【課題】第１、第２の周波数以外の他の周波数を有する共振信号を取り出すことができなかった。
【解決手段】第１、第２の櫛形電極間に弾性表面波を励起するための入力信号を印加し、かつ、第３、第４の櫛形電極間に入力信号を実質的に印加しないことにより、第１、第２の周波数間に位置する第３の周波数を有する共振信号を生成する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】スペクトラム拡散通信方式によりデータ信号及びクロック信号を伝送する信号伝送装置において、信号の高速伝送におけるジッタの発生を抑制又は低減させる。
【解決手段】スペクトラム拡散したデータ信号及びクロック信号を伝送する信号伝送装置は、送信部１と受信部と２の間を接続するデータ信号伝送路３及びクロック信号伝送路４と、該クロック信号伝送路に設けられた共振子型のＳＡＷフィルタ５とを備える。ＳＡＷフィルタは、体積抵抗率１０^６〜１０^１３Ω・ｃｍのリチウムタンタレート又はリチウムナイオベートからなる圧電基板と、該圧電基板の表面に形成されたＩＤＴとを有する。これにより、伝送路の前段及び後段に配置されるＩＣ等の動作を安定させ、更に伝送路の前段又は後段のＩＣ等から発生した静電気を中和する機能をも備える。 （もっと読む）

【課題】 通過帯域幅を広く保ちつつ挿入損失の劣化を低減し、かつ通過帯域の微小リップルの発生を抑制できる弾性表面波素子、弾性表面波装置及び通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子は、圧電基板１上の５個又は６個のＩＤＴ電極２〜６のうち隣り合う２つのＩＤＴ電極３，５がそれぞれ、相手側の端部から一部分で電極指ピッチが残りの部分の電極指ピッチと異なる第１の部分と、その残りの部分で電極指ピッチが一定な第２の部分とで構成され、第１の部分の電極指ピッチの平均値が第２の部分の電極指ピッチより短く、第１の部分の電極指ピッチが隣り合う２つのＩＤＴ電極の境界に向かって短くなっており、５個又は６個のＩＤＴ電極２〜６のうち端から２個目のＩＤＴ電極３，５の両隣りのＩＤＴ電極２，４，６の第１の部分の電極指ピッチが、２個目のＩＤＴ電極３，５の中心を通って伝搬方向に直交する方向に設けた仮想軸に対して対称である。 （もっと読む）

【課題】特性劣化が少なく、小型化が可能なランタンガリウム珪酸塩結晶基板を用いた弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【解決手段】直交系結晶軸（ｘ，ｙ，ｚ）をオイラー角（φ，θ，ψ）によって座標変換を行った後の座標系を（ｘ１，ｘ２，ｘ３）とすると、ｘ３軸に垂直な結晶切断面が基板表面となり、ｘ１軸が弾性表面波の伝搬方向となるランガサイト基板１０が得られる。弾性表面波フィルタ１００には、このようなランガサイト基板１０上に斜め電極指を構成する入力側すだれ状電極１２，１４と、同様に斜め電極指を構成する出力側すだれ状電極１６，１８と、が位相速度の伝搬方向であるｘ１軸に対してパワーフロー角（ＰＦＡ）傾けた群速度の伝搬方向に沿って配置されている。 （もっと読む）

【課題】バルク波に基づくスプリアスを低減できるようにする。
【解決手段】弾性表面波素子片１０は、圧電基板１２にすだれ状電極からなるＩＤＴ１４、１６を有する。圧電基板１２は、オイラー角を（φ，θ，ψ）としたときに、カット角が（４５°，９０°，８０°〜１００°）（ただし、ψ＝９０°を除く）または（１３５°，９０°，８０°〜１００°）（ただし、ψ＝９０°を除く）である四ホウ酸リチウムからなっている。すだれ状電極からなるＩＤＴ１４、１６は、ＩＤＴ１４によって圧電基板１２に励振されたバルク波の群速度方向と異なる方向に沿って配置してある、 （もっと読む）

【課題】複数の導体層を積層している電極指でありながら、これらの導体層の破断や剥離等の発生を抑制できるＩＤＴ電極を備えることで、耐久性を高めることができる弾性表面波素子及びそれを搭載した弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１は、圧電基板１０上に電極指１１ａを有するＩＤＴ電極１１を備えている。電極指１１ａは、中間層１２と、中間層１２に比べて大きな熱膨張係数を有する電極層１３が積層されてなる。電極指１１ａは、圧電基板１０に近づく方向に広がる台形形状となる断面形状を有している。中間層１２の側面１の成す角度α_１は、電極層１３の側面との成す角度β_１よりも大きく形成されている。 （もっと読む）

