【課題】フォトリソグラフィにおける集積回路製造のためのレーザ光源として線狭帯域化用途に使用されるＤＵＶガス放電レーザシステムにおける帯域幅の能動制御の技術を提供する。
【解決手段】光源により生成されたレーザ出力光パルスビームパルスの帯域幅を測定して帯域幅測定値を供給する帯域幅測定モジュールと、帯域幅測定値及び帯域幅設定値を受信して帯域幅誤差信号を供給する帯域幅誤差信号発生器と、帯域幅誤差に応答して細かい帯域幅補正アクチュエータ信号及び粗い帯域幅補正アクチュエータ信号を供給する能動帯域幅コントローラとを含むことができる、線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源帯域幅制御方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光のスペクトル形状を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、少なくとも３つの波長ピークを含むスペクトルを持つレーザ光を出力可能なマスタオシレータと、各波長ピークのエネルギーを制御可能な多波長発振制御機構と、前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器による検出結果に基づいて前記多波長発振制御機構を制御する制御部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】紫外線のレーザ光の波長の検出精度を高めた波長検出器を提供すること。
【解決手段】レーザ光を拡散させる拡散素子と、拡散素子の下流に設けられる集光光学系と、集光光学系の下流に設けられ、アパーチャを備える部材と、部材の下流に設けられ、貫通孔がそれぞれ形成された筒状のアノードおよびカソードを含み、アノードに直流電圧を印加した状態で所定の第１の波長のレーザ光がカソードの貫通孔を通過するときに、オプトガルバニック効果によってアノードとカソードの間の電気的特性が変化するように構成された放電管と、前記アノードに直流電圧を印加するよう構成された高圧直流電源とを備える。アパーチャを通過するレーザ光が放電管のカソードに直接照射することなくカソードの貫通孔を通過するように放電管が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 遠隔地において、レーザ装置の状態を示す情報を、予め設定されるイベント毎にデータ収集することにより、消耗部品の寿命の予測やレーザ装置のトラブルの事前予測を行うことのできるレーザ装置管理システムを提供すること。
【解決手段】 レーザ装置２を制御しているレーザ制御装置１０は、例えば一定の放電パルス数発生など予め設定された特定のイベントが発生する毎に、当該レーザ装置２の状態を示す状態情報をレーザ装置２から取得して、監視端末２０へ送信する。監視端末２０は、受信した状態情報を通信回線５０を介してサーバ装置３０へ転送する。サーバ装置３０では、転送された状態情報を基に、自己内のデータベースを変更すると共に出力情報を生成する。この出力情報は、通信回線５０を介して表示端末４０に入力され、ここで表示される。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】レーザシステムは、パルスレーザ光を出力するように構成されたシードレーザシステムと、前記パルスレーザ光のパルスエネルギーを変化させるように構成されたパルスエネルギー調整部と、前記パルスレーザ光を増幅するように構成された少なくとも１つの増幅器と、前記少なくとも１つの増幅器の励起強度を変化させるように構成された少なくとも１つの電源と、前記パルスレーザ光の１パルスごとに前記パルスエネルギー調整部を制御し、前記パルスレーザ光の複数パルスごとに前記少なくとも１つの電源を制御するように構成されたコントローラと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザの進行方向に垂直な面内での強度分布のばらつきを抑え、対象面を一様にかつ十分明るく照明することのできるレーザ照明装置を実現する。
【解決手段】レーザ光源からのレーザ６の光路に設置された、光拡散状態を変動可能な少なくとも１つの光拡散手段３と、少なくとも１つの光拡大抑制手段１００とを有し、光拡散手段３は、光をランダムに拡散ないしは散乱する手段であり、光拡大抑制手段１００は、拡散ないしは散乱されたことによりその光束径が拡大し位相が乱され全体の直進性が失われたレーザ光を、位相は乱れたままで直進性のみを回復させる手段であり、レーザ光源からのレーザ光６を光拡散手段３を通過させ、光拡大抑制手段から拡散されかつ拡大しない光６−２として、出射させて、対象を照射する光を生成するレーザ照明装置。 （もっと読む）

