【課題】データの準備に要する労力を軽減し、キャビテーションの有無及び状態を診断する。
【解決手段】キャビテーション診断装置は、調節弁１の上流側流体圧力Ｐ１と下流側流体圧力Ｐ２と調節弁１による圧力損失から回復する途中の流体圧力Ｐ３から診断係数を算出する診断係数算出部７と、キャビテーションが発生し始めるときの診断係数であるしきい値σｔｈ０、特性圧力比ＸＦｚの条件を満たす状態に達したときの診断係数であるしきい値σｔｈ１、臨界キャビテーションの状態に達したときの診断係数であるしきい値σｔｈ２、チョークフローの状態に達したときの診断係数であるしきい値σｔｈ３を記憶する記憶部８と、調節弁１の相対容量係数に対応するしきい値σｔｈ０，σｔｈ１，σｔｈ２，σｔｈ３を求め、算出された診断係数と比較してキャビテーションの有無及び状態を判定する判定部９を備える。 （もっと読む）

【課題】乾式機械式一次ポンプと少なくとも１つの二次ポンプとからなるポンプユニットに配管によって接続された、排出物を含んでいるチャンバ内の圧力調整の範囲を増大させ、短い反応時間を得る。
【解決手段】乾式機械式一次ポンプ４と少なくとも１つの二次ポンプ５との両方の回転速度を同時に制御する速度調整器６を含む。 （もっと読む）

【課題】効率的に流動体を移動体に充填できる流動体充填システム、移動体、及び供給設備を提供すること。
【解決手段】流動体を充填可能なタンク１９を備える移動体３と、前記タンク１９に前記流動体を充填可能な供給設備１とから成る流動体充填システムであって、前記移動体３は、前記流動体の充填圧力を充填開始からの経過時間ごとに規定する充填プロファイルを記憶する充填プロファイル記憶手段３４と、前記充填プロファイルを前記供給設備１に送信する充填プロファイル送信手段２５ａ、２５ｂ・・・とを備えるとともに、前記供給設備１は、前記充填プロファイルを受信する充填プロファイル受信手段１１ａ、１１ｂ・・・と、前記充填プロファイルに応じて充填圧力を制御する充填圧力制御手段１５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】整圧器の故障ではなく、他の要因によって二次側圧力が上昇している状態を認識して、無駄な処理や作業が行われるのを防止する。
【解決手段】流体供給路１の二次側圧力を設定圧力に調整自在な整圧器２が流体供給路１の途中に設けられている整圧設備における二次側圧力を監視する二次側圧力監視装置１７において、二次側圧力が上昇したときに、流体供給路１の雰囲気の変化及び流体供給路１の流体の温度変化の一方又は双方に起因して二次側圧力が上昇する正常昇圧状態であるか否かを判別する昇圧状態判別手段１９を備えている。 （もっと読む）

【課題】 非臨界膨張条件にある流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】 流量制御用のオリフィス４と、オリフィス４の上流側配管に設けられたコントロールバルブ２２と、オリフィス４とコントロールバルブ２２の間に設けて上流側圧力Ｐ_１を検出する上流側圧力センサ１０と、オリフィス４の下流側配管に設けて下流側圧力Ｐ_２を検出する下流側圧力センサ１２と、上流側圧力Ｐ_１と下流側圧力Ｐ_２によりオリフィス通過流量を流量式Ｑｃ＝ＫＰ_２^ｍ（Ｐ_１−Ｐ_２）^ｎによって演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置であって、上流側圧力センサ１０又は下流側圧力センサ１２は圧力を受けたときに電気抵抗が変化する抵抗素子から構成され、この圧力センサとしての抵抗素子を同時に温度センサとしても用いる。 （もっと読む）

