【課題】デジタル制御による電流−圧力変換器（ＣＰＣ）を提供する。
【解決手段】デジタルＣＰＣは、デジタル制御装置とオンボード圧力変換器とを利用して、入力アナログ制御信号に基づいて出力圧力を正確に制御する。デジタル制御装置は、ＣＰＣの３方向回動弁からシルト汚染物を弛緩させて噴流除去するよう、前記弁の衝撃運動を与えるシルティング防止アルゴリズムを含んでいる。油圧ドレインへの中間通路を含む冗長シールスタックが、アウトボードシール周りの圧力降下を確実に少なくし、漏れの可能性を最小にし、ＣＰＣの信頼性を高める。デジタル制御装置はまた、冗長性および欠陥管理アルゴリズムを含み、これによりＣＰＣ制御用に複数の入力およびフィードバック信号の使用が可能になる。マスター／スレーブ動作及びその移行もデジタル制御装置によって提供される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程で使用する真空圧力制御システムにおいて、給気したガスを正確な真空圧力値で迅速に保持できると共に、このガスを真空容器外に迅速に排気可能な真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空圧力制御システム１は、真空チャンバ１１と、真空チャンバ１１内のガスを吸引する真空ポンプ１５と、真空チャンバ１１と真空ポンプ１５との間に接続し、動力源として、エア供給源２０から供給される駆動エアＡＲにより、弁開度ＶＬを変化させて真空チャンバ１１内の真空圧力を制御する真空開閉弁３０と、真空開閉弁３０を制御する真空圧力制御装置７０と、真空開閉弁３０の弁開度ＶＬを制御するサーボ弁６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の出力圧に応じて、この圧力調整弁を開閉制御して所定の出力圧を取出すようにした制御装置において、とくに開弁動作と閉弁動作の差異による応答性の相違に応じて、制御要素が最適な比例定数あるいはパラメータを設定できるようにする。
【解決手段】制御要素を構成する比例要素１５、積分要素１６、および微分要素１７がそれぞれ開弁動作および閉弁動作に応じた適正な制御をできるように、正側のパラメータと負側のパラメータとを備えており、目標値と圧力センサ１２の出力とを比較するコンパレータ１３の出力の極性を極性判別器２１によって判別し、これに応じてスイッチ１８、１９、２０を切換えて適正なパラメータの選択を行なう。 （もっと読む）

【課題】
高圧流体を大流量の条件下で調節弁を用いて急激に減圧すると、気体の膨張により流体自身の温度が急激に低下し、調節弁の下流部の温度が氷点下になる可能性がある。気体中に水分が含まれている場合、縮流部である弁孔の弁座−弁体−弁座間隙の流路表面で水分が凍りつき、弁体の動きを妨げ、流体制御に支障をきたすことがある。これにより、気体の脈動、調節弁の異常振動、弁座のエロージョン、騒音等を引き起こし、気体供給システムの健全な運転の維持は困難となる。流体圧力の制御機器では弁座付近の縮流部が氷結しても流体制御を可能とすることが重要である。
【解決手段】
制御対象の流体流路に沿って、遮断弁（２）と、調節弁（３）と、圧力センサー（４）とを一体化して設け、該圧力センサー（４）の検出圧力信号をもとに、遮断弁（２）と、調節弁（３）とを自動制御することを特徴とする流体制御装置。 （もっと読む）

【課題】 本発明は圧力制御弁の弁開度を演算により推測することを課題とする。
【解決手段】 上側ダイヤフラム室２０から圧力制御弁用ダイヤフラム１９で受ける圧力は、第３の圧力センサ４８により検出されたローディング圧力Ｐａから算出することができる。また、下側ダイヤフラム室２１から圧力制御弁用ダイヤフラム１９で受ける圧力は、第４の圧力センサ５０により検出された圧力Ｐａから算出することができる。そのため、制御回路１８では、圧力センサ４８、５０からの検出信号から圧力制御弁用ダイヤフラム１９が受ける圧力差を求め、この圧力差及び圧力制御弁１４の流量係数に基づいて圧力制御弁用ダイヤフラム１９の変位、すなわち、圧力制御弁用ダイヤフラム１９と一体的に変位する弁体１４ｃの弁開度を演算する。この弁開度から下流側へ供給される流量を推測する。 （もっと読む）

【課題】圧力調整器に直接装着することが可能な構造を有することで、コンパクト且つ取り付け作業性が良好な圧力調整器マウント用ディジタル表示計を得る。
【解決手段】正面に調整ハンドル３１を有し一次圧力及び二次圧力をそれぞれ測定するための各圧力センサ５０を設けた圧力調整器３０に対し装着され、前記一次圧力及び二次圧力を表示するな圧力調整器マウント用ディジタル表示計１であって、正面側にディジタル表示部２１を有し前記圧力調整器の上方に位置する匡体２０を設け、該匡体内には、前記各圧力センサ５０からの信号線に接続され各圧力値をディジタル表示するためのデバイスが収納され、前記匡体２０は、その前面又は後面に固定される平面パネル１０（背面パネル１５）により圧力調整器３０に装着して成る。 （もっと読む）

【課題】 油圧を高精度に制御することができ、小型、軽量でレイアウト性に優れた圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 油圧制御装置１４は、オイルの流入口２１ａ及び流出口２１ｂを有するハウジング２１と、ハウジング２１内の電子部品収容部２１ｄ内に設けられた超磁歪シャフト２２と、超磁歪シャフト２２に対して油圧を印加するための受圧プレート２３と、油圧に応じて変化する超磁歪シャフト２２の透磁率を検出するためのセンサコイル２４と、超磁歪シャフト２２に対して磁界を印加して超磁歪シャフト２２を伸縮させるアクチュエートコイル２５と、超磁歪シャフトの伸縮に連動するニードルバルブ２６を備えている。超磁歪シャフト２２は、外部から応力を加えると透磁率が変化し、また外部から磁界を印加すると磁歪量が変化することから、圧力センサ及びバルブ駆動用アクチュエータとして用いられる。 （もっと読む）

【課題】空圧アクチュエータに供給する圧縮空気の圧力を連続的に調整する空圧装置であって、小さい圧力差を大きな差よりもより激しく一気に与えることができる、実質的に、調節した圧力に偏差や振動がない空圧装置を提供する。
【解決手段】入力に未調節の圧力ライン（７）を受け入れ、出力に調節された圧力を提供するのに適した圧力調節手段（２）と、前記圧力調節手段（２）の駆動に適した駆動手段（３）を動かすのに適した誤差増幅手段（４）と、前記圧力調節手段（２）の閉ループ制御のために、前記圧力調節手段（２）の下流の圧力値を検出して前記誤差増幅手段（４）にフィードバックするのに適した圧力変換手段（５）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 マグネットの径を小さくしても、充分な駆動力を得られる空気圧コントロール弁を提供することを課題とする。
【解決手段】複数のマグネット（第１のマグネット１３３，第２のマグネット１３７）を互いに反発する方向に配置することにより反発磁界を形成する反発磁気回路と、駆動軸（アマチュア１２９）に設けられ、反発磁気回路の磁気ギャップＧ１，Ｇ２内に配置されるコイル（第１のコイル１４３，第２のコイル１４５）とを有する。 （もっと読む）