【課題】高繰返し率ガス放電レーザ用の改良されたスペクトル測定を提供する。
【解決手段】レーザから射出された光の帯域幅を示す第１のパラメータを表す第１の出力と、レーザから射出された光の帯域幅を示す第２のパラメータを表す第２の出力とを提供する光帯域幅モニタと、光帯域幅モニタに固有の所定の較正変数を用いる多変数方程式の一部として第１の出力及び第２の出力を用いて実帯域幅パラメータを計算する実帯域幅計算装置と、を含むことができ、多変数方程式は対称性に敏感な項を含む、レーザから射出され、帯域幅計測器に入力される光のスペクトルの帯域幅を測定するための帯域幅計測器の装置及び方法が開示される。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を安定させる。
【解決手段】レーザ装置は、外部装置と共に用いられるレーザ装置であって、パルスレーザ光を出力するマスターオシレータと、前記マスターオシレータに接続される第１の電源と、前記マスターオシレータから出力される前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも１つの増幅器と、前記少なくとも１つの増幅器に高周波電圧を印加する少なくとも１つの第２の電源と、前記マスターオシレータと前記少なくとも１つの増幅器との間の光路上に配置される少なくとも１つの光シャッタと、前記外部装置からの信号に基づいて、前記レーザ装置を制御するレーザコントローラと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光強度を向上させる。
【解決手段】一実施の形態によるレーザ装置は、少なくとも１つの半導体レーザを含み、所定波長のパルスレーザ光を出力するように構成されたマスタオシレータと、少なくとも１つの増幅波長領域を有し、前記マスタオシレータから出力されるパルスレーザ光を増幅するように構成された少なくとも１つの増幅器と、前記マスタオシレータから出力されるパルスレーザ光の波長のチャーピング範囲が前記少なくとも１つの増幅波長領域の少なくとも一部と重なるように、前記マスタオシレータから出力されるパルスレーザ光の出力波長に影響するパラメータを制御するための制御部と、を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御し、出力レーザ光のコヒーレンスが所望の値になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 （もっと読む）

【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。１つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第２の線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λ_bを有し、λ_m＜λ_lat＜λ_bである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔＩを与える。但し、λ₀は第１のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λ_latは第２の線幅を表している。 （もっと読む）

【課題】変換効率の良い波長変換装置及び紫外光生成レーザ装置を提供すること。
【解決手段】光入射面と、光出射面とを備え、前記光入射面から入射した光の第２高調波光を発生する波長変換素子と、前記波長変換素子に入射する光が通る入射部と、前記波長変換素子から出射した光が通る出射部とを備える液体セルと、前記波長変換素子と共に前記液体セル内に収容されて、かつ前記波長変換素子が少なくとも前記光出射面が液体と接するように浸漬される浸漬液と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御が行える狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅Ｅ９５をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅Ｅ９５が、目標スペクトル純度幅Ｅ９５_０の許容幅Ｅ９５_０±ｄＥ９５内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができる極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザは、発振によりレーザ光を生成して出力する発振器と、発振器から出力されるレーザ光を増幅する少なくとも１つの増幅器とを有する。増幅器は、レーザ光を入力するための第１のウィンドウ及びレーザ光を出力するための第２のウィンドウを有し、放電により励起された媒体のエネルギーを用いて、第１のウィンドウに入力されるレーザ光を増幅して第２のウィンドウから出力する放電部と、発振器から出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウに出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウにもう１度出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を所定の方向に出力する光学系とを含む。 （もっと読む）

【課題】 遠隔地において、レーザ装置の状態を示す情報を、予め設定されるイベント毎にデータ収集することにより、消耗部品の寿命の予測やレーザ装置のトラブルの事前予測を行うことのできるレーザ装置管理システムを提供すること。
【解決手段】 レーザ装置２を制御しているレーザ制御装置１０は、例えば一定の放電パルス数発生など予め設定された特定のイベントが発生する毎に、当該レーザ装置２の状態を示す状態情報をレーザ装置２から取得して、監視端末２０へ送信する。監視端末２０は、受信した状態情報を通信回線５０を介してサーバ装置３０へ転送する。サーバ装置３０では、転送された状態情報を基に、自己内のデータベースを変更すると共に出力情報を生成する。この出力情報は、通信回線５０を介して表示端末４０に入力され、ここで表示される。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源を露光光源とする場合に、レーザ光のスペクトルの状態の露光パターン又は結像性能に対する影響をより正確に評価する。
【解決手段】レーザ光を出力するレーザ光源１６において、レーザ光のスペクトルを計測するビームモニタ機構１６ｃと、ビームモニタ機構１６ｃによる計測結果からレーザ光の中心波長、及びレーザ光の各波長におけるその中心波長からのずれ量と光強度とに対応するレーザ光の波長オフセットの情報を求めて出力するレーザ制御装置１６ｅと、を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源を露光光源とする場合に、レーザ光のスペクトルの状態の露光パターン又は結像性能に対する影響をより正確に評価する。
【解決手段】レーザ光ＬＢを出力するレーザ光源１６の評価方法において、露光本体部１０側の分光計８でレーザ光ＬＢのスペクトルを計測することと、分光計８による計測結果からレーザ光ＬＢの中心波長を求めることと、そのスペクトル及び中心波長から、レーザ光ＬＢの各波長におけるその中心波長からのずれ量と光強度とに対応する波長オフセットの情報を求めることと、を含む。 （もっと読む）