【課題】面内回転した回転ＳＴカット水晶板等の圧電体平板上に、レイリー型等の弾性表面波を利用して、５次高調波動作させた新しい形式の弾性表面波共振子を提供する。
【解決手段】圧電体平板上に１個のすだれ状電極とその伝播方向両側に配置した一対の反射器とからなる弾性表面波共振子において、すだれ状電極における電極指の前記Ｘ方向の幅寸法をＬＴとし、配列周期長に対する線幅比ＬＴ／ＰＴが（１／２±１／１２）の範囲であり、反射器におけるＸ方向の幅寸法をＬＲとし、配列周期長ＰＲに対する線幅比ＬＲ／ＰＲが（１／２±１／１２）の範囲であり、前記寸法ＰＲに対してＰＴの関係がＰＲ＜ＰＴであり、前記弾性表面波の速度Ｖと動作周波数ｆの関係がｆ＝５Ｖ／（２ＰＴ）である弾性表面波共振子。 （もっと読む）

【課題】ＬＢＯ基板のレーリーＳＡＷを用い、バルクスプリアスが抑圧されたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタを提供することにある。
【解決手段】太い実線で記された波形は、アルミニウム（Ａｌ）膜厚を１．７１％λ₀として試作したフィルタの伝達応答（周波数応答）を示す。同図の細い実線で記された波形は、そのフィルタの計算時（シミュレーション時）の伝達応答を示す。計算と比べて実測ではまだバルクスプリアスによる減衰劣化はみられるが、その劣化分はアルミニウム（Ａｌ）膜厚が１．４２％λ₀の試作品と比べて大幅に良化している。 （もっと読む）

単結晶のＬｉＮｂＯ３からなる基板を有する電子音響部材が提案される。この第２オイラー角μに関しては以下のことが該当する。−７４°≦μ≦−５２°または２３°≦μ≦３６°。第１オイラー角λに関しては、
【数１】


が、また第３オイラー角θに関しては
【数２】


が該当する。
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【課題】高温環境下でも、弾性表面波の励振が可能な弾性表面波デバイスとその製造方法を提供することにある。
【解決手段】サファイア基板１１上に形成される伝搬層１２と、伝搬層１２上に形成される櫛形電極１５および１６を備えるトランスバーサルフィルタ１０において、圧電性を有し積極的に不純物を含まないＧａＮから伝搬層１２を形成し、ＧａＮと比較して狭いバンドギャップを有し積極的にｎ型不純物を含むＩｎＧａＮから櫛形電極１５および１６を形成した。 （もっと読む）

【課題】
優れた伝搬特性と周波数特性の広帯域化を両立させうる弾性表面波デバイスを提供することにある。
【解決手段】
サファイア基板１１と、サファイア基板１１上にＧａＮ薄膜で形成された伝搬層１２と、伝搬層１２の表面上に形成された入力側櫛型電極１３、出力側櫛型電極１４を有する弾性表面波デバイスの一種であるトランスバーサルフィルタ１０において、入力側櫛型電極１３、出力側櫛型電極１４により励振される弾性表面波が伝搬層１２面内で最も遅い速度で伝搬する方向である｛１１−２０｝方向と、入力側櫛型電極１３、出力側櫛型電極１４の電極指の配列方向を整合させ、かつ電極指の線幅および配列間隔を配列方向と直交する方向に変化させて、入力側櫛型電極１３、出力側櫛型電極１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】リップルを低減しつつ、挿入損失劣化を低減し、通過帯域幅が広く、優れた弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子Ａにおいて、電極群２１の少なくとも一端に位置するＩＤＴ電極３２の電極指ピッチは、当該電極群２１の他のＩＤＴ電極３１及び分離電極６１の平均電極指ピッチより狭い。中間電極４５の電極指ピッチは、当該分離電極６１の両側に隣接する電極群２１，２２の端部に位置するＩＤＴ電極３２，３３の電極指ピッチより広い。弾性表面波素子Ａに縦続接続される弾性表面波素子Ｂも同様の構造を有する。 （もっと読む）

【課題】 溶融性金属材料に対するバリアメタルとして、充分に機能する電極層を含んだ結合用電極を有しつつ、この電極に生じる膜応力を緩和すること。
【解決手段】 弾性表面波素子は、圧電基板１上に形成された励振電極と、実装基板と接続されるための結合用電極Ｅとを含む。結合用電極Ｅは、圧電基板１に形成された下地電極２と、密着電極層３及びバリアメタル電極層４が積層されている中間層７とを備えている。バリアメタル電極層４は、不純物含有層４Ｂを少なくとも１層含む。結合用電極Ｅは、励振電極の外周を取り囲む位置に形成されている環状電極１１や、励振電極に接続されている配線電極１２である。圧電基板１、下地電極２、密着電極層３、バリアメタル電極層４、のうちの少なくとも１つの表面は、ボンバード処理を施して粗面化している。これにより、各層に生じる膜応力による反りを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 周波数温度特性を改善する。
【解決手段】 弾性境界波素子１０は、相互に接合された第１圧電基板１２および第２圧電基板１４と、第１圧電基板１２と第２圧電基板１４との境界部に弾性波を励振するすだれ状電極からなるＩＤＴ１６とを有している。ＩＤＴ１６の弾性境界波の伝播方向両側には、反射器２４（２４ａ、２４ｂ）が設けてある。第１圧電基板１２と第２圧電基板１４とは、オイラー角を（φ，θ，ψ）としたときに、カット角が（φ，θ，ψ）または（φ，θ＋１８０°，ψ）の水晶板からなっている。 （もっと読む）

