【課題】 基板上に形成された膜の特性を向上させることが可能な薄膜材料およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 超電導線材１は、基板２と、基板上に形成された１層または２層以上の中間薄膜層（中間層３）と、中間薄膜層（中間層３）上に形成された単結晶性薄膜層（超電導層４）とを備える。中間薄膜層（中間層３）のうちの少なくとも１つにおいて単結晶性薄膜層（超電導層４）と対向する上部表面（被研磨面１０）は研磨加工されている。 （もっと読む）

超伝導テープが開示され、該テープは基板、前記基板の上に横たわるバッファ層、該バッファ層の上に横たわる超伝導層、及び該超伝導層の上に横たわる電気メッキされた安定化層を含む。また超伝導テープを組み込んだ構成要素、該構成要素を製造する方法、該構成要素を使用する方法が開示される。該テープは、低ＡＣ損失を与え、特に回転機械におけるなど、ＡＣ損失の減退が重要である構成要素における使用に適している。
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(a)蒸着ゾーン中でホウ素を支持体の表面に蒸着させる工程;(b)支持体を加圧された気体マグネシウムを含む反応ゾーンに移動する工程;(c)支持体を蒸着ゾーンに戻す工程;および(d)工程(a)〜(c)を繰り返す工程を含むMgB₂膜を形成する方法。本発明の好ましい態様で、支持体は回転可能なプラテンを用いて蒸着ゾーンおよび反応ゾーンに入れられたり出されたりする。

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本発明は、緩衝金属基板テープの連結するレングス上にＲＥＢＣＯなどの超伝導薄膜のｅｘ−ｓｉｔｕ形成のための高スループットのシステムを提供する。緩衝金属基板テープの上部は、希土、バリウム、及び銅の先駆物質が、電子ビーム蒸発及びＭＯＤなどの数々の技術を介して堆積される。これらの先駆物質は、処理チャンバ内で加熱され、水蒸気に導入されると、緩衝層に機能的超伝導薄膜エピタキシャルを形成するために分解する。シャワーヘッドと、長く幅の広い堆積範囲の創造のために設計された基板加熱装置を有する有機金属化学気相成長法（ＭＯＣＶＤ）反応炉といったチャンバは、該製法に良く適している。チャンバは、反応による副産物の効率的な汲み出しのために配置された排気ポートを含む。チャンバは、壁が加熱されない冷水壁式、または壁が加熱される加熱壁式のものでもよい。
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基板および基板上に配置されている第１のバッファ膜を含む超電導体物品。第１のバッファ膜は、（ｉ）第１のバッファ膜の面内を延びる第２の方向に有意のテクスチャを有さない第１のバッファ膜の面外を延びる第１の結晶方向のテクスチャ、または（ｉｉ）第１のバッファ膜の面外を延びる第２の方向に有意のテクスチャを有さない第１のバッファ膜の面内を延びる第１の結晶方向のテクスチャを特徴とする単軸結晶テクスチャを有する。２軸方向の結晶テクスチャを有する第２のバッファ膜は、前記第１のバッファ膜上に配置されている。超電導体層は、前記第２のバッファ膜上に配置することができる。前記第２のバッファ膜を堆積するために、イオン・ビーム・アシスト蒸着（ＩＢＡＤ）を使用することができる。
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【課題】従来の方法で前駆溶液を作るのに必要なコストよりも遥かに安価な前駆溶液を製造できる超伝導酸化物を用いる有機金属蒸着用の前駆溶液の製造方法、及びこのような前駆溶液を用いて超伝導伝導体を作る製造方法を提供する。
【解決手段】超伝導原料粉末をＴＦＡ溶液に溶かした後に熱板内で溶融させる段階と、粉末が完全に溶解されて溶液が透明になると前記熱板内の温度を上げて溶液を蒸発させ、粘性のあるゼリー状になるまで加熱を続ける段階と、前記溶液の流動性が完全になくなると加熱を中断して前記溶液を冷却する段階と、常温で固まったゼリー状の化合物をメチルアルコールに溶かして超伝導原料粉末-ＴＦＡ前駆溶液を得る段階と、を含む超伝導酸化物を用いる有機金属蒸着用の前駆溶液の製造方法；及びこのような前駆溶液を用いて超伝導伝導体を作る製造方法である。 （もっと読む）

酸化物膜を成長させるための方法であって、中間酸化物材料の膜（１２０）の表面上に反応ガス混合物（６０，７０）を入射することと、膜（１２０）の表面に隣接する領域（８０）から生成ガスの少なくとも一部を除去することとを含む。反応ガス混合物（６０，７０）は、膜（１２０）の表面に対して少なくとも約５度の角度で膜（１２０）の表面に入射し、膜は、最大約７００トル（９１ｋＰａ）の全圧力を有するリアクタ（１００）の一部（１５０，１６０，１７０）内に位置している。酸化物は、バッファ材料および超電導体材料からなるグループから選択される。
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