【課題】 簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、移動の真直性とＸ−Ｙ方向の直交性に優れたアクチュエータおよび当該アクチュエータを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】 被駆動部材３５において、２つの駆動体４１，４２を、直交する２軸に対して線対称となるように配置することで、各駆動体の移動方向の傾きを相殺し、各駆動体の２つの電気機械変換素子に、互いに同じ電圧または正負が反転した電圧を印加することで、直交する２軸方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの出力を高める。
【解決手段】移動子を移動させるアクチュエータであって、前記移動子から前記移動子の移動方向と直交する方向に離れた位置から前記移動子へ向けて延び、前記移動子から遠い側の端から前記移動子の側へ設けられた溝により前記移動子の移動方向に分岐された一対の脚部を有する突起部と、前記一対の脚部の一方を支持し、電力を供給されることにより、前記移動子の移動方向と交差する方向に伸縮する第１電気機械変換部と、前記一対の脚部の他方を支持し、電力を供給されることにより、前記移動子の移動方向と交差する方向に前記第１電気機械変換部とは異なる位相で伸縮することにより、前記第１電気機械変換部と協働して、前記突起部を、前記移動子の側に変位しながら前記移動子の移動方向に揺動させる第２電気機械変換部と、を備えるアクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】寸法精度が高い溝を容易に形成する。
【解決手段】振動板４０の圧力室２４と対向することとなる領域の搬送方向に関する両端部の外側に、走査方向に沿って延在した貫通孔４０ａを形成する（貫通孔形成工程）。振動板４０のいずれか一方の面に貫通孔４０ａを閉塞するように閉塞層７０を接合する（閉塞層形成工程）。振動板４０の上面、振動板４０の貫通孔４０ａの内壁、及び、振動板４０の貫通孔４０ａから露出した閉塞層７０の上面に跨って、薄膜６２を形成する（成膜工程）。薄膜６２の表面に、圧電材料を用いて、圧電材料の粒子を堆積させることにより圧電層４１を形成する（圧電層形成工程）。閉塞層７０を加熱して除去する（除去工程）。 （もっと読む）

【課題】溝部が不要であり、圧電素子に穴部を設ける必要が無く、簡単な構造で楕円振動を容易に励起することができ、超音波振動子に生じる楕円振動によりロータを回転させる超音波モータを提供することである。
【解決手段】超音波モータは、略直方体形状の各辺の比が、略１：１:０．４５となっている振動子１１と、該振動子１１の楕円振動発生面に接して該振動子１１の該楕円振動発生面と直交する中心軸を回転軸として回転駆動されるロータ１５と、を少なくとも備えている。そして、前記振動子１１は、該振動子１１の同一面に発生する輪郭すべり振動と面たわみ振動を、所定の位相差で同時に励起し、該輪郭すべり振動と該面たわみ振動が発生する面と直交する面に生じた楕円振動の発生部位に接触して、ロータ１５を回転駆動させる。 （もっと読む）

【課題】整定範囲に入ったときに外乱などによる印加電圧の変化で整定が大きく乱れるのを防止する位置決め装置、位置決め方法および位置決めプログラムを提供する。
【解決手段】圧電素子を用いた位置決め装置であって、圧電素子への印加電圧が限度値に到達したか否かを判定し、到達したときには印加電圧をもとの方向に戻す印加電圧判定部１０７と、限度値を設定する限度値設定部１０５と、圧電素子により駆動される被駆動体が、所定範囲内に入ったか否かを判定する位置判定部１０２と、を備え、限度値設定部１０５は、被駆動体が、所定の小駆動範囲内に入ったと判定されたときには、限度値を現在値より小さく設定し、被駆動体が小駆動範囲内に含まれる整定範囲内に入ったと判定されたときには、限度値を現在値より大きく設定するか、または設定を解除する。 （もっと読む）

【課題】振動波モータの実際の回転速度と目標回転速度の回転速度差に応じて、振動波モータに供給する交流電圧の周波数を適切に制御する振動波モータの駆動方法を提供する。
【解決手段】交流電圧により振動体４０１に振動を発生させて移動体４０３を駆動する振動波モータ１０１を、移動体４０３の目標回転速度Ｎ_objnを設定し、交流電圧の周波数更新量Δｆ_nに対する移動体４０３の回転速度の増減量ΔＮ_nの割合Ｔ_nを求め、目標回転速度Ｎ_objnと移動体４０３の実際の回転速度Ｎ_nとの回転速度差Ｎ_objn−Ｎ_nを求め、回転速度差Ｎ_objn−Ｎ_nを割合Ｔ_nで除することにより周波数更新量Δｆ_nを求め、周波数更新量Δｆ_nを用いて交流電圧の周波数ｆ_nを更新する処理を行うことにより、駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】何らかの要因により、圧電アクチュエータの圧電素子に供給される鋸歯状波形の電圧が変化してしまうことがあっても、圧電アクチュエータの反転位置を確実に認識すること。
【解決手段】圧電アクチュエータのベースプレートに圧電素子を有する駆動体が回転自在に配置され、駆動体の圧電素子に接続される電力制御部が、反転指令部からの反転指令信号を受けて圧電素子に駆動電力を供給し、第１支持柱ストッパ部材の間で駆動体を往復駆動させ、反転指令部が第１支持柱及びストッパ部材での駆動体の反転位置を認識する際、たとえば駆動体の駆動開始直後の所定の基準電圧データ取得区間で検出した基準電圧データに基づき基準電圧を設定し、所定の電圧検出タイミングにて検出した圧電素子の駆動電圧が基準電圧に対し一定値以上の差になったことを検出することにより、駆動体の反転位置を認識するようにした。 （もっと読む）

