【課題】複数のモータの制御において、同期の高精度化及び制御の高速化の両立に有利な技術を提供する。
【解決手段】複数のモータのそれぞれについてフィードフォワード制御器を備え、前記複数のモータをそれぞれ制御する制御装置であって、前記フィードフォワード制御器の少なくとも１つは、当該フィードフォワード制御器が制御対象とするモータとは異なる少なくとも１つのモータの入出力特性を表す関数を含む、ことを特徴とする制御装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】所定動作量（例えば動作速度）以下においても位置決め精度の低下や振動の抑制を図ることを目的とする。
【解決手段】制御対象の動作状態を検出する状態検出器を介して、フィードバック信号を取得するフィードバック信号取得手段と、前記フィードバック信号取得手段で取得したフィードバック信号から誤差成分の周期情報を検出する誤差周期検出手段と、制御指令信号、又は前記フィードバック信号と、前記誤差周期検出手段で検出した周期情報とに基づき、前記誤差成分の周波数を算出する誤差周波数算出手段と、前記誤差周波数算出手段で算出した周波数の信号成分を除去するフィルタを用いて、前記制御対象に出力する制御信号をフィルタリングするフィルタリング手段と、前記制御指令信号の示す動作量又は前記フィードバック信号の示す動作量に基づき、フィルタ形状を算出するフィルタ形状算出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】十分な位相余裕が確保されるようにノッチフィルタのノッチ幅を調整する。
【解決手段】適応ノッチフィルタは、ノッチフィルタと、該ノッチフィルタの幅を表すパラメタを調整するパラメタ調整部と、を備える。パラメタ調整部は、パラメタの候補値よりも広い幅を表す値を試行し、検出された振動が試行期間の完了まで基準内に収まっている場合にパラメタを候補値に設定する。検出された振動が基準を超えた場合に試行を中断して前記パラメタを試行前の値に戻してもよい。 （もっと読む）

【課題】ノッチフィルタの中心周波数を良好に調整する。
【解決手段】共振抑制装置は、制御系の共振を抑制するために当該制御系に設けられているノッチフィルタ１２と、ノッチフィルタ１２の中心周波数を更新する中心周波数演算部１７と、中心周波数演算部１７への入力信号の帯域を制限するための振動成分抽出部１４であって、その通過帯域が中心周波数に連動して設定される第１のフィルタを含む振動成分抽出部１４と、を備える。通過帯域は中心周波数の修正量が基準を下回る場合に中心周波数に連動して設定されてもよい。 （もっと読む）

【課題】設計者が試行錯誤することなく決定した伝達関数に基づく位相進み補償器と位相遅れ補償器により、共振の位相を安定化させることが可能な外乱オブザーバ、フィードバック補償器、位置決め装置、露光装置、及び外乱オブザーバ設計方法を提供する。
【解決手段】
制御対象２８に加わる外乱ｄを推定する外乱オブザーバ２１において、外乱オブザーバ２１は、制御対象２８の共振成分を外乱ｄの一部として含んだ外乱モデルに基づいて相補感度関数のパラメータが設計されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ボールねじ装置の共振を良好に抑制する。
【解決手段】 ボールねじ装置は、ボールねじを回転させて移動体を移動させるためのモータ１１を備えている。モータ１１は、駆動制御装置により駆動制御される。駆動制御装置は、ボールねじの長さに応じてボールねじの長さに固有のボールねじ装置の共振周波数を決定する共振周波数決定部３３と、モータ１１を駆動制御するための駆動制御信号から決定された共振周波数に対応した周波数成分を除去するフィルタ部３７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】小さい演算負荷で自動的に中心周波数を更新することができる適応ノッチフィルタ及びそれを用いた共振抑制装置を提供する。
【解決手段】適応ノッチフィルタ１０は、共振が生じ得る制御対象への制御入力を生成するための信号に含まれる当該制御対象の固有振動数成分を抑制するよう構成されており、中心周波数を変更可能であるノッチフィルタ１２と、入力信号の周波数と中心周波数の現在値との大小関係に対応する位相特性を有し、制御入力を生成するための信号を入力信号とする位相差フィルタ１６と、大小関係に応じて中心周波数修正量の平均値の符号が決定されるように位相差フィルタ１６の入力信号及び出力信号を用いて定義された中心周波数修正量を演算し、該中心周波数修正量に基づき中心周波数を更新する修正演算部１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送時に搬送物に生じる振動を防止し、かつ制御系の設計及びコントロ−ラの導出も平易な搬送用制振制御システムのフィ−ドバックコントロ−ラを提供する。
【解決手段】 フィ−ドバックコントロ−ラの形を、少なくともノッチフィルタ若しくはロ−パスフィルタを有する周波数制御要素と位置制御要素の組み合わせに限定し、そのフィ−ドバックコントロ−ラの要素の値を最適に与えるために、設計仕様を周波数仕様と時間仕様の両方で与える。 （もっと読む）