【課題】 電気機械結合係数の大きな弾性境界波素子が得られるようにする。
【解決手段】 弾性境界波素子１０は、ニオブ酸カリウムからなる第１圧電基板１２と、ニオブ酸カリウムからなる第２圧電基板１４とを備えている。ニオブ酸カリウムは、カット角がオイラー角表示で（０°±３０°，０°〜±１８０°，０°±２０°）となっている。第１圧電基板１２と第２圧電基板１４とは、相互に接合してある。第１圧電基板１２の接合面中央部には、ＩＤＴ１６を有する。ＩＤＴ１６は、一対の櫛型電極１８（１８ａ、１８ｂ）からなり、櫛型電極１８の電極指２０（２０ａ、２０ｂ）によってすだれ状に形成してある。ＩＤＴ１６の両側には、反射器２４（２４ａ、２４ｂ）が設けてある。 （もっと読む）

【課題】 バンプ接合により高密度実装が可能であり、かつ水分の侵入等による特性の変動が生じ難い、信頼性に優れた弾性境界波装置を得る。
【解決手段】 圧電基板１Ａ上にＩＤＴ９が形成されており、ＩＤＴ９を覆うように絶縁膜７が積層されており、絶縁膜７上に吸音膜８が積層されており、アンダーバンプメタルを電解メッキにより形成するためのＵＢＭ下地層１３が、絶縁膜７の開口部に至っており、絶縁膜７の開口部においてＩＤＴ９とＵＢＭ下地層１３と電気的に接続している配線１２に接続されており、吸音膜８にＵＢＭ下地層１３の一部を露出している吸音膜開口部８ａが形成されており、ＵＢＭ下地層１３が、絶縁膜７と吸音膜８との境界において給電ライン１４に接続されており、該給電ラインから電流を通電することによりＵＢＭ下地層１３上にＵＢＭが電解メッキにより形成されている、弾性境界波装置６。 （もっと読む）

本発明は電気音響構成素子に関する。ここでこの電気音響構成素子は、２つの基板の間に配置された層システムを含む。この層システムは、ガイド音響体積波を励振させる電気音響構造体を有する。ここでこの電気音響構造体上には中空空間は設けられていない。この層システムは圧電層と少なくとも１つの金属層と平坦化層を含む。この平坦化層は、自身のすぐ上に配置された基板に向かって平坦な境界面を有している。この種の構成素子はコスト的に有利に、２つのウェハをダイレクトウェハボンディングすることによって製造される。電気音響構成素子構造体は電気的に、垂直な電気的接続部によって、構成素子の外部コンタクトと接続されている。
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【課題】 ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜とニオブ酸カリウム膜とが積層された圧電体膜積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電体膜積層体１００は、サファイア基板１１と、サファイア基板１１の上に形成されたニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜１２と、ニオブ酸カリウム膜１３と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 ニオブ酸カリウムの薄膜を有するニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るニオブ酸カリウム堆積体１００は，
Ｒ面サファイア基板１１と、
Ｒ面サファイア基板１１の上方に形成されたニオブ酸カリウム層１３またはニオブ酸カリウム固溶体層と、
を含み、
ニオブ酸カリウム層１３またはニオブ酸カリウム固溶体層は、擬立方晶表示において（１００）配向でエピタキシャル成長しており、
ニオブ酸カリウム層１３またはニオブ酸カリウム固溶体層の（１００）面は、Ｒ面サファイア基板１１のＲ面（１−１０２）に対して、［１１−２０］方向ベクトルを回転軸として傾いている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ軸方向の収縮特性を抑制して焼成された多層セラミック基板におけるビア導体部分の凹凸の発生を抑制し、平坦な表面を形成することが可能で、ＳＡＷチップの実装信頼性および封止信頼性に優れた高周波モジュールを提供する。
【解決手段】複数の絶縁層を積層してなる多層セラミック基板の表面に、弾性表面波素子を実装してなる高周波モジュールにおいて、絶縁基板の接地電極、入出力電極のうちの少なくとも１つが、該電極と直接接続されたビア導体を含む複数のビア導体を経由して前記絶縁基板裏面に形成された所定の導体パターンと電気的に接続されており、前記複数のビア導体のうち入出力電極とリング状接地電極に直接接続されるビア導体以外のビア導体を、平面的にみて前記リング形状電極よりも外側に配置したことを特徴とする。 （もっと読む）