【課題】所望形状の均質な微小構造体を形成することのできる微小構造物の製造方法等を提供する。
【解決手段】表面に複数の凸部５を有する基材１を、凸部５の先端部によって形成される基材１表面の凸部の向き４が蒸着粒子３の入射方向に対して対向する方向より偏向して基材１を設置して蒸着材料を成長させる。これにより、凸部５の先端部から蒸着材料の構造体を成長させて個々の構造体がギャップによって隔てられ物理的に独立した微小構造物２の集合体を形成する。 （もっと読む）

【課題】屈曲変位部材と被駆動体との間で作用する摩擦力及び被駆動体駆動速度の安定した駆動装置、これを備えた撮像装置、及び電子機器を提供する。
【解決手段】駆動装置１０ｃは、一端が筐体１１に固定された屈曲振動部材１の自由端での変位を被駆動体２０に伝達する。屈曲振動部材１の自由端に設けられ、かつ被駆動体２０に当接して被駆動体２０を当接方向とは垂直な方向に摩擦力にて変位させる摩擦部材２と、摩擦部材２における被駆動体２０を挟んでの当接方向の対向位置に設けられ、かつ被駆動体２０に接触する球面部１５と、摩擦部材２と球面部１５とを結ぶ軸線上にて球面部１５を被駆動体２０側に付勢する圧縮コイルばね１４とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】低速駆動を行う場合であっても、不感帯の影響を小さくして良好な制御性且つ高い速度分解能で駆動可能な超音波モータを提供すること。
【解決手段】駆動位相差と駆動速度と特性直線上の駆動点を切り替えて駆動速度を制御する制御CPU22を、超音波モータに具備させる。この制御CPU22は、駆動速度を減少させる場合、駆動周波数の値を変化させずに駆動位相差を増加させ、該駆動点で所定時間だけ駆動した後、駆動位相差を変化させずに駆動周波数の値を前記振動子の共振周波数により近付ける値に切り替える制御を、所望の駆動速度に達するまで繰り返し実行し、駆動速度を増加させる場合、駆動周波数の値を変化させずに駆動位相差を減少させ、該駆動点で所定時間だけ駆動した後、駆動位相差を変化させずに駆動周波数の値を前記振動子の共振周波数からより遠ざける値に切り替える制御を、所望の駆動速度に達するまで繰り返し実行する。 （もっと読む）

【課題】駆動子と被当接部材との間に異物が入り込んでも、駆動子と被当接部材との間の駆動力の伝達を良好に行わせる。
【解決手段】駆動装置１は、ベース１０と、ステージ１１と、ベース１０に取り付けられてステージ１１を駆動する超音波アクチュエータ２を備えている。超音波アクチュエータ２は、圧電素子を用いて構成されたアクチュエータ本体４と、アクチュエータ本体４に設けられて所定の駆動方向へ駆動力を出力する駆動子５，５と、駆動子５，５がステージ１１に当接した状態でアクチュエータ本体４を支持する支持バネ６とを有している。支持バネ６は、駆動子５が周回運動する周回面Ｐに交差する方向への剛性が駆動方向への剛性よりも低い。 （もっと読む）

【課題】高真空中においても優れた耐久性能を有する超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータのロータ１２の接触面１２ａに、シリコンの非晶質薄膜から成る下地層１４ａとこの下地層１４ａの表面に形成される銀薄膜から成る摩擦層１４ｂとを有する、適度な摩擦係数を有し、かつ、潤滑性にも優れた摩擦材層１４を形成することで、ステータ１１の弾性体１５に設けられた櫛歯１５ｋとロータ１２との接触によって発生するロータ１２表面及びステータ１１表面の凹凸を大幅に低減するようにした。 （もっと読む）

