【課題】連続した部材によって外部と区画された区画領域内に、電界効果トランジスタ、マイクロコンピュータ等の動作時に発熱する電子機器及び／又は素子とともに温度計測手段が設けられた温度コントロールユニットにおいて、それらの発熱の影響によらず区画領域外の温度を正確に推定できる温度コントロールユニットを提供すること。
【解決手段】温度コントロールユニットの区画領域内に、温度計測手段が相互に異なる位置に複数個設けられ、複数の温度計測手段によって計測された温度に基づいて区画領域外の温度を推定し、推定された外部の温度に基づいて前記区画領域外に設けられたヒータの出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の中心部分の温度を精度よく制御できる温度制御装置を提供する。
【解決手段】第１の主面及び第１の主面と対向する第２の主面を有する光学素子の温度制御装置であって、第１の主面に一定の接触熱抵抗で接する第１の筐体と、第１の筐体と第１の主面とが接する面積と等しい面積で、第２の主面に一定の接触熱抵抗で接する第２の筐体と、第１の筐体の温度を調整する温度調整素子と、第１の筐体の温度を測定する第１の温度測定素子と、第２の筐体の温度を測定する第２の温度測定素子と、第１の温度測定素子により測定された第１の筐体の測定温度と第２の温度測定素子により測定された第２の筐体の測定温度との平均値を光学素子の温度として、平均値が予め設定された設定値であるように温度調整素子を制御して第１の筐体の温度を調整させる制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】容器内の上流側に配置された電池と下流側に配置された電池との間の温度差を解消する。
【解決手段】容器３０内に第一電池３１Ａ〜Ｄ及び第二電池３１Ｅ〜Ｈを収容してなる組電池１０の温度調節装置であって、容器３０に接続され容器３０内の第一電池３１Ａ〜Ｄに空気を供給する第一流路２１ａと第二電池３１Ｅ〜Ｈに空気を供給する第二流路２１ｂとに分岐形成された供給流路２１と、容器３０に接続され容器３０の第二電池３１Ｅ〜Ｈ側から空気を排出する排出流路２２と、第一電池３１Ａ〜Ｄの第一温度及び第二電池３１Ｅ〜Ｈの第二温度をそれぞれ検出する温度センサ３３と、温度センサ３３で検出された第一温度及び第二温度に応じて、第一流路２１ａ及び第二流路２１ｂを流通する各空気の流量を変更する流量変更手段３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】加熱処理および冷却処理の必要な製造プロセスにおいて、温度制御を清楚よく行うことのできるプロセス温度制御方法を提供する。
【解決手段】溶融した材料の製造過程において、冷却器および加熱器を備えた容器の当該冷却器への冷却水の供給を一定に保てる最低流量に応じた流量バルブへの最低制御出力を予め決定し、溶融した前記材料の製造過程で測定した当該材料の実測温度と予め決めた目標温度の偏差を求め、当該偏差が目標温度の近傍にあるとき、最低制御出力によって最低流量の冷却水を前記冷却器に供給しつつ、前記加熱器による加熱を調整して前記容器内の溶融した材料の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】電磁油圧制御手段に通電する電流を制御する電流制御ユニットと放熱部材との接触状態を判定することができる自動変速機用油圧制御装置の検査方法を提供する。
【解決手段】 自動変速機用油圧制御装置の検査方法では、最初に指令電流値と実油圧値との関係を示す規範マップを作成する（Ｓ１０１）。次にＴＣＵが電流を発生している状態において、ＴＣＵの温度をサーミスタで検出する（Ｓ１０３）。ＴＣＵにはＴＣＵで発生する熱を放出する放熱板が接触している。ＴＣＵで発生する熱が放熱板を通って外部に放出される場合、ＴＣＵの温度は測定許容範囲内で安定するため、ＴＣＵと放熱板との接触状態は正常であると判定する（Ｓ１０４）。このとき、規範マップを補正するデータを収集する（Ｓ１０５）。一方、ＴＣＵで発生する熱が放熱板を通って外部に放出されない場合、ＴＣＵの温度は測定許容範囲を超えるため、接触状態は異常と判定して検査を中止する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて精度よく処理対象物の温度を制御することができる温度制御システムを提供すること。
【解決手段】上面に処理対象物を載置可能とし、内部に温調媒体の流路が形成されたサセプタと、サセプタの上面に載置された処理対象物の温度を測定する温度測定手段と、流路を流れる温調媒体を温調する第１の温調手段と、サセプタと第１の温調手段との間に介在し、温度測定手段による測定結果に基づいて、温調媒体を温調する第２の温調手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】永久磁石による安定で均一な静磁場を得ることができる、永久磁石を有する装置の温度制御方法及び装置を提供する。
【解決手段】永久磁石を有する装置の温度制御装置であって、永久磁石のＮ極又はＳ極の温度を測定する磁石温度測定手段と、永久磁石のＮ極を加熱するＮ極加熱手段と、永久磁石のＳ極を加熱するＳ極加熱手段と、磁石温度測定手段により測定された温度が、永久磁石に対する設定温度となるように、Ｎ極加熱手段及びＳ極加熱手段による加熱を制御する温度制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】鋼板等の加熱対象物が低放射率である等の理由により温度計による所望精度での温度測定が見込めず、かつ所望精度でのモデル化も困難な加熱プロセスにおいても高精度な温度制御を行うことが可能な温度制御方法および温度制御装置の提供。
【解決手段】鋼板１の必要昇温量ΔＴからモデル計算によりヒータ３の出力値を推定するための所要パワー計算モデル１０と、ヒータ３による鋼板１の加熱後の温度を放射温度計４により測定し、この測定結果と温度目標値との偏差からヒータ３の出力値を算出する温度ＦＢ制御手段１１と、モデル計算値をヒータ３へ出力指令するに際し、モデル計算値を温度ＦＢ制御出力値により補正する補正手段とを含む温度制御装置５である。 （もっと読む）