【課題】エラー制御信号はしばしばそれ自身がエラーを有し、所定の周波数範囲においてしか信頼できない。
【解決手段】サーボ制御ループを用いてリソグラフィ装置のエラー制御モジュールの位置を制御する方法、システムおよびコンピュータプログラムが説明される。システムは、フィルタと、フィルタとつながれ制御信号を受け取るサーボコントローラと、サーボコントローラとつながれエラー制御モジュールの位置を制御するアクチュエータと、を有する。フィルタは、サーボ制御ループの前段において、制御信号の振幅と位相を所望の周波数範囲で変調することによって、制御信号をフィルタする。 （もっと読む）

【課題】誰でも簡便にゲイン調整を行うことができるサーボアクチュエータの実現する。
【解決手段】モータの速度を制御する速度フィードバックループを有し、この速度フィードバックループにノッチフィルタ手段を挿入して機械共振を除去するサーボアクチュエータにおいて、前記速度フィードバックループの周波数応答特性を示すデータを取得するデータ収集手段と、前記データ収集手段で取得されたデータを移動平均処理する移動平均手段と、この移動平均手段で得られたデータと、前記データ収集手段で得られたデータとを比較して、前記速度フィードバックループの共振特性を抽出する比較手段と、前記比較手段で抽出された共振特性に基づいて前記ノッチフィルタ手段の周波数及びＱ値を設定するノッチフィルタ設定手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】移動体の制振性能及び位置決め性能の低下を抑制する。
【解決手段】コントローラ５は、所定の駆動パターンで移動体の駆動を制御するためのものであって、移動体の位置又は速度に関する命令値に基づいて移動体のジャークパターンを生成する生成部６と、ジャークパターンを通過させて移動体の位置指令値を出力するフィルタ部７と、を備えている。ここで、コントローラ５では、ジャークパターンをフィルタ部７に通過させて位置指令値を得ることから、位置指令値において共振周波数成分等の振動を励振する周波数成分を低減させることができる。また、コントローラ５では、フィルタ部７の伝達関数から求められた遅れ時間だけジャークパターンを圧縮するように調整して、調整ジャークパターンを生成する。よって、命令値と位置指令値とを時間的に互いに一致させることができる。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を算出する際の処理速度を向上させる。
【解決手段】サーボモータシステム１は、モータ２に接続されるサーボコントローラ３に機械的共振周波数補償装置２１が設けられている。機械的共振周波数補償装置２１は、エンコーダ４から速度フィードバック値が入力されるバンドパスフィルタ２２と、共振周波数推定器２３と、ノッチフィルタ係数発生器２４とを備え、共振周波数推定器２３は共分散行列の逆行列の値を用いた最小二乗理論によって算出される収斂値としてノッチフィルタの係数を求めるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】装置の共振周波数の大きな変化による短時間発振を抑制することができるモータ制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ノッチ周波数とノッチ幅を含むノッチフィルタパラメータの変更が可能であるノッチフィルタと、振動周波数を推定する振動周波数推定手段を有し、ノッチフィルタのノッチ周波数と推定された振動周波数との間の周波数を前記ノッチフィルタの新たなノッチ周波数として設定するとともに、元のノッチ周波数成分と推定された周波数成分が減衰するようノッチ幅を変更するノッチフィルタパラメータ設定手段を有する。 （もっと読む）

【課題】効率的に安定かつロバストな現実のシステムを設計すること。
【解決手段】制御系の共振モードを補償するノッチフィルタおよび共振モードを合成した全域通過フィルタがモデル化され（ステップＳ１０５）、全域通過フィルタを含む設計用制御対象が決定される（ステップＳ１０６）。そして、制御器に含まれる重み関数が導出された後（ステップＳ１１１）、設計者が設定した目標ゲイン交差周波数および位相余裕が用いられて、重み関数のゲインが調整される（ステップＳ１１２）。その後、位相進み重みに含まれる位相変数が決定されて、重み関数が確定される（ステップＳ１１３）。このようにして確定された重み関数および設計用制御対象に対してＨ∞ループ整形法が適用され（ステップＳ１１４）、Ｈ∞制御器が導出される（ステップＳ１１５）。 （もっと読む）

