【課題】複数の蓄熱タンクおよび循環ポンプを備えた温調ユニットの並設と、タンク内の液体を循環させる循環路を形成した、より安定した温度制御が可能な温度制御システムを提供する。
【解決手段】第１温度の液体を貯蔵する低温温調ユニット７４、第１温度より高い第２温度の液体を貯蔵する高温温調ユニット７５、低温温調ユニットからの流体を流す低温流路７６、高温温調ユニットからの流体を流す高温流路７７、流体を循環させるバイパス流路７３、合流部ＰＡにて低温流路、高温流路及びバイパス流路の３流路から合流した流体を流す結合流路７１、結合流路から流体を流し、半導体製造装置１００に用いられる部材を冷却又は加熱する調温部７０、合流部の上流側にて前記３流路に取り付けられた可変バルブ７９の弁開度を制御し、前記３流路の流量分配比率を調整する制御装置９０を有する温度制御システム１が提供される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも実用性と一般性に優れたＢ２Ｂ制御システムを提供する。
【解決手段】制御装置は、バッチ反応プロセスを制御するＰＩＤコントローラを実現するカスケード制御実行部６と、反応プロセスモデルを記憶するモデル記憶部１と、モデル調整部７と、反応プロセスモデルを線形近似した伝達関数モデルを用いてＰＩＤコントローラのＰＩＤパラメータを調整する制御パラメータ調整部５とを備える。モデル調整部７は、冷媒入口温度Ｔ_ciの実績データを平滑化して反応プロセスモデルの入力として与え、反応プロセスモデルの出力である反応温度Ｔ_ravの時系列データと反応温度Ｔ_rの実績データとの２乗誤差を算出し、２乗誤差が最小になる、反応プロセスモデルの適応パラメータを非線形最適化により求め、適応パラメータを用いて反応プロセスモデルのモデルパラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の中心部分の温度を精度よく制御できる温度制御装置を提供する。
【解決手段】第１の主面及び第１の主面と対向する第２の主面を有する光学素子の温度制御装置であって、第１の主面に一定の接触熱抵抗で接する第１の筐体と、第１の筐体と第１の主面とが接する面積と等しい面積で、第２の主面に一定の接触熱抵抗で接する第２の筐体と、第１の筐体の温度を調整する温度調整素子と、第１の筐体の温度を測定する第１の温度測定素子と、第２の筐体の温度を測定する第２の温度測定素子と、第１の温度測定素子により測定された第１の筐体の測定温度と第２の温度測定素子により測定された第２の筐体の測定温度との平均値を光学素子の温度として、平均値が予め設定された設定値であるように温度調整素子を制御して第１の筐体の温度を調整させる制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】永久磁石による安定で均一な静磁場を得ることができる、永久磁石を有する装置の温度制御方法及び装置を提供する。
【解決手段】永久磁石を有する装置の温度制御装置であって、永久磁石のＮ極又はＳ極の温度を測定する磁石温度測定手段と、永久磁石のＮ極を加熱するＮ極加熱手段と、永久磁石のＳ極を加熱するＳ極加熱手段と、磁石温度測定手段により測定された温度が、永久磁石に対する設定温度となるように、Ｎ極加熱手段及びＳ極加熱手段による加熱を制御する温度制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】連続的に鋼板の表面処理後の加熱処理を行うプロセスにおいて、鋼板の繋ぎ目に起因する鋼板表面の反射率の変化に関わらず、適切な加熱パワーによる加熱処理を行うことが可能な温度制御方法および温度制御装置の提供。
【解決手段】加熱処理された鋼板１の温度を放射温度計５により測定し、加熱処理における加熱パワーを鋼板１の温度に基づいて温度制御コントローラ１０によりフィードバック制御するに際し、鋼板１の繋ぎ目前後の所定区間においては、パワー平均回路１１により加熱パワーを鋼板１の繋ぎ目直前の所定期間の平均加熱パワーで固定する。 （もっと読む）

