置を提供する。
【解決手段】 レーザー装置1においては、レーザー媒質18のレーザー光入出射面18aが沿う正多角形がn辺からなり、レーザー光が出射したレーザー媒質18からk辺目のレーザー媒質18にレーザー光が入射するとき、k辺目のレーザー媒質18のレーザー光入出射面18aに対するレーザー光の入射角θ(度)は、0.9×90×(n−2k)/n≦θ≦1.1×90×(n−2k)/n、ここで、「n>3,k≧1」、「k<n/2」、「k>1のとき、n/kは整数でなく且つ(n及びkの最小公倍数)≧n×k」なる関係式を満たしている。これにより、レーザー媒質18の全てを利用して、レーザー媒質18間においてレーザー光を行き来させ、レーザー光を増幅して出力することができる。 (もっと読む)


【課題】熱応力によって平均パワー出力が制限されず、固体レーザの熱的限界に対処しかつ高平均パワーを実現するレーザデバイスを提供すること。
【解決手段】内部領域および利得媒体を有するチャンバ(22)を備える、発振器または増幅器として使用可能なレーザデバイス(10)は、内部領域内に分布された活性レーザイオンを含む固体要素(14)を備える。デバイスからのレーザ発光が利得媒体(14)および流体(16)を通過するように、冷却流体(16)が固体要素のまわりを流れ、さらに半導体レーザダイオード(18)がレーザチャンバ(12)の内部領域中に光励起放射を供給する。レーザデバイス(10)は、固体利得媒体レーザの利点(例えば、ダイオード励起、高パワー密度)を実現するが、純粋な固体媒体で達成できるかもしれないものに比べてより高い平均パワーおよびビーム品質での動作を可能にする。 (もっと読む)


【課題】
レーザの高出力化及び高繰り返し化を実現する2ステージレーザのパルスエネルギー制御を高精度に行い、パルスエネルギーを安定化させる。
【解決手段】
制御部は、今回パルスで動作させる増幅段の励起強度(充電電圧)を、今回パルスで目標とするパルスエネルギーと、前回パルスまでにその増幅段を動作させて出力したパルスエネルギーと、そのパルスエネルギーを出力したときにその増幅段に供給された励起強度と、を用いて求め、求めた励起強度が今回パルスで動作させる増幅段に供給されるように制御する。 (もっと読む)


【課題】多板式の熱交換器において、第1流路に対する流体の導入又は導出方向に関わらず、第1流路の複数の第1室に流体を、その圧力損失を削減しつつ可及的均等に流す。
【解決手段】熱交換器10は、複数の第1室12を含む第1流路14と、複数の第2室16を含む第2流路18とを備える。それら第1室と第2室とは、伝熱壁20を介して互いに隣接かつ分離した状態で、交互に並んで配置される。第1流路14は、複数の第1室12に流体f1を導入する第1導入路22と、それら第1室12から流体f1を導出する第1導出路24とをさらに含む。第1導入路22及び第2導出路24の各々は、伝熱壁20の熱交換表面20aに交差する方向へ流体f1を案内する構造を有する。第1導入路22及び第1導出路24の少なくとも一方が、流体f1を複数の第1室12に対し、所望の流量ずつ分配して円滑に案内する整流分配部材30を備えている。 (もっと読む)


【課題】
太陽光の有する全てのスペクトルを使ってレーザー媒質の励起やレーザーロッドの冷却に用い、太陽光の輻射するエネルギーを無駄なく利用して太陽光励起レーザーを発振させることが課題である。
【解決手段】
太陽光をダイクロイックミラーなどで分波し、赤外線は半導体熱電素子による温度差発電に、赤色光は太陽電池発電に用い、これらから得られた電力は冷却液シリコーンオイルまたは水を介してレーザーロッド冷却用ペルチェ冷凍素子の電源として用いる。さらに紫外線は蛍光体により可視光線変換し、直接入射した可視光線と共にレーザー媒質を励起する。このためレーザーを高効率で連続発振させることができる。 (もっと読む)


レーザー利得アセンブリ及び熱管理アセンブリを備えるレーザーシステム熱管理システム。該レーザー利得アセンブリは、レーザー利得媒体を備え、レーザーポンプダイオードを備えている。該熱管理システムは、開放サイクルジュール−トムソン冷却装置に接続される高圧ガスタンクを備えている。冷却及び一分が液化されたガスは、リザーバーへ導入される。該リザーバーはレーザー利得アセンブリと直接に、あるいはviaa閉じたループの再循環流体熱交換器と熱的に良好に接する。レーザー利得アセンブリから発生する熱は冷却されたガスおよび直接又は再循環熱交換器ループ内の凝縮液との熱交換により除去される。該リザーバー内で蒸発したガスは排出される。 (もっと読む)


レーザは、コアを規定するクラッディングを有する光ファイバと、この光ファイバのコア内にあるレーザアクティブ媒体と、光ファイバの少なくとも一部でキャビティを規定する第1反射器および第2反射器と、励起システムとを有する。この励起システムはレーザアクティブ媒体と結合されており、光ファイバのコア内でレーザ活動を励起する。前記レーザアクティブ媒体はガス、液体、または固体を含む。
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【課題】
出力されるレーザ光線に対して変動のない正確なモニタリングを可能にして高精度のレーザ光線の出力制御を可能とする。
【解決手段】
レーザ光線5を分割して得られるモニタ光6を基にレーザ発振器の出力を制御するレーザ装置に於いて、レーザ光線を反射してモニタ光として分割する光束分割手段3を有し、該光束分割手段の表面S1 での反射光6aと裏面S2 での反射光6bとの干渉を抑制する様、表面の反射率R1 と裏面での反射率R2 を設定した。
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【課題】 チラーユニットに格別の負担をかけることなく高調波レーザ光の出力を安定化させること。
【解決手段】 チラーユニット16からのオン・オフ制御により温度が周期的に変動する冷却水は第2保持体42の手前でタンク52に入る。タンク52内では冷却水同士の熱交換が連続的に行われることにより、冷却水がタンク52に滞留している間に水温が平均化される。その結果、タンク52より第2保持体42に供給される冷却水の温度変動は非常に小さくなっている。これにより、第2保持体42に保持されている波長変換結晶30の温度が瞬時的にも基準値付近に安定に保たれ、このYAG高調波レーザ発振器10より生成されるYAG第2高調波レーザ光SHGの出力も設定値PS付近に安定に保たれる。 (もっと読む)


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