本発明は、交流電源（２）から少なくとも２つの負荷たとえばプラズマプロセスにおける負荷へ送出される電力の電力供給調整方法および電力供給調整装置に関する。本発明によれば、負荷に対する電力供給実際量が電力供給目標量と比較され、偏差が生じているならば交流電源（２）と上述の負荷の少なくとも１つとの間で電力の供給および／または取り出しによって整合される。このような方法および装置によればプラズマプロセスにおいて、電極へ送出される電力を交流電源の種類に依存することなく所定の電力供給と一致するよう調整することができる。
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【課題】負荷への電源供給に使用される電源装置において、負荷電圧及び系統電圧を維持管理すると共に、維持管理に使用する蓄電池の長寿命化のための回復充電を効率的、効果的に実施することを目的とする。
【解決手段】スイッチング素子１とダイオード２により構成したアーム３ａから３ｄから成るフルブリッジコンバータ４及びフルブリッジインバータ５と、前記アーム３ａから３ｄと並列に接続したコンデンサ６と、直列変圧器９と、前記フルブリッジコンバータ４とフルブリッジインバータ５を制御する主回路制御部１０と、交流電源７の電圧の上下変動に応じて充放電を行なう蓄電手段１１を備えた電圧安定化装置１２と、蓄電池１１ａの回復充電に際に負荷に対して過剰な余剰電力のみで行なう回復充電制御手段としてのコンバータ逆流防止制御部１３を備え、負荷電圧及び系統電圧を維持管理すると共に回復充電を効率的、効果的に実施する。 （もっと読む）

【課題】負荷への電源供給に使用される電源装置において、負荷電圧及び系統電圧を維持管理すると共に、維持管理に使用する蓄電池の長寿命化のための回復充電を効率的、効果的に実施することを目的とする。
【解決手段】スイッチング素子１とダイオード２により構成したアーム３ａから３ｃから成るフルブリッジコンバータ４及びフルブリッジインバータ５と、前記アーム３ａから３ｃと並列に接続したコンデンサ６と、直列変圧器９と、前記フルブリッジコンバータ４とフルブリッジインバータ５を制御する主回路制御部１０と、交流電源７の電圧の上下変動に応じて充放電を行なう蓄電手段１１を備えた電圧安定化装置１２と、蓄電池１１ａの回復充電に際に負荷に対して過剰な余剰電力のみで行なう回復充電制御手段としてのコンバータ逆流防止制御部１３を備え、負荷電圧及び系統電圧を維持管理すると共に回復充電を効率的、効果的に実施する。 （もっと読む）

【課題】電装ユニットの構成部品についてもコンパクトに配置して占有面積を低減すると共に、メンテナンス性を向上させるようにしたガスタービン発電装置を提供する。
【解決手段】ガスタービン発電装置の発電電力をインバータを介して任意の周波数の交流電流に変換する電装ユニット４０において、冷却ファン４０ａによって吸引された空気が通過する空気通路が形成されるヒートシンク４０６の空気通路と反対側の戴置面４０６ｂ側に、電装ユニット４０の構成部品、即ち、インバータ４００の１２個のスイッチング素子４００ａ１，４００ｂ１と、ＤＣ−ＤＣコンバータと、端子台４１２と、コンデンサ４００ｃとを載置すると共に、ヒートシンク４０６を筐体の前面側から引き出し自在に構成した。 （もっと読む）

【課題】 ＰＤＰのような容量性負荷の駆動装置として、電力回収に要する時間を短く維持したまま電力回収に伴うスイッチング損失を低減し、回収効率を向上させる駆動装置、を提供する。
【解決手段】 放電維持パルス発生部(1)は直流電圧(Vs)に基づき放電維持パルス電圧(Vp)をＰＤＰ(20)の維持電極(X)と走査電極(Y)との間に印加する。放電維持パルス電圧(Vp)の立ち上がり／立ち下がり期間に電力回収部(2X、2Y)の回収スイッチ素子(Q3X、Q4X、Q3Y、Q4Y)がオンオフし、回収インダクタ(LX、LY)を補助共振部(3X、3Y)内の回収コンデンサに接続する。そのとき、その回収インダクタとパネル容量(Cp)とが共振する。回収スイッチ素子(Q3X、Q4X、Q3Y、Q4Y)のターンオン時、同じ電力回収部(2X、2Y)の補助共振部(3X、3Y)内で共振コンデンサと補助回収インダクタとが共振する。その共振により両端電圧(V3X、V4X、V3Y、V4Y)が零まで降下するとき、その回収スイッチ素子がオンする。 （もっと読む）