【課題】鋼板等の加熱対象物が低放射率である等の理由により温度計による所望精度での温度測定が見込めず、かつ所望精度でのモデル化も困難な加熱プロセスにおいても高精度な温度制御を行うことが可能な温度制御方法および温度制御装置の提供。
【解決手段】鋼板１の必要昇温量ΔＴからモデル計算によりヒータ３の出力値を推定するための所要パワー計算モデル１０と、ヒータ３による鋼板１の加熱後の温度を放射温度計４により測定し、この測定結果と温度目標値との偏差からヒータ３の出力値を算出する温度ＦＢ制御手段１１と、モデル計算値をヒータ３へ出力指令するに際し、モデル計算値を温度ＦＢ制御出力値により補正する補正手段とを含む温度制御装置５である。 （もっと読む）

【課題】より簡素で低コストの構成で、ヒータの波数制御や位相制御によって発生されるフリッカや高調波電流を抑制し、他の照明機器や電子機器にちらつきや誤動作を誘発するのを防止することが可能な加熱装置、及びそれを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】発熱体１０９ｃと、発熱体に電力を供給する電力供給手段４０１と、電力供給手段をＯＮ／ＯＦＦ制御する制御手段１２６を有する加熱装置において、制御手段は、発熱体に所定の電力を切替えて投入するための複数の電力制御パターンを有し、複数の電力制御パターンに、各々の電力制御パターンが持つ特性に応じた重み付け値を対応させ、ＯＮ／ＯＦＦ制御する際に、所定の期間内で使用した複数の電力制御パターンに対応する重み付け値を積算し、積算した値が所定の閾値に達した場合に、電力制御パターンを切り替えることを特徴とする加熱装置。 （もっと読む）

【課題】エネルギの消費量を抑制しつつ、温度制御対象の温度を迅速に変更することのできる温度制御システムを提供する。
【解決手段】温度制御システムは、常温の水道水を調温ブロック１０へ供給する水通路２０と、水を内部に貯留するタンク４０と、温度調整された湯を調温ブロック１０へ供給する湯通路３０とを備える。温度制御システムは、調温ブロック１０へ供給される水道水と湯との混合比を調節する混合弁８０Ａと、混合湯を排出口５２へ排出する排出通路５０と、混合湯をタンク４０へ回収する回収通路６０と、排出口５２へ排出される混合湯とタンク４０へ回収される混合湯との分配比を調節する分配弁８０Ｂとを備える。制御装置７０は、ワークＷの温度が目標温度となるように混合弁８０Ａを制御するとともに、調温ブロック１０へ供給される湯の比率が高いほど、タンク４０へ回収される混合湯の比率が高くなるように分配弁８０Ｂを制御する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、環境温度に合わせて素子数の少ないペルチェ素子を精度良く制御することができるペルチェ素子の冷却制御回路を提供する。
【解決手段】 ペルチェ素子１に流れている電流を検出する電流検出抵抗Ｒ１と、ペルチェ素子１に流れている電流に比例した電圧に基づいてペルチェ素子１の電流制御を行うための電流制御回路ＩＣとの間に、第１、第２の増幅回路２、３を介在させる。第１の増幅回路２の増幅率を決める２つの抵抗Ｒ２、Ｒ３のうち一方の抵抗Ｒ２をサーミスタ４で構成する。環境温度が所定温度以上においては、第２の増幅回路３の出力が電流制御回路ＩＣに入力されてペルチェ素子１を定電流制御し、環境温度が所定温度未満においては、第１の増幅回路２の出力が電流制御回路ＩＣに入力されてペルチェ素子１を第１増幅回路２のサーミスタ４の温度特性に基づいて制御する。 （もっと読む）

【課題】集積回路の温度の変化を緩やかにすべく調整すること。
【解決手段】集積回路において回路が配置されていない空きエリアに配置される複数の発熱部と、空きエリアに配置され、集積回路の温度の変化に応じて各発熱部が発熱又は発熱を停止するよう個別に制御する制御部とを備え、制御部は、集積回路の温度を取得する温度取得部と、発熱部が発熱又は発熱を停止すべき閾値となる集積回路の温度の設定を受け付ける制御温度設定受付部と、温度取得部が取得した取得温度と、制御温度設定受付部が受け付けた設定温度とを比較する制御温度比較部と、制御温度比較部が比較した結果に基づいて、各発熱部が発熱又は発熱を停止するよう個別に制御する制御信号を生成する制御信号生成部と、制御信号生成部が生成した制御信号を、各発熱部に個別に出力する制御信号出力部とを有する。 （もっと読む）