流体調節のためのシステムおよび処理は、流体調節システム（１００）についての状態および／または必要とされる修繕／メンテナンスを評価するために役立つ診断情報を提供してもよい。特定の実施態様で、流体調節のためのシステムおよびプロセスは、流体レギュレータ構成要素の位置制御を促進するための電気／圧力コンバータ（１２４）への入力信号の表示を受信する能力を含んでもよく、電気／圧力コンバータは、流体レギュレータ（１１０）と流体レギュレータ・コントローラ（１２０）とを含む流体調節システムの一部であり、コンバータ入力信号に基づいて少なくとも１つの流体調節システムの状態を判定するように構成されている。
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【課題】
高圧流体を大流量の条件下で調節弁を用いて急激に減圧すると、気体の膨張により流体自身の温度が急激に低下し、調節弁の下流部の温度が氷点下になる可能性がある。気体中に水分が含まれている場合、縮流部である弁孔の弁座−弁体−弁座間隙の流路表面で水分が凍りつき、弁体の動きを妨げ、流体制御に支障をきたすことがある。これにより、気体の脈動、調節弁の異常振動、弁座のエロージョン、騒音等を引き起こし、気体供給システムの健全な運転の維持は困難となる。流体圧力の制御機器では弁座付近の縮流部が氷結しても流体制御を可能とすることが重要である。
【解決手段】
制御対象の流体流路に沿って、遮断弁（２）と、調節弁（３）と、圧力センサー（４）とを一体化して設け、該圧力センサー（４）の検出圧力信号をもとに、遮断弁（２）と、調節弁（３）とを自動制御することを特徴とする流体制御装置。 （もっと読む）

【課題】弁開度による流速当の変化に起因する圧力流体の状態変化を温度センサで監視することができ、その温度が圧力流体の液化又は気化する臨界温度に達していることを温度センサが検出した場合には弁開度を調整することができるコントロール弁を提供する。
【解決手段】弁本体２１にそれぞれ形成された圧力流体の供給路２５と排出路２６と弁室２７とを備えると共に、供給路２５内に圧力流体の圧力を検出する圧力センサ２８が配置され、弁プラグ３２よりも下流側の弁室２７内若しくは排出路２８内に圧力流体の液化又は気化の臨界温度を検出する温度センサ２９が配置され、温度センサ２９よりも下流側の弁室２７内若しくは排出路２６内に圧力流体の圧力を検出する排出側圧力センサ３０が配置され、各センサ２８，２９，３０からの検出結果に基づいて弁プラグ３２の駆動部を制御回路が制御する。 （もっと読む）

【課題】 流体の温度および圧力を制御するための改善されたシステムおよび方法を提供すること。流体の温度を迅速にかつ正確に変化させる流体ルート決定システムを提供すること。
【解決手段】 １つの局面において、本発明は、各々出口ノードに接続された第１の経路および第２の経路を備える二重経路流体ルート決定システムにおいて、流体の圧力および温度を制御するための方法を提供し、この方法は、第１の経路および第２の経路に、供給源の流体を提供する工程；供給源の流体を第１の経路の圧力に調節する工程；供給源の流体を第２の経路の圧力に調節する工程；流れ制限デバイスを用いて、第２の経路を通る供給源の流体のマスフローを制限する工程；第１の経路の流体の温度を変化させる工程；ならびに、第１の経路の流体および第２の経路の流体を混合して、予め決定された圧力および温度を有する混合された流体を、出口ノードに提供する工程、を包含する。 （もっと読む）

【課題】 油圧アクチュエータにより動作制御される制御対象の位置制御を行う位置制御システムにおいて、ポペット型電磁弁を用いて油の流量制御を行い、弁からの油漏れを抑制すると共に制御対象の位置制御を精度よく行うことのできる位置制御システムを提供する。
【解決手段】油圧アクチュエータ１０１により動作制御される制御対象１０５の位置制御を行う位置制御システム１００であって、前記油圧アクチュエータ１０１の駆動制御を行う電磁弁１〜４と、前記電磁弁１〜４を介して前記油圧アクチュエータ１０１に油を供給するポンプ８と、前記電磁弁１〜４の開閉動作をパルス幅変調制御により行う弁作動手段１２、１３と、前記制御対象１０５の位置を検出する位置検出手段６と、前記電磁弁１〜４に供給される油の温度を検出する油温度検出手段１０と、前記位置検出手段６が検出した位置及び前記油温度検出手段１０が検出した油温度に基づき前記弁作動手段１２、１３が制御するパルス幅のデューティ比を決定する制御計算手段２０とを備える。 （もっと読む）