【課題】駆動回路の複雑化等を招くことなく、消費電力を可及的に抑制して電池電源で有効に駆動することができるようにする。
【解決手段】圧電素子２６にその一方側から第１の極性の駆動電圧を印加して充電する第１スイッチ回路１４１及び第４スイッチ回路１４４からなる第１の駆動回路と、圧電素子２６にその他方側から第１の極性とは逆極性の駆動電圧を印加して充電する第２スイッチ回路１４２及び第３スイッチ回路１４３からなる第２の駆動回路と、各駆動回路により圧電素子２６に充電された電荷を抵抗を介して放電する第２スイッチ回路１４２及び第４スイッチ回路１４４からなる放電回路とを備え、第１の駆動回路と第２の駆動回路とを交互に駆動させると共に、第１の駆動回路の駆動期間と第２の駆動回路の駆動期間との間に放電回路を駆動させる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、簡易な構成で、且つ、モータ特性の安定化の促進を図り得るようにした超音波モータを提供することにある。
【解決手段】棒状弾性体１０に縦振動と捻れ振動とを励起し、該棒状弾性体１０の端面に設けられた摩擦子１３に楕円振動を励起させて、摩擦子１３によりロータ１４を回転させる駆動用積層型圧電素子１２を、２個、棒状弾性体１０の溝部１０３を含む第１及び第２の弾性部１０１，１０２の高さ寸法の略中央部に対応する第１の弾性部１０１に配置すると共に、第１の弾性部１０１の高さ寸法の略中央部に共振周波数検出用積層型圧電素子１１を、２個、対向させて配置するように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】被駆動体と振動子との接触部に介在する水分を除去し、摩擦力を所定の摩擦力に回復することによって、所定の速度で駆動させることが可能となる振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子を有する振動子と、該振動子に設けられた駆動部に対して離散的に加圧接触する被駆動体と、前記素子に駆動信号を与える第１の駆動信号付与手段と、を備え、
前記駆動信号付与手段により前記素子に駆動信号を与えて前記振動子の駆動部に楕円運動を生じさせ、該駆動部と加圧接触する前記被駆動体を前記振動子に対して相対移動させる振動波駆動装置であって、
前記第１の駆動信号付与手段とは別の第２の駆動信号付与手段を備え、
前記第２の駆動信号付与手段によって、前記素子に周期的動作を行う駆動信号を与え、前記駆動部と前記被駆動体との接触部に介在する水分を除去するように構成される。 （もっと読む）

圧電モータ（１００）は固定子シャフト（９）を有する固定子（２）を含む。前記モータは、上面と下面と内周縁と外周縁とを有し、前記固定子の上に保持される環状圧電素子（４）をまた含む。前記モータは、前記圧電素子の外周縁に環状ウエーブシェル（６）と、前記固定子シャフトに回転子内周面を有する場所で連結される回転子と、をさらに含む。前記モータは、それぞれが前記ウエーブシェルに連結される端部と、前記回転子内周面にまでおよんで接触する別の端部と、をさらに含む。前記モータにおいて、前記外周縁の半径は前記内周縁の半径の少なくとも２倍で、前記圧電素子の環状幅はその厚さの少なくとも２倍である。 （もっと読む）

【課題】電源立ち上がり時におけるショックの発生を効果的に防止する。
【解決手段】昇圧回路において、低電圧電源の出力を昇圧して高電圧の駆動電源電圧を発生する。また、出力回路では、駆動電源を電源として、圧電素子を駆動する一対の相補的な駆動信号を出力する。出力を停止する前記駆動電源の立ち下がり時において、一対の駆動信号の電位差が０の時点から両駆動信号を一緒にグランドレベルまで変化させる。 （もっと読む）

【課題】 接触面の摩耗が生じても適正な精度で長時間駆動可能な駆動装置及び駆動方法を提供する。
【解決手段】 レンズ９とレンズ枠１０から構成される移動体は、少なくとも電気機械エネルギー変換素子を含む振動体１１，１２，１３によって３箇所で支持されている。光軸に垂直な平面内（Ｘ方向とＹ方向とで規定されるＸＹ平面内）における所定領域内でレンズ９を移動させる際にレンズ枠１０と振動体１１，１２，１３とが接触しうる領域が接触領域３１ａ，３２ａ，３３ａである。駆動制御部３５は、所定領域内でレンズ枠１０９を移動させるのみならず、接触領域３１ａ，３２ａ，３３ａが接触領域３１ｂ，３２ｂ，３３ｂとなるように、レンズ枠１０を駆動させることもできる。 （もっと読む）

【課題】小型化した場合であっても、被駆動体を安定して駆動することができる駆動装置を提供する。
【解決手段】被駆動体２を駆動する駆動装置１０は、被駆動体２を駆動方向に変位可能に保持する筐体６と、電気的制御により屈曲変位して被駆動体２を変位させる屈曲変位部材５と、筐体６に支持され、かつ屈曲変位部材５の一端を固定端として固定する固定壁６ａと、筐体６に固定され、かつ固定壁６ａと当接している変位規制部材７とを備えている。これにより、固定壁６ａは、変位規制部材７を介して筐体６に保持される。 （もっと読む）

【課題】被駆動部の変形を抑えながら共振振動をも抑制し、安定した駆動を可能にする。
【解決手段】超音波モータを備えた微動機構は、固定台１と、固定台１に対して移動軸方向に移動可能に支持された移動体３と、移動体３の一面に設けられた摺動部材６と、立体的形状を有し、高周波電圧信号の印加により複数の振動モードを励起する振動体８と、振動体８を固定台１に対して保持すると共に移動体３に押圧せしめる保持機構７と、振動体８に設けられ、摺動部材６と摩擦接触する駆動子９と、を備え、移動体３は一部分（押圧部材４）が別体として構成され、当該一部分の一面に摺動部材６が設けられる。 （もっと読む）