【課題】連続的に鋼板の表面処理後の加熱処理を行うプロセスにおいて、鋼板の繋ぎ目に起因する鋼板表面の反射率の変化に関わらず、適切な加熱パワーによる加熱処理を行うことが可能な温度制御方法および温度制御装置の提供。
【解決手段】加熱処理された鋼板１の温度を放射温度計５により測定し、加熱処理における加熱パワーを鋼板１の温度に基づいて温度制御コントローラ１０によりフィードバック制御するに際し、鋼板１の繋ぎ目前後の所定区間においては、パワー平均回路１１により加熱パワーを鋼板１の繋ぎ目直前の所定期間の平均加熱パワーで固定する。 （もっと読む）

【課題】集積回路の温度の変化を緩やかにすべく調整すること。
【解決手段】集積回路において回路が配置されていない空きエリアに配置される複数の発熱部と、空きエリアに配置され、集積回路の温度の変化に応じて各発熱部が発熱又は発熱を停止するよう個別に制御する制御部とを備え、制御部は、集積回路の温度を取得する温度取得部と、発熱部が発熱又は発熱を停止すべき閾値となる集積回路の温度の設定を受け付ける制御温度設定受付部と、温度取得部が取得した取得温度と、制御温度設定受付部が受け付けた設定温度とを比較する制御温度比較部と、制御温度比較部が比較した結果に基づいて、各発熱部が発熱又は発熱を停止するよう個別に制御する制御信号を生成する制御信号生成部と、制御信号生成部が生成した制御信号を、各発熱部に個別に出力する制御信号出力部とを有する。 （もっと読む）

【課題】ザゼンソウ型制御アルゴリズムと、従来の汎用制御アルゴリズムとを融合させ、広範囲な制御対象に対して適応した物理量制御アルゴリズムを提供する。
【解決手段】温度制御装置は、遅延器１、温度センサー３、第１のザゼンソウ型制御部、第２のＰＩＤ制御部１１、エネルギー発生器４，ヒーター５、混合器２１を備え、第１のザゼンソウ型制御部は現在温度と前回温度との時間変化勾配をパラメータとし、第２のＰＩＤ制御部１１は現在温度と目標温度との差をパラメータとし、第１のザゼンソウ型制御部と第２のＰＩＤ制御部１１が並列に接続されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熟練作業者がいなくても、目標温度で熱処理すべきウェーハ領域の全領域に渡って、短時間かつ正確に誤差の少ない均熱調整を行うことができ、コンピュータシステムにより自動化も可能な温度制御方法を提供する。
【解決手段】所定位置での検出温度をその目標温度とするよう、少なくとも２つの加熱ゾーンを有する加熱装置を制御する温度制御方法であって、前記加熱ゾーンの数よりも多く、且つ各加熱ゾーンにおいて少なくとも一つの所定位置での温度を検出し、検出された複数の所定位置における検出温度と、前記目標温度との差を、縮小するように前記加熱装置を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定かつ高精度な温度制御に好適な技術を提供する。
【解決手段】温度を制御する温度制御装置２００は、加熱部３０と、温度を検出する温度検出部３６と、目標温度と前記温度検出部によって検出された温度との偏差Ｅに基づいて操作量ＭＶｒを演算する演算部１００と、操作量ＭＶｒに応じて電圧又は電流が調整された電力を加熱部３０に供給する電力調整器２８とを備える。演算部１００は、比例要素、積分要素および微分要素のうち少なくとも比例要素を偏差Ｅに乗じる第１演算部３２と、平方根を演算する第２演算部３４とを含み、第１演算部３２と第２演算部３４とが直列に接続されている。 （もっと読む）

【課題】非干渉化による制御性能の悪化を抑制できるようにすることを目的とする。
【解決手段】非干渉化部４で非干渉化に用いる干渉行列Ｇｐの逆行列Ｇｐ^−１に、不所望な値の項が生じているか否かを判定部７で判定し、生じているときには、補正部８で逆行列Ｇｐ^−１を補正し、この補正した逆行列を用いて非干渉化するので、前記不所望な項、例えば、絶対値が非常に大きな項に起因する操作量の発振や定常偏差を抑制して制御性能を改善する。 （もっと読む）

