【課題】弾性表面波アクチュエータにおいて、簡単な構成により、移動子の固定子表面との接触部の磨耗量を予測し、磨耗限界の予測を実現可能とする。
【解決手段】弾性表面波アクチュエータ１は、弾性表面波Ｗを励振する交差指電極４を表面に有する圧電基板からなる固定子２と、弾性表面波励振用の電力を交差指電極４に供給する高周波電源１１と、交差指電極４と高周波電源１１とによって圧電基板（固定子２）の表面に励振される弾性表面波Ｗにより駆動される移動子３と、加減速を含む単位駆動サイクルにおける移動子３の固定子２表面との接触部の磨耗量を算出する磨耗量算出部１２と、算出された磨耗量を積算する磨耗量積算部１３と、積算された積算磨耗量を表示する出力部１４と、を備えている。移動子３の接触面の磨耗は加減速時に発生するので、単位駆動サイクルの発生回数に基づいて積算磨耗量が算出され、磨耗限界が予測され、出力部１４に表示される。 （もっと読む）

【課題】 超音波振動生成装置及び方法、そしてウエハー洗浄装置及び方法が開示される。
【解決手段】 超音波振動生成装置及び方法は、振動発生部から発生された超音波振動が伝達部材の物質層を通過するようにして、超音波振動の強度及び方向を調節する。ウエハー洗浄装置及び方法は、洗浄液供給部から洗浄液をウエハーに供給し、超音波振動発生部が超音波振動を発生し、超音波振動を伝達部材の物質層を通過するようにして超音波振動の強度及び方向を調節して、強度及び方向が調節された超音波振動が洗浄液に伝達される。 （もっと読む）

【課題】超音波モータを設置したテーブルからの真空雰囲気中での熱の移動量を増加させ、送り装置の小型化を図る手段を提供する。
【解決手段】基台２に真空雰囲気中で移動可能に支持されたテーブル８に設けられた超音波モータ１２を備えた送り装置１において、テーブル８の移動方向に沿って形成された複数の放熱板２２を有する放熱体２１をテーブル８に設置すると共に、放熱板２２の間にそれぞれ配置された複数の受熱板２６を有する受熱体２５を基台２に設置する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子と他の部品との接続箇所に破断を生じたり圧電素子自体が疲労したりする可能性が低く、高速な送りと精密な位置決めのための送りが共に可能であって、制御回路やアンプの構成も簡便な圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】略Ｔ字型の弾性体７の梁状本体部５の全長に匹敵する間隔をおいて第１，第２の圧電素子ＰＴＺ１，ＰＴＺ２を相互に略平行な状態で配置した構成を適用し、高速送りに際しては一方の圧電素子のみを振動させて柱状突起６を共振させることで柱状突起６の先端に楕円運動を生起させてスライダ２に送りを掛け、また、微動送りに際しては何れか一方の圧電素子を伸縮させて他方の圧電素子の先端を支点に弾性体７を揺動させることで柱状突起６の先端を圧電素子の伸縮方向と交差する方向に移動させてスライダ２に送りを掛ける。 （もっと読む）

【課題】超音波モータを用いた送り装置の駆動相手部材の接触面上の磨耗粉を長期間に渡って除去し、回収する手段を提供する。
【解決手段】超音波モータ１２と、超音波モータ１２の振動子１８が接触する接触面１９が形成された駆動相手部材１６とを備えた送り装置１において、超音波モータ１２の接触面１９に沿う方向の両側に磨耗粉除去回収機構２１を設け、この磨耗粉除去回収機構２１が、接触面１９を転動するローラ２４と、ローラ２４の外周面に摺接するブラシ２６と、ブラシ２６により除去された磨耗粉を回収する回収部３１と、ブラシ２６とローラ２４の外周面との摺接部３２および、摺接部３２と回収部３１との間を覆うケース２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】超音波モータを用いた送り装置の超音波モータの振動子や駆動相手部材の接触面の磨耗を減少させる手段を提供する。
【解決手段】超音波モータ１２と、超音波モータ１２の振動子１８が接触する接触面１９が形成された駆動相手部材１６とを備えた送り装置１において、超音波モータ１２の、接触面１９に沿う方向の両側に潤滑油を含浸させた含油部材２２を有する潤滑剤塗布機構２１を配置し、この潤滑油塗布機構２１により、含油部材２２を接触面１９に接触させて接触面１９に潤滑油を塗布する。 （もっと読む）

【課題】振動アクチュエータを効率よく駆動する振動アクチュエータの駆動装置、レンズ鏡筒、カメラを提供する。
【解決手段】電源部（１０１）が接続された１次側インダクタ部（１０５Ａ，１０５Ｂ）と、振動子に接続された２次側インダクタ部（１０６Ａ，１０６Ｂ）とを有するトランス部（１０４Ａ，１０４Ｂ）と、２次側インダクタ部（１０６Ａ，１０６Ｂ）と振動子（１１）との間における第１の方向に流れる電流（Ｉａ３）の通電状態を切り替える２次側第１切り替え部（１３０Ａ，１３０Ｂ）と、２次側インダクタ部（１０６Ａ，１０６Ｂ）と振動子（１１）との間における第１の方向とは反対方向である第２の方向（Ｉａ４）に流れる電流の通電状態を切り替える２次側第２切り替え部（１４０Ａ，１４０Ｂ）とを備えた振動アクチュエータ（１０）の駆動装置（１０１，１０２，１０３Ａ，１０３Ｂ）とする。 （もっと読む）