【課題】測定が困難な実体物の制御量の代わりに、実体物に関係する計測点の制御量を測定して制御する場合に、実体物の制御量の設定値への追従速度を向上させる。
【解決手段】制御装置は、昇温開始点ＰＯと昇温幅ＰＨと操作量維持値ＭＨとからなるオンラインデータから維持時間ＴＸを推定する推定用多項式を記憶する推定用多項式記憶部１と、推定用多項式を用い、入力されたオンラインデータから維持時間ＴＸを推定する維持時間ＴＸ推定値算出部４と、昇温開始時点から維持時間ＴＸが経過するまでの初期制御期間において、操作量維持値ＭＨを目標として操作量ＭＶを出力する操作量維持制御部５とを備える。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は車両の流体ヒータ（３）の為の加熱部（９）に関する。車両の流体ヒータ（３）は、ヒーティングエレメントと、前記ヒーティングエレメント（２０）に接続されたパルス幅制御スイッチング部３２と、前記スイッチング部（３２）に接続され調整可能なパルス幅の制御信号（３３）を生成する制御部（３１）とを備える。前記スイッチング部との組み合わせで前記制御部（３１）が、前記加熱部（９）の温度を調整可能な目標温度に制限するように、前記制御部（３１）により生成される制御信号（３３）のパルス幅は前記ヒーティングエレメント（２０）の実温度により決定される。 （もっと読む）

【課題】作業効率の向上およびコストダウンに寄与する技術を提供する。
【解決手段】 基板を処理する処理室内を加熱する加熱手段と、処理室内の温度を検出する第一の温度検出手段と、処理室内の温度を検出し、第一の温度検出手段よりも加熱手段に近い位置に配置される第二の温度検出手段とを用い、第一の温度検出手段の検出する温度が昇温開始時の温度から目標温度となるように、積分演算、微分演算、比例演算それぞれによる出力分を含む第一の出力制御パターンを用いて加熱手段を制御した際に、検出された第二の温度検出手段の検出温度から算出される、昇温開始時から最大温度時までの間の熱量の中から比例演算による出力分を差し引いた熱量を用いて加熱手段の操作量の少なくとも一部をパターン化した第二の出力制御パターンを求める工程と、第二の出力制御パターンを用いて、加熱手段を制御しつつ基板を処理する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】温度調整用の流体が供給される空間の圧力上昇を抑制して、物体を良好に温度調整できる温度調整装置を提供する。
【解決手段】温度調整装置は、所定空間に温度調整用の流体を供給して物体の温度を調整する。温度調整装置は、所定空間に流体を供給するための供給流路と、供給流路から分岐する分岐流路と、所定空間に流入する流体の圧力に応じて、供給流路を流れる流体の少なくとも一部を分岐流路に流すことができる調整機構とを備えている。 （もっと読む）

【課題】傾斜温度（温度差）を用いた温度制御などにおいて、干渉の強い制御対象であっても、ハンチング等が生じないようにすることを目的とする。
【解決手段】温度差である傾斜温度に基づいて、操作量を演算する傾斜モモードのコントローラＣｇと、平均温度に基づいて、操作量を演算する平均モードのコントローラＣａとを備える温度調節器において、傾斜温度に基づいて、干渉を打ち消すように、傾斜モードおよび平均モードの各コントローラＣｇ，Ｃａの操作量を調整する傾斜モードおよび平均モードの非干渉化器Ｆｇ，Ｆａを設けている。 （もっと読む）