【課題】制御部が制御する制御対象の特性と制御部が想定する制御対象との特性を一致させることにより、高精度な制御を可能にする。
【解決手段】制御対象を一次遅れ系として制御するＰＩＤ制御部３と、制御対象２の分布定数系の特性を一次遅れ系の特性に変換する変換部４とを備えており、変換部４では、制御対象２の分布定数系のモデルの逆モデル５によって制御対象２の分布定数系の特性を打ち消す一方、制御対象２の一次遅れ系のモデル６に置き換えており、これによって、ＰＩＤ制御３は、制御対象２、制御対象２の分布定数系のモデルの逆モデル５、および、制御対象２の一次遅れ系のモデル６からなる一次遅れ系の拡大制御対象７を制御する。 （もっと読む）

ディスクドライブ試験用スロット熱制御システムは、筐体（５０８、５５０）であって、外部表面（５３０、５５９）と、この筐体によって画定されかつ試験のためにディスクドライブ（６００）を運ぶディスクドライブ運搬装置（４００）を受けて支持するための試験区画（５２６、５６０）を具える内部空洞（５１７、５５６）と、この筐体の外部表面から内部空洞へと延在する注入口開口部（５２８、５５１）とを有する筐体（５０８、５５０）を具える試験用スロット（５００、５００ａ、５００ｂ、５４０）を具える。このディスクドライブ試験用スロット熱制御システムはまた、冷却導管（７１０）と、この冷却導管に取り付けられた熱電素子（７４２）とを具える。この熱電素子は、注入口開口部を通って内部空洞に入る空気の流れを冷却または加熱するように構成されている。
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【課題】抵抗ヒータの温度制御において、消費電力を抑えるようにすることと、抵抗ヒータの電圧等の測定に関して分解能の低下や誤差の増大を抑えるようにする。
【解決手段】温度制御装置５は、温度依存性抵抗ヒータ１１と、ＰＷＭコントローラ７１と、ＰＷＭスイッチＳＷ１と、差動増幅器５５と、ＡＤＣ５６と、を備える。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオン状態である場合に、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって電流が温度依存性抵抗ヒータ１１に流れる。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオフ状態である場合、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって温度依存性抵抗ヒータ１１に電流が流れない。ＰＷＭコントローラ７１は、ＰＷＭ信号がオン状態の場合における差動増幅器５５及びＡＤＣ５６の信号に基づき、温度依存性抵抗ヒータ１１の温度を設定温度に近づけるようにＰＷＭ信号のデューティ比を新たに設定する。 （もっと読む）

【課題】操作量が飽和するのを回避して、被処理物を、所望の状態で処理するための調整作業を容易に行えるようにする。
【解決手段】目標温度ＳＰを変化させたときの操作量ＭＶ、ウェハの温度ＷＡＦ、および、熱板の検出温度ＰＶの各変化に基づいて、目標温度ＳＰと操作量ＭＶとの関係を示す第１の行列、および、ウェハの温度ＷＡＦと目標温度ＳＰとの関係を示す第２の行列を取得し、第１，第２の行列を用いて、操作量ＭＶを制限した範囲内で、ウェハの面内の温度のばらつきを最小化する目標温度ＳＰの補正値を求めるようにしている。 （もっと読む）

【課題】抵抗ヒータの温度制御における消費電力を抑え、抵抗ヒータの電圧等の測定に関して分解能の低下や誤差の増大を抑える。
【解決手段】温度制御装置５は、温度依存性抵抗ヒータ１１と、ＰＷＭコントローラ７１と、加算器５２と、反転増幅器５３と、ＰＷＭスイッチＳＷ１と、差動増幅器５４と、差動増幅器５５と、ＡＤＣ５６と、を備える。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオンである場合に、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって強電流が温度依存性抵抗ヒータ１１に流れる。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオフである場合、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって弱電流が温度依存性抵抗ヒータ１１に流れる。ＰＷＭコントローラ７１は、ＰＷＭ信号がオフの場合における差動増幅器５４、差動増幅器５５及びＡＤＣ５６の信号に基づき、温度依存性抵抗ヒータ１１の温度を設定温度に近づけるようにＰＷＭ信号のデューティ比を新たに設定する。 （もっと読む）

【課題】正確かつ高速な応答性を有する新規な温度制御アルゴリズムを提供し、この温度制御アルゴリズムを利用して、所定の物体の温度制御を正確かつ高速に行う。
【解決手段】温度制御システムは、発熱制御機構モデル（２）を適用した温度制御装置１０１と、ペルチェ素子などから構成される加熱装置１０２と、この加熱装置１０２上に載置され、温度制御に供する物体１０３とを備えて構成される。温度制御装置１０１に適用した発熱制御機構モデル（２）は、時間ｔ＜０（目標温度に到達する以前）のときに、初期温度（目標温度）Ｔ０を発生するための初期エネルギーＥ０を発生するエネルギー発生器４１と、時間ｔ≧０（目標温度に到達した後）のときに、温度変化量ΔＴ_ｓがゼロになるようにフィードバック制御によりエネルギーΔＥを発生するエネルギー発生器４とを含んで構成される。 （もっと読む）