【課題】Ｓ相として機能する圧電膜から出力された信号を、振動による断線がなく、かつ駆動相の出力を調整するための回路を設けることなく、容易にかつ安定して取り出すことができる超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータは、複数の電極を持つ圧電素子１に駆動信号を印加して振動子３，４に振動を励起させ、該振動子３，４に接触するロータ１３，１５を相対的に移動させる。振動子３の圧電素子１が当接する面には、振動検知用の圧電膜２０が直接成膜されている。 （もっと読む）

【課題】駆動可能な被駆動体の重さを維持し、或いはさらに増しつつ、小型化が可能な圧電素子を用いた駆動装置を提供する。
【解決手段】電気的作用により伸縮し、伸縮方向に平行な平面を有する圧電素子１１と、圧電素子１１の伸縮方向に平行な平面上に載置され、かつ圧電素子１１の伸縮方向の前端に固定された第１摩擦部材１３と、第１摩擦部材１３の上面に当接するように載置され、被駆動体を駆動する駆動部材１４と、第１摩擦部材１３に対して駆動部材１４を押圧する押圧機構部１６と、圧電素子１１の伸縮方向の後端を固定する固定部材１７とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＨＤＤの磁気記録ヘッドの駆動などのために用いられる超音波モータにおいて、応答性を向上する。
【解決手段】面内振動を行う振動体２をロータ３に内包することで、前記振動体２の振動が摩擦接触するロータ３に伝達されて該ロータ３が回転する超音波モータ１において、前記ロータ３を、剛性を有し、有底円筒状に形成される上下一対の第１および第２の部材３１，３２の組合わせで構成し、巻ばね４によって発生した弾発力でそれらの底板３１ａ，３２ａ間に前記振動体２を挟圧保持させるとともに、前記底板３１ａ，３２ａに、すり鉢状のテーパ面３１ｃ，３２ｃを形成する。したがって、ロータ３の軸受けを不要にして応答性を向上することができるとともに、振動体（ステータ）２とロータ３との間の摩擦力をより安定させ、駆動性能を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】 小型でも高速、高耐久、高出力である直動型のアクチュエータを実現する。
【解決手段】 中央部と端部で直径の異なる円筒状の振動体２と同軸に、円筒状の圧電素子３を配置し、中央部で隙間２ａを形成する振動体２を端部で固定する。圧電素子３の内側に配置した第１の電極４ａ、４ｂと第２の電極である振動体２の間に振動電圧をかけて振動体２を加振し、進行波の波頭を、振動体２を嵌合させた支持部材である筒状部材１に接触させる。振動体２の接触部における摩擦によって、振動体２と圧電素子３からなる移動体を筒状部材１の軸方向へ移動させる。圧電素子３とは別に設けた振動体２を利用して振動振幅を拡大することで、小型化で高速駆動できるアクチュエータを実現する。 （もっと読む）

【課題】軸受け部と駆動軸との間に発生する摩擦による摩耗が、スライダに及ぼす影響を低減させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】振れ補正ユニット１００は、ベース板に設置され、駆動軸ＡＫ３を有するヨー方向アクチュエータ２３と、駆動軸ＡＫ３と摩擦結合される軸受け部６３を有する移動部６１と、移動部６１とは別体として構成され、前記第１の移動体には固定されないが、前記第１の移動体と連動した移動が可能な第１スライダ４０と、ベース板と保持部材とによって第１スライダ４０を所定平面内で移動可能に支持する支持手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ステータを出力軸から離間させた状態でのステータと出力軸との同軸度の高精度化を低コストで実現することができる超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータ１は、電気−機械エネルギ変換素子を支持する支持部材１３を有するステータ１０と、支持部材１３が固定された状態でステータ１０を覆う外筒３０と、ステータ１０の振動体に励起した振動により駆動されるロータ２０と、ロータ２０の駆動力により回転駆動される出力軸２４と、を備える。支持部材１３は、出力軸２４に対して係合する係合部１３ａを有し、該係合部１３ａは、出力軸２４の軸方向に変形可能とされて、該変形後に出力軸２４に対する係合が解除される。 （もっと読む）

【課題】長時間駆動時等に生じる磨耗粉に起因する駆動特性の劣化を大きく緩和する超音波モータの駆動方法及び超音波モータを提供すること。
【解決手段】被駆動部材4に当接する駆動子2bを備える圧電積層体2aに所定の位相差及び所定の駆動周波数の２相の交番電圧を印加することにより、前記圧電積層体2aに縦振動と屈曲振動とを同時に発生させることで楕円振動を発生させ、該楕円振動により駆動力を得て前記駆動子2bで被駆動部材4を駆動する超音波モータの駆動方法であって、
前記被駆動部材4を通常往復駆動範囲L1で繰り返し往復駆動する通常往復駆動を行う際に、前記被駆動部材4を前記所定の駆動範囲よりも広い磨耗粉除去駆動範囲L2で往復駆動する磨耗粉除去駆動を、一定の頻度で割り込み処理によって行う。 （もっと読む）