【課題】
オブザーバの補償ゲインおよび制御器の主要部のゲインを大きく上げることによって、外乱の影響を十分に抑制するとともに、フィードバック信号を目標指令に高速高精度に追従させることができるディジタル制御装置を提供する。
【解決手段】
ディジタルオブザーバ２０を備えたディジタル制御装置において、ディジタルオブザーバ２０は、制御出力と推定出力との偏差をオブザーバ補償器１９に入力し、メイン操作量とオブザーバ補償器１９の出力をオブザーバ制御対象１８に入力し、ディジタルオブザーバ２０のループに離散系における安定な極を持たせるようにオブザーバ補償器１９を構成し、オブザーバ制御対象１８の出力を推定出力とし、推定出力より位相進みとなる信号を位置または速度のフィードバック信号とする。 （もっと読む）

本発明は閉ループシステムのためのフィルタとループ比例ゲインを同時選択するための新規な装置、方法およびシステムに関するものである。本発明の１つの典型的な実施形態によれば、速度ループ補償器として知られるコントローラの一部を自動的に選択する方法が提供される。この方法は速度制御（例えばモータエンコーダ角）のフィードバックに使用されるセンサへの作動力（例えばモータトルク）からのダイナミック応答を表す周波数応答関数（ＦＲＦ）に作用する。この周波数応答関数はそれぞれ対応する周波数値をもつ複素数の列として表すことができる。このチューニング方法は、安定余裕に関して規定された一連の基準を満たしつつループ比例ゲイン（Ｋｐ）の最大化を可能にするフィルタパラメータの組み合わせを決定する。積分ゲインと参照モデルを選択する方法も提示される。
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【課題】 幅や深さを自動的に調整し、振動している周波数が複数あっても抑制したい周波数に確実に適用でき、手動調整とも容易に併用できるノッチフィルタとそれを用いた制御装置を提供する。
【解決手段】 ノッチフィルタ周波数設定値を決定するノッチフィルタ周波数決定部（１１）と、ノッチフィルタの入力および出力とノッチフィルタ周波数設定値から適応入力を算出する適応入力演算部（１４）と、ノッチフィルタの入力とノッチフィルタ周波数設定値と基準信号から適応基準を算出する適応基準演算部（１５）とを備え、ノッチフィルタはノッチフィルタ周波数をノッチフィルタ周波数設定値で固定とし、幅または深さまたはそれら両方が可変となっており、フィルタ係数設定部（１３）は、適応入力と適応基準とを用いてノッチフィルタの幅または深さまたはそれら両方を逐次演算により決定するようにした。 （もっと読む）

【課題】状態量指令値に影響されずに機械共振を自動的に抑制すること。
【解決手段】電動機１によって駆動される負荷４の速度を速度指令値に追従させる際に、速度制御手段６の出力信号の機械共振周波数成分を通過させるＨＰＦ９と、所定周波数以下の周波数を含む基準信号を出力する基準信号発生器１０と、この出力基準信号を手段６の出力信号に加算する加算器１１と、この加算出力信号を入力とし、且つフィルタ係数を変化させることにより入出力特性を変更可能な仮想フィルタ１２と、この出力信号が前記基準信号に近づくように仮想フィルタ１２のフィルタ係数を修正する仮想フィルタ設定部１４とを備えて電動機の制御装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ＰＩＤ制御装置において目標サーボ帯域に亘って高速高精度での位置決めを実現する制御要素の決定方法を提供することにある。
【解決手段】ＰＩＤ制御系の制御要素を設定する方法においては、制御対象の周波数応答特性が測定されてこの周波数応答特性に近似させたフィードバック制御系の２次遅れ系の伝達関数が特定される。制御対象を制御する制御器の伝達関数が比例、積分及び微分ゲイン係数を含む不完全微分型に設定され、制御器の伝達関数と前記制御対象との伝達関数の積で表される開ループ伝達関数が定められ、制御対象が有する共振特性を打ち消すように制御器の比例、積分及び微分ゲイン係数が求められ、制御器に設定される。 （もっと読む）

【課題】機械モデル化に誤差が生じないように摩擦を考慮できるようにする。
【解決手段】周波数特性演算装置６と、機械モデル推定手段１０と、周波数特性ピーク検出手段１１と、減衰推定値解析手段１２とを備え、機械特性モデル７には剛体負荷モデル８と摩擦モデル９と、さらに、共振モデル１８と反共振モデルと減衰モデル２０とを備えた振動系モデル１７を備え、最小二乗法もしくは曲線適合により周波数特性から機械モデルを求める。 （もっと読む）