【課題】 安全性の高い磁気軸受式ターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】 磁気軸受のアキシャル軸であり電磁石５１，５２の中心軸に垂直な面内に非接触式位置センサ２０を３つ配設した。各位置センサ２０はベース４に設けられており、ロータ２のドラッグポンプ段を構成する円筒部１２の内周面とのギャップを検出する。そして、各位置センサ２０の検出結果に基づいて、円筒部１２の内径の変化であるロータ変形量δを算出する。このロータ変形量δに基づいてロータ２とネジステータ１１の接触の可能性があるか否かを判定し、可能性があると判定された場合にはロータ回転数を下げて接触を回避する。 （もっと読む）

ワークピースをスキャンするための往復駆動システム、方法及び装置が提供される。この往復駆動装置のモータは、独立して第１軸回りに回転可能なロータとステータを有し、静的基準点に対してワークピースを往復移動するように作動可能である。ロータによって回転可能に駆動されるシャフトは、第１軸に沿って伸びている。また、スキャンアームは、このシャフトに結合して作動し、ワークピースを支持して作動可能である。モータによるシャフトの周期的な逆回転により、スキャンアームを回転して作動することができ、これにより、第１スキャン経路に沿うイオンビームを通過してワークピースをスキャンする。ステータは、前記ロータの回転に対して反動質量として作用する。コントローラは、ロータとステータの間の電磁気力を制御し、これにより、ロータとステータの回転位置を決定する。
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迅速かつ円滑に伝達トルクの切り替えができると共に、装置コストの安価化及び装置のコンパクト化が可能な電動アクチュエータ（１０）及びその制御装置を提供する。回転トルクを出力するモータ（４０）と、該モータの回転運動を受けて２つの出力軸（５３，５４）に分配して出力するトルク分配手段（５０）と、該トルク分配手段（５０）の前記２つの出力軸（５３，５４）の回転運動を選択的に拘束する回転拘束手段（６０）と、前記２つの出力軸（５３，５４）の一方の前記回転運動受けて往復運動に変換する運動変換手段（７０）と、前記他方の出力軸の前記回転運動を受けて回転運動すると共に前記往復運動を受けて往復運動する出力シャフト（８０）と、を備えてなる。
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固定された径方向空隙を持つブラシレス永久磁石電気装置が、有効な磁極強度を減少させることにより、通常の最大スピードよりもはるかに速い速度で運転される。永久磁石は、軸方向に移動自在な円筒状シェルの内表面上に支持される。複数の磁極はワイヤコイルにより形成され、静止状態の円筒状部材に支持される。永久磁石は、前記軸方向に移動自在な円筒状部材上の永久磁石に対して協働することで、前記軸方向に移動自在な円筒状シェルの回転を引き起こし、または、同円筒状シェルの回転に対して反応する。前記軸方向に移動自在な円筒状シェル及び前記円筒状部材は同軸である。前記円筒状シェルは、前記円筒状部材に対して軸方向に移動可能である。
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【課題】現行技術の問題を解消し、電動モータによって回転駆動される歯車、特にモータ減速歯車に多極磁気リングを固定する装置を提供する。
【解決手段】本発明は、電動モータによって回転駆動される歯車（２０）、特にモータ減速歯車に、多極磁気リング（１０）を固定するための固定装置（１）に関する。本発明の特徴は、固定装置（１）が、歯車（２０）の平面と実質的に平行な結合方向で、磁気リング（１０）のアンカー突出部（１２ａ）（１２ｂ）と係合しうるようにして、その歯車（２０）に固定された少なくとも１つのストッパー部材（２２ａ）（２２ｂ）と、歯車（２０）の平面と実質的に垂直な結合方向で、磁気リング（１０）の保持突出部（１３）と弾性変形した後に係合しうる、歯車（２０）上の少なくとも１つの保持クリップ（２３）とを備えていることにある。 （もっと読む）

モーターのような電気機械用のローターアセンブリ(１)は、各端部にベアリング(７,８)を有するシャフト(２)上のローター(３)を具備してなり、このベアリングはローターおよびシャフトを回転可能に支持するよう配置されている。本アセンブリはさらに、Ｏリング(１５ａ,１５ｂ,１６ａ,１６ｂ)の形態の、ベアリング上の弾性手段を具備してなり、この弾性手段は、作動時、ローターがそれ自身の重心を中心として回転するよう配置される。これによってベアリングの損耗(これはローターがその幾何学的中心まわりに回転することによって生じ得る)が低減される。本ローターアセンブリは、モーターあるいは発電機のようなスイッチドリラクタンス機械において使用可能である。空気圧送手段(４)をシャフト上に設け、作動時、ベアリングを冷却するために、その少なくとも一つを横切って空気を引き込むよう構成できる。
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【課題】ロータの回転を減速する減速機構、ロータの回転角度を検出する回転角度検出手段、ブレーキ装置に作動油を供給する油圧配管などの部材を効率よくレイアウトして、車幅方向の寸法を最小限に抑制できるインホイールモータを提供する。
【解決手段】ロータ軸７に対して偏心位置にカウンタ軸２４を配設して、カウンタ軸２４上のカウンタギア３４，３５を介してロータ軸７の回転を減速してスピンドル軸１５に伝達するとともに、このカウンタギア３４，３５を避けた位相に、回転角度検出センサ４８と油圧配管４３とを配設する。 （もっと読む）

【課題】 微小重力回転装置の駆動モータに関し、回転軸の振動をモータを介して外部へ伝わらないようにすると共に、振動を効果的に吸収する。
【解決手段】 ケーシング１０内で回転軸３０に取付けられた実験ボックス２０〜２３が回転し、微小重力環境での実験がなされる。回転軸３０は磁気軸受１１，１２で両端が支持され、モータ３４により回転駆動されて磁気軸受のコイルの励磁を制御し、振動を吸収する。モータ３４は回転軸３０に取付けられた導体円板３６とその両側に所定の隙間を保ってコイル支持材３７ａ，３７ｂに取付けられた固定子となるモータコイル３５ａ，３５ｂとからなり、回転軸３０とモータコイル３５ａ，３５ｂとの隙間ｔは導体円板を大きく設定することにより従来よりも大きく設定できる。従って、回転軸３０に発生する大きな振動はモータコイル３５ａ，３５ｂから外部へ伝わることがない。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータシステムの構成を簡易化させ得ると共に、性能を向上させながら容易に小型化させ得るアクチュエータ装置を実現し難かった。
【解決手段】アクチュエータ装置において、回転軸の回転を駆動手段を介して制御する制御手段をハウジング内に設けるようにした。またアクチュエータ装置において、回転軸の回転変位を検出する回転軸回転変位検出手段をハウジング内に設けるようにした。さらに本発明においては、アクチュエータ装置において、回転自在に枢支された回転軸と、当該回転軸と同軸に一体化された永久磁石と、永久磁石に回転力を生じさせる磁界を発生する磁界発生手段と、永久磁石の温度を検出する温度センサとを設けるようにした。 （もっと読む）