【課題】 小型化に対応できる、簡素な電極構成を備え製品設計上の自由度が大きい圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 矩形状の圧電セラミックスからなる圧電アクチュエータであって、該矩形状の圧電セラミックス上に対角線を挟んで厚さ方向に分極された２つの領域に励振用電極部１、２を備え、長さ縦振動及び屈曲２次振動が励振され、さらに、前記厚さ方向に分極された２つの領域が、それぞれ厚み方向に複数層積層されていることも可能な圧電アクチュエータであり、その駆動方法は、圧電アクチュエータの２つの分極領域を同位相の信号で駆動することで縦振動が励振され、互いに逆異相の信号を入力することで屈曲２次振動が励振される圧電アクチュエータの駆動方法。 （もっと読む）

【課題】駆動特性の安定化を図りつつ、装置全体の小型化を図った圧電モータを提供する。
【解決手段】圧電モータ１１０は、基台１１１と、基台１１１に対して対称に配設されて共通の周波数の交流駆動電圧が印加され作動方向が互いに逆方向の第１および第２の圧電素子１１２ａ，１１２ｂと、基台１１１に固定された第１および第２の支点１２の周りに回動する第１および第２のてこによって第１および第２の圧電素子１１２ａ，１１２ｂの作動変位を拡大する第１および第２の変位拡大機構１１３ａ，１１３ｂと、第１および第２のてこの作用点１３部位にそれぞれの一端が連結された第１および第２の板バネ１１４ａ，１１４ｂと、第１および第２の板バネ１１４ａ，１１４ｂそれぞれの反対側の端部が固定されて揺動し被駆動部に対して押し付けられて被駆動部との間の摩擦力により被駆動部を駆動する駆動部１１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】低背化を実現し、かつ、新たな部材を設けることなく簡便に摩擦係合部における予圧を微調整して与えることができる駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明の駆動装置は、電気的制御により屈曲変位が励起される屈曲変位部材１Ａ・１Ｂと、屈曲変位部材１Ａ・１Ｂに連結されているとともに、鏡筒４と接触し、屈曲変位部材１Ａ・１Ｂの屈曲変位方向Ａ・Ｂと異なる方向に変位方向を変換して鏡筒４を駆動する弾性部材２及び摩擦部材３とを備え、屈曲変位部材１Ａ・１Ｂ、弾性部材２及び摩擦部材３に予め応力がかけられた状態で、屈曲変位部材１Ａが固定されているので、摩擦係合部における予圧を微調整することができる。 （もっと読む）

【課題】事前に振動型モータ装置の適切な交換時期を知ることができる振動型モータ装置の駆動制御装置を提供する。
【解決手段】駆動制御装置は、弾性体に配置された電気−機械エネルギー変換素子部に駆動信号を印加して振動を励起し、弾性体と該弾性体に接触する接触体とを相対的に摩擦駆動する振動型モータ装置を駆動制御する。そして、振動検出素子ｓ１によって検出された電気−機械エネルギー変換素子部の振動状態と振動型モータ装置の動作状態に基づいて、振動型モータ装置の継続動作の許否判定を行う判定手段としての制御回路を備える。 （もっと読む）

【課題】 電気機械変換素子の伸縮をより大きくすることができると共に、電気機械変換素子の支持安定性をより向上させることができる駆動装置を提供する。
【解決手段】 駆動装置１では、圧電素子４がホルダ３によって弾性的に支持されている。そのため、例えば、圧電素子４と駆動軸６とが当接するように圧電素子４の他端及び駆動軸６の一端がホルダ３によって付勢されるような場合に比べ、圧電素子４の伸縮をより大きくすることができる。しかも、中空の駆動軸６内において圧電素子４と支持部材２０の嵌合部２２との間に配置されたバネ２６によって、圧電素子４が基準線ＦＬの延在方向における他方の側に付勢されている。そのため、例えばバネ２６が設けられずに圧電素子４の他端に錘部材が取り付けられるような場合に比べ、ホルダ３による圧電素子４の支持安定性をより向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 電気機械変換素子をホルダに支持させるための接着剤が駆動軸における被駆動体の移動領域に流れ出すのを防止することができる駆動装置を提供する。
【解決手段】 駆動装置１では、駆動軸６に液密に嵌められた鍔部材２０が、駆動軸６における係合部２ａの移動領域ＭＲと圧電素子４の一端との間に位置している。そのため、鍔部材２０がバリアとなって、基準線ＦＬに対して側方から圧電素子４をホルダ３に支持させるためのシリコーン接着剤が、駆動軸６の移動領域ＭＲに流れ出すのを防止することができる。 （もっと読む）