【課題】 各組加熱装置の目標温度値付近での良好な温度制御を行い、しかも、最大電力や最大電流値を超えないように、各組加熱装置に電力を配分する。
【解決手段】 通電発熱手段，通電手段および温度検出手段の組合せを複数組と、各組に対する電力配分を制御する制御手段と、を備える温度制御装置において：各組の不足温度の対比に基づき不足温度が大きい組に対して電力を上げ、小さい組に対しては電力を下げる；各組の目標温度に到達するまでの所要時間予測値の対比に基づき該上げ下げする；不足温度の比で制御周期ＴｃをＴ１とＴ２に時分割して該上げ下げを切り換える；又は、所要時間予測値の比で制御周期ＴｃをＴ１とＴ２に時分割して該上げ下げを切り換える。上げは通電（オン）、下げは非通電（オフ）；もしくは、上げは、フィードバック温度制御、下げは非通電（オフ）。 （もっと読む）

【課題】制御点数が増えた場合にも、高精度な傾斜温度制御を可能とする。
【解決手段】傾斜温度制御を行なう温度制御ブロック２４Ｈ，２４Ｌ−１，２４Ｌ−２を階層化し、下層の温度制御ブロック２４Ｌ−１，２４Ｌ−２の入力温度モード変換ブロックからの平均温度ＧＰＶ１を、上層の温度制御ブロック２４Ｈの入力温度モード変換ブロック２０Ｈの入力温度とする一方、上層の温度制御ブロック２４Ｈの前置補償ブロック２３Ｈからの制御出力を、下層の温度制御ブロック２４Ｌ−１，２４Ｌ−２の目標温度モード変換ブロック２１Ｌ−１，２１Ｌ−２の目標温度とし、これによって、下層の各温度制御ブロック２４Ｌ−１，２４Ｌ−２毎に、個別に傾斜温度制御するのではなく、両温度制御ブロック２４Ｌ−１，２４Ｌ−２全体として傾斜温度制御するようにしている。 （もっと読む）

【課題】微小な被温度調節部の温度制御が容易であり、結露による温度調節部の故障が防止される温度制御装置を提供する。
【解決手段】被温度調節部の温度を制御する温度制御装置であって、ヒートシンクと、前記ヒートシンクとの間に閉空間を形成する空間形成部材と、前記ヒートシンクと前記空間形成部材とが形成する前記閉空間に収容され、前記空間形成部材の前記ヒートシンク側の端部に接し、前記空間形成部材を経由して前記被温度調節部の温度を調節する少なくとも一つのペルチェ式温度調節部を有する温度調節部と、前記閉空間の内部の湿度を低減する除湿手段と、を備える。 （もっと読む）

適応型温度調節装置（１０）は、周囲温度センサ（３０）、抵抗測定装置、導電性材料（５０）、電源、及び電力制御装置を備えて構成される。作動中、コントローラ（１０）によって周囲温度あるいは周囲温度付近における材料の抵抗値が決定される。この決定に基づいて、電圧及び電力が既知である限り、材料の抵抗値、従ってその瞬間の温度も分る。さらに、適応型温度調節装置（１０）は、電圧、電流あるいは電力の増加に対する予測温度上昇及び温度上昇速度を決めるように、導電性材料（５０）の応答性も決定する。その結果、電圧あるいは電力を瞬時に変えて材料温度全体に亘って近無限調節を行うことが可能となる。
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【課題】 比較的に少ない作業工数にて均一温度制御のための調整作業を完了することができると共に、ある温度にて均一温度制御を達成したのち、別の温度による均一温度制御に切り換えたとしても、その都度、均一温度制御のための調整作業は不要となるヒータ駆動制御方法を提供する。
【解決手段】 操作出力値生成用の粗テーブルを生成する第１のステップと、操作出力値生成用の精細テーブルを生成する第２のステップと、参照温度が指定される毎に、指定された参照温度をキーとして操作出力値生成用の精細テーブルを検索することにより、その参照温度に対応する各領域毎のサーボ系の操作出力値に相当するデータを抽出すると共に、このデータに基づいて生成される各操作出力値をそれぞれ該当する領域の駆動系に与える第３のステップと、を具備する